[发明专利]一种台阶封装基板控胶方法有效
申请号: | 201410055110.8 | 申请日: | 2014-02-18 |
公开(公告)号: | CN103779242B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 刘秋华;穆敦发;吴小龙;吴梅珠;徐杰栋;胡广群;梁少文 | 申请(专利权)人: | 无锡江南计算技术研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人: | 龚燮英 |
地址: | 214083 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 台阶 封装 基板控胶 方法 | ||
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域,更具体地说,本发明涉及一种台阶封装基板控胶方法。
背景技术
一些封装基板设计时,将基板介质1上贴的芯片或焊接位置做成台阶状(或凹槽2),如图1所示,该处导体外露(凹槽处外露的导体3),做表面处理(镀金或喷锡)后打线或焊接器件用。这部分外露的导体由于后面需要打线或焊接等,因此导体处必须保持完整,须完全裸露在外,即该导体上不允许有介质残留,从而需要进行控胶制作。
常规层压时,在该导体外露区域将半固化片4开窗。由于图形分布差异、受热不同差异,半固化片4的流胶不稳定,流胶量一般在0.5-2mm之间波动,这一流胶跨度范围已远远超出凹槽周围小孔距凹槽的范围,半固化片开窗过大会造成局部失压导致空洞等缺陷,甚至会干扰凹槽旁的导通孔5,如图2所示。开窗过小会使得凹槽位置流胶流到外露的导体处,从而形成凹槽处导体上的溢胶6,如图3所示。
针对上述技术缺陷,现有的解决方法有:第一,在导体位置加填充物阻胶,控制流胶量;第二,选用流胶量很小的半固化片层压,通过控制半固化片的开窗可以达到设计要求。
在导体位置加填充物阻胶对填充物选择非常关键,要求填充物7能完全填充到凹槽位置,填充物和凹槽导体之间无半固化片的流胶,否则流胶会渗到导体上污染焊盘。实际上选用常规的填充物阻胶均难以避免局部流胶从填充物和导体的缝隙间渗入污染到焊盘,如图4所示。
另一方面,流胶量小的半固化片流胶量在0.5mm以下通过合理设计半固化片的开窗大小可以确保凹槽导体上的流胶在控制范围内(流胶不超过导体区域面积的20%),但是对于多层板的层压来说,为确保层间流胶填充导体间隙,保证可靠性,一般选用流胶量大的半固化片以更好地填充满图形间隙,这样就导致了流胶的不可控制。因此采取选用流胶量小半固化片开窗控制流胶的适用范围很窄,大部分叠构设计是不可行的。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷,提供一种用可剥胶填充控胶的制作方式,可以确保台阶位置外露导体无介质残留。
根据本发明,提供了一种台阶封装基板控胶方法,其包括:
第一步骤:对形成有凹槽的封装结构的内层单片进行酸洗,然后在凹槽位置丝印一层可剥胶;
第二步骤:对丝印有可剥胶的结构进行烘烤,使可剥胶固化成型;
第三步骤:可剥胶固化成型后将内层单片进行棕化,并进行层压以形成多层板;
第四步骤:在成品铣切前去掉可剥胶以暴露可剥胶下的导体。
优选地,第二步骤中烘烤固化的条件为150℃下烘烤30-60分钟。
优选地,在第一步骤中,可剥胶距凹槽窗口的侧边的距离介于0.1-0.2mm的范围内。
优选地,在第一步骤中,可剥胶的厚度介于40μm至60μm的范围内。
优选地,在第四步骤中,在成品铣切前,盲铣揭掉可剥胶上的介质,露出可剥胶区域,进而揭掉可剥胶,露出可剥胶保护的导体。
本发明提供的台阶封装基板控胶方法在凹槽位置在基板层压前丝印可剥胶以保护凹槽处的导体,该可剥胶固化成型后即覆盖住整个导体的大部分区域。在成品铣切前去掉可剥胶后这部分导体完好,无残胶,可以进行后续的打线或焊接。由于内层单片上在凹槽区域丝印可剥胶,隔绝导体和其余介质的接触,从而起到导体上的控胶效果,同时确保凹槽区域无流胶残余,保证凹槽区域的有效尺寸。
由此,本发明提供的台阶封装基板控胶方法可有效防止凹槽位置外露的导体处的流胶残余。
附图说明
结合附图,并通过参考下面的详细描述,将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征,其中:
图1示意性地示出了封装基板的台阶状结构。
图2示意性地示出了封装基板的台阶状结构中半固化片开窗过大的情况。
图3示意性地示出了封装基板的台阶状结构中半固化片开窗过小的情况。
图4示意性地示出了在导体位置加填充物阻胶的方案。
图5示意性地示出了根据本发明优选实施例的台阶封装基板控胶方法的流程图。
图6示意性地示出了根据本发明优选实施例的台阶封装基板控胶方法的截面示意图。
图7示意性地示出了根据本发明优选实施例的台阶封装基板控胶方法的平面示意图。
需要说明的是,附图用于说明本发明,而非限制本发明。注意,表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且,附图中,相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施方式
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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