[实用新型]一种单晶硅切断用的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅切断用的装置。

背景技术

随着单晶硅片价格的急剧下降，单晶硅片加工的利润空间也在不断下降，所以需要考虑在单晶硅加工的每个环节上降低成本。在硅棒切断工序，常规的工艺是按照后道加工长度规格先用油性笔划线，再用带锯截断，仅靠手工划线和肉眼确定带锯位置，切断后的硅棒长度偏差较大，一般为±3mm，到切片工序后由于硅棒长度的偏差，金刚石线在切割时会出现拉空现象，造成成本浪费，不利于降低加工成本。为了降低成本，提高硅棒长度精度尤其重要。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅切断用的装置，简单实用，操作简单，精度高，降低了单晶硅加工成本。

实现本实用新型的技术方案是：一种单晶硅切断用的装置，其特征由一边固定于切割机头内侧面的直角尺和一个滑动直尺组成，滑动直尺垂直套在直角尺带刻度边上，通过螺钉固定，其中直角尺带刻度一边要求高于硅棒上边沿，所述装置通过螺钉固定在带锯切割机头内侧面。

本实用新型简单实用，可以有效保障切断后单晶硅棒的长度精度，将偏差缩小至±0.2mm，大大减少了切片时金刚石线拉空的几率，降低了加工成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本装置类似一个游标卡尺，包括一个直角尺1，直角尺一边通过两枚螺钉固定于带锯4切割机3内侧，直角尺1带刻度一边上套有一个垂直于此边且可以滑动的直尺2，通过螺钉来固定位置。当装置好硅棒6准备切割时，调节好滑动直尺2的位置，此位置刻度＝直角尺固定边到带锯的距离－规格要求长度，然后用螺钉固定好位置；每次放置硅棒时，硅棒断面直接接触到直尺面即可用夹紧装置5固定，这样就能很好地保证规格要求的长度精度。