[实用新型]一种抗形变热丝化学气相沉积设备

说明书

技术领域

    本实用新型涉及薄膜制备领域，具体地来说为一种抗形变热丝化学气相沉积设备。

背景技术

热丝化学气相沉积设备可用于制造金刚石薄膜、非晶硅和外延硅等薄膜，但在生长过程中，热丝与基片间的距离十分关键，在无辅助热源下，间距均小于10mm。另外，为提高薄膜的生长速率和成膜质量，采取在热丝和基片间加直流偏压，产生等离子体来进一步提高热丝的温度。热丝在高温下，使用时间超过几个小时，就会变形，钨丝和钽丝越长，碳源浓度越高，变形就越大，导致间距变化变得难以控制，同时也影响表面温度与热丝至基片间等离子体分布的均匀性。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供一种抗形变热丝化学气相沉积设备，用于解决热丝受热变形的问题。

本实用新型采用如下的技术方案：

一种抗形变热丝化学气相沉积设备，包括两个立柱，立柱中间设置有升降台，升降台上设置有样品托台，立柱为中空结构，立柱上端具有弧形边缘，多组热丝等间距跨过两立柱通过中空立柱。

所述热丝为螺旋结构。

热丝进入中空立柱连接有弹簧。

本实用新型具有如下的优点和有益效果：

采用中空的立柱结构，在中空的立柱下端给予拉伸力，可防止热丝的下垂。

立柱上端设置弧形边缘，降低了热丝与立柱间的摩擦力，使得拉伸更加方便。

附图说明

   图1为本实用新型的结构示意图；

   图中，1为热丝；2为弧形边缘；3为弹簧；4为立柱；5为热丝拉伸端；6为升降台；7为样品托台。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例对本实用新型进行详细地说明：

实施例1

如图1所示，本实用新型包括包括两个立柱4，立柱4中间设置有升降台6，升降台6上设置有样品托台7，立柱4为中空结构，立柱4上端具有弧形边缘2，多组热丝1等间距跨过两立柱通过中空立柱。

本实施例中，热丝1采用螺旋结构。热丝1进入中空立柱4连接有弹簧3。弹簧下端为热丝拉伸端5，热丝拉伸端5连接有外部的施力系统。

使用时，热丝跨过立柱，待高温发生形变时，通过热丝拉伸端施力抗拒热丝的下垂。