[发明专利]一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法

权利要求书

1.一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：废旧旋转靶材的包装回收；

S2：旋转靶材的缺陷检查；

S3：旋转靶材的缺陷加工；

S4：确定旋转靶材余量；其中，步骤S4中所述确定旋转靶材余量，包括以下步骤：

S41：将旋转靶材固定在喷涂架上，将光学测距模块相对旋转靶材安装在行走机构上；

S42：匀速旋转旋转靶材，光学测距模块自左往右匀速水平运动；

S43：记录不同时间点旋转靶材表面到探测器的距离，建立旋转靶材坐标和厚度坐标系；

S44：通过所述旋转靶材坐标和厚度坐标系换算出相对位置的旋转靶材厚度；

S5：根据步骤S4中确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。

2.如权利要求1所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，步骤S2所述的缺陷检查，其方法包括但不仅限于：目测检测、金相检测和无损探伤，其中目测检测用于检查大型裂纹和氧化变色缺陷，金相检测用于检测晶粒尺寸的缺陷，无损探伤用于检测微小裂纹缺陷。

3.如权利要求1所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，步骤S3所述旋转靶材的缺陷加工包括以下修复方法的一种或其组合：采用机械加工方法取出氧化部分；对于平缓的凹坑和宽度较小的裂纹可不作处理或手工打磨后喷涂修复；对于较深的凹坑和宽度较大的裂纹，先机械加工切削成较为平缓的凹坑和裂纹后再喷涂修复。

4.如权利要求3所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，对于所述较深的凹坑和宽度较大的裂纹，经机械加工切削后的凹坑和裂纹，其坡度小于70度。

5.如权利要求1或4所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，步骤S5采用热喷涂或冷喷涂的方法进行喷涂修复。

6.如权利要求1所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，步骤S5中喷涂量的调整通过调整以下参数或其组合来进行：喷涂时间、喷枪功率、送粉量和惰性气体喷气量。

7.如权利要求1所述的废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，还包括步骤：

S6：修复后的旋转靶材的包装。