[发明专利]一种柔性不锈钢衬底上CIGS吸收层的Na掺杂方法

权利要求书

1.一种柔性不锈钢衬底上CIGS吸收层的Na掺杂方法，其特征在于，其包括：先在不锈钢衬底上沉积阻挡层，再在阻挡层上沉积Mo层，随后在Mo层上，通过三步共蒸发法沉积CIGS吸收层，最后在第三步共蒸发法结束后，在CIGS吸收层表面蒸发沉积Na₂S层，并对其进行高温快速退火处理。

2.根据权利要求1所述的柔性不锈钢衬底上CIGS薄膜太阳电池制备工艺，其特征在于，用甲苯、丙酮、异丙醇和去离子水依次超声清洗的不锈钢衬底各10min，并在干燥的清洗干净不锈钢衬底上，在Ar/O₂气下，磁控溅射沉积2.3μm的阻挡层SiO_x层。

3.根据权利要求1所述的柔性不锈钢衬底上CIGS薄膜太阳电池制备工艺，其特征在于，在阻挡层SiO_x层上直流溅射沉积Mo层。

4.根据权利要求1所述的柔性不锈钢衬底上CIGS薄膜太阳电池制备工艺，其特征在于，Mo层上的吸收层CIGS沉积结束后，降低衬底温度，使在衬底温度80℃时，沉积Na预置层Na₂S，

5.根据权利要求书1所述的柔性不锈钢衬底上CIGS薄膜太阳电池制备工艺，其特征在于，Na预置层Na₂S沉积后，将样品快速加热到480℃，在Se气氛下，对其进行快速退火20min。