[实用新型]一种抗形变热丝化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种抗形变热丝化学气相沉积设备，包括两个立柱，立柱中间设置有升降台，升降台上设置有样品托台，其特征在于，立柱为中空结构，立柱上端具有弧形边缘，多组热丝等间距跨过两立柱通过中空立柱。

2.按照权利要求1所述的抗形变热丝化学气相沉积设备，其特征在于，所述热丝为螺旋结构。

3.按照权利要求1所述的抗形变热丝化学气相沉积设备，其特征在于，热丝进入中空立柱连接有弹簧。