[发明专利]一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统

权利要求书

1.一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法，其特征在于，包括下述步骤：

S1：将靶体所在的腔体抽成真空；

S2：从进气口导入缓冲气体，使得所述缓冲气体覆盖收集镜并沿收集镜表面流动形成气流层；

S3：从出气口导出所述缓冲气体；

S4：待所述腔体内的气流稳定后，使用激光照射靶体，产生极紫外辐射的同时产生了向四周运动的等离子体碎屑；

S5：保持所述缓冲气体持续的导入和导出，所述气流层使所述等离子体碎屑的运动减缓，所述等离子体碎屑随着气流从所述出气口导出。

2.如权利要求1所述的隔离方法，其特征在于，所述隔离方法还包括下述步骤：

S6：将从出气口导出的气流进行冷却并过滤后再从进气口导入至所述腔体。

3.如权利要求1所述的隔离方法，其特征在于，所述缓冲气体为氢气。

4.如权利要求1所述的隔离方法，其特征在于，所述进气口与所述出气口沿着所述收集镜中心对称设置。

5.如权利要求1所述的隔离方法，其特征在于，在步骤S2中，通过扇形喷嘴使得导入的气流呈扇形分布；扇形圆心角为90°-180°。

6.一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离系统，其特征在于，包括：进气口、出气口、压缩机和真空泵；

所述进气口设置于收集镜的顶部，所述出气口设置于所述收集镜的底部；所述进气口与所述出气口沿着所述收集镜中心对称设置；

所述压缩机与所述进气口连接，用于使缓冲气体沿着所述进气口喷入；

所述真空泵用于维持所述出气口处于低压状态；在压力差的作用下，缓冲气体沿着所述收集镜的表面流动并形成气流层。

7.如权利要求6所述的隔离系统，其特征在于，所述缓冲气体为氢气。

8.如权利要求6所述的隔离系统，其特征在于，所述隔离系统还包括：导入装置，设置于所述进气口处，用于导入所述缓冲气体。

9.如权利要求8所述的隔离系统，其特征在于，所述导入装置为扇形喷嘴，扇形圆心角为90°-180°。

10.如权利要求6所述的隔离系统，其特征在于，所述隔离系统还包括：

冷却模块，与所述出气口连接，用于对从出气口导出的气流进行冷却；

过滤模块，与所述冷却模块连接，用于对冷却后的气流进行过滤处理；以及

循环模块，连接在所述过滤模块与所述进气口之间，用于将冷却过滤后气体从进气口循环导入至所述腔体。