[发明专利]质量分析装置及质量分析方法

权利要求书

1.一种质量分析装置，其特征在于，包括：

封入试样的试样容器；

离子化室，其与上述试样容器连接，并且具备取入存在于上述试样容器内的试样气体并使其离子化的离子源，该离子化室的压力为上述试样容器内压以下；

真空室，其与上述离子化室连接，并且具有对离子化后的试样进行分析的质量分析部；以及

对上述试样容器内进行减压的单元。

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

对上述试样容器内进行减压的单元是与上述试样容器连接的泵。

3.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

对上述试样容器内进行减压的单元是与上述真空室连接的泵。

4.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

对上述试样容器内进行减压的单元将上述试样容器减压到50,000Pa以下。

5.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

对上述试样容器内进行减压的单元将上述试样容器减压到30,000Pa以下。

6.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

对上述试样容器内进行减压的单元将上述试样容器减压到10,000Pa以下。

7.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

还具备对上述试样容器进行加热的单元。

8.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

在上述试样容器与上述真空室之间具备对试样气体的导入进行控制的开闭机构。

9.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述试样容器与上述离子化室通过配管连接，对上述试样容器内进行减压的单元是与上述配管连接的泵。

10.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述离子源由隔着由电介体形成的上述离子化室的一部分而设置的电极对和电源形成，基于通过向上述电极对施加电压而产生的电介体势垒放电，产生放电等离子体，由此来生成离子。

11.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述离子源由设置在上述离子化室的内部的电极对和电源形成，基于通过向上述电极对施加电压而产生的辉光放电，产生放电等离子体，由此来生成离子。

12.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述离子源具备电喷射离子化用探针和溶液泵，通过使用上述电喷射离子化用探针对由上述溶液泵供给的溶液进行离子化来生成离子。

13.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

通过对被导入到上述离子源的试样气体照射光来使试样离子化。

14.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述离子源具备用于产生热电子的金属丝和用于使热电子加速的电极，

上述离子源通过使上述热电子与试样气体碰撞来产生试样离子。

15.一种质量分析方法，使用了封入试样的试样容器、与上述试样容器连接并且具备对上述试样进行离子化的离子源的离子化室、与上述离子化室连接并且具备对离子化后的试样进行分析的质量分析部的真空室，所述质量分析方法的特征在于，

包括以下工序：

对上述真空室的压力进行减压的工序；

对上述试样容器的压力进行减压的工序；

将存在于上述试样容器内的试样气体取入到上述离子化室内来使其离子化的工序；以及

在上述质量分析部中对上述离子化了的试样进行分析的工序。

16.根据权利要求15所述的质量分析方法，其特征在于，

对上述试样容器的压力进行减压的工序通过与上述试样容器连接的泵进行减压。

17.根据权利要求15所述的质量分析方法，其特征在于，

还使用了设置在上述试样容器与上述真空室之间的对上述试样的导入进行控制的开闭机构，

在上述开闭机构为闭的状态下，进行对上述真空室的压力减压的工序，使上述开闭结构从闭的状态成为开的状态，然后进行对上述试样容器的压力减压的工序。