[发明专利]一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法

说明书

本发明公开了一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，用于解决废旧旋转靶材回收、修复和再喷涂的技术问题，包括以下步骤：废旧旋转靶材的包装回收；旋转靶材的缺陷检查；旋转靶材的缺陷加工；确定旋转靶材余量；根据确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。本发明的有益效果在于，回收废旧旋转靶材重新修复，省略了基管加工、喷砂、喷中间层等前期工序，节约了成本，实现了靶材循环使用；解决了缺陷靶材的修复难题，不必整管报废，提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及旋转靶材领域，尤其涉及一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法。

背景技术

旋转靶材产品利用率一般在70％左右。靶材在生产和使用过程中，因生产工艺问题、用户使用参数设置问题或人为的操作不当会产生裂纹，导致靶材报废。

然而，目前报废的旋转靶材的处理一般是整管报废，回收之后将旋转靶材分解为原材料，这样成本高，生产效率也低。

发明内容

为克服现有技术的不足，实现旋转靶材的循环使用，本发明提出一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法。

本发明一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，包括以下步骤：

S1：废旧旋转靶材的包装回收；

S2：旋转靶材的缺陷检查；

S3：旋转靶材的缺陷加工；

S4：确定旋转靶材余量；

S5：根据步骤S4中确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。

进一步地，步骤S2所述的缺陷检查，其方法包括但不仅限于：目测检测、金相检测和无损探伤，其中目测检测用于检查大型裂纹和氧化变色缺陷，金相检测用于检测晶粒尺寸的缺陷，无损探伤用于检测微小裂纹缺陷。

进一步地，步骤S3所述旋转靶材的缺陷加工包括以下加工方法的一种或其组合：采用机械加工方法取出氧化部分；对于平缓的凹坑和宽度较小的裂纹可不作处理或手工打磨后喷涂修复；对于较深的凹坑和裂纹，先机械加工切削成较为平缓的凹坑和裂纹后再喷涂修复。

更进一步地，对于所述较深的凹坑和宽度较大的裂纹，经机械加工切削后的凹坑和裂纹，其坡度小于70度。

进一步地，步骤S4中所述确定旋转靶材余量，包括以下步骤：

S41：将旋转靶材固定在喷涂架上，将光学测距模块相对旋转靶材安装在行走机构上；

S42：匀速旋转旋转靶材，光学测距模块自左往右匀速水平运动；

S43：记录不同时间点旋转靶材表面到探测器的距离；

S44：换算出相对位置的旋转靶材厚度。

进一步地，步骤S5采用热喷涂或冷喷涂的方法进行喷涂修复。

进一步地，步骤S5中喷涂量的调整通过调整以下参数或其组合来进行：喷涂时间、喷枪功率、送粉量和惰性气体喷气量。

进一步地，本发明废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法还包括步骤：

S6：修复后的旋转靶材的包装。

本发明的有益效果在于，回收废旧旋转靶材重新修复，省略了基管加工、喷砂、喷中间层等前期工序，节约了成本，实现了靶材循环使用；解决了缺陷靶材的修复难题，不必整管报废，提高了生产效率。

附图说明

图1是本发明方法流程图；

图2是本发明步骤S3中机械加工切削前的陡坡示意图；

图3是图2中的陡坡经机械加工切削后的缓坡示意图；