[发明专利]一种医用薄膜厚度测量设备

权利要求书

1.一种医用薄膜厚度测量设备，包括有底座、设置于底座上的工件台 ，其特征在于：还包括有设置于工件台上的一框式结构、设置于框式结构的上、下横梁上的双立式测头；所述双立式测头包括有上测头与下测头，其中上测头能根据医用生物工程组织薄膜厚度变化而自动调整相对高度，而下测头具有调整与上测头光束同轴度功能；测量过程中，上、下测头同步左右运动，而被测的医用生物工程组织薄膜被固定在两个测头中间的工件台上，并随工件台做前后运动。

2.如权利要求1所述的医用薄膜厚度测量设备，其特征在于：测量时，采用非接触扫描测量方式，测量过程中上、下测头不与医用生物工程组织薄膜接触。

3.如权利要求2所述的医用薄膜厚度测量设备，其特征在于：所述花岗岩平台上固定有直线轴Y轴，而与Y轴相互垂直的直线轴X轴位于固定龙门上。

4.如权利要求3所述的医用薄膜厚度测量设备，其特征在于：所述框式结构的上横梁上固定有Z轴。

5.如权利要求4所述的医用薄膜厚度测量设备，其特征在于：所述上测头固定在上下运动的Z轴上，而下测头被固定在框式结构的下横梁上的精密二维角度调整平台上；通过该调整平台调整下测头相对上测头的测量光束同轴性，确保上下测量测头在测量过程中对射在医用生物工程组织薄膜同一个点上。

6.如权利要求5所述的医用薄膜厚度测量设备，其特征在于：所述上测头上可相对下测头进行Z轴相对高度自动调整。