[发明专利]结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置有效
| 申请号： | 201210054811.0 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103290360A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 成林 | 申请（专利权）人： | 昆山浦力金属工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215321 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 改进 真空镀膜 机腔体 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括真空镀膜机腔体，其特征在于：所述真空镀膜机腔体外侧壁(1)上固定扣设有若干条一侧开口的管壳(2)，该管壳(2)开口侧朝向真空镀膜机腔体，该管壳(2)与真空镀膜机腔体外侧壁(1)之间形成供冷却水流通的通道，该通道内设有流动的冷却水，所述管壳(2)沿其长度方向的两端分别设有进、出水口(3、4)。
2.根据权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述管壳(2)呈往复曲回状态均匀分布于真空镀膜机腔体轴向的两端壁和圆周外侧壁表面。
3.根据权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述管壳(2)形成的往复曲回结构的密度与其所在位置的真空镀膜机腔体外侧壁(1)上温度成正比。
4.根据权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于：所述管壳(2)径向截面呈“]”形状。
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