[发明专利]面向半导体制造设备的逻辑耦合测试方法

权利要求书

1.一种面向半导体制造设备的逻辑耦合测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

根据半导体制造设备的逻辑耦合关系和预设的测试需求生成逻辑测试序列；

将所述逻辑测试序列序列化为XML文件并进行存储；

读取所述XML文件并对所述XML文件进行反序列化以得到运行对象；

加载所述运行对象并对所述运行对象进行解析；以及

根据解析结果依次执行相应的测试行为以对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试，

其中测试行为包括命令执行、延迟等待、条件判断、逻辑序列和终止命令。

2.根据权利要求1所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，所述根据半导体制造设备的逻辑耦合关系和预设的测试需求生成逻辑测试序列，进一步包括：

根据所述半导体制造设备的逻辑耦合关系对测试行为进行分类以得到多种不同类型的测试行为；

根据所述预设的测试需求将所述多种不同类型的测试行为进行组合以得到所述逻辑测试序列。

3.根据权利要求1所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，所述逻辑测试序列包括序列名称、测试行为的步骤数量以及每个步骤中相应的测试行为。

4.根据权利要求3所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，按照所述逻辑测试序列的步骤依次执行相应的测试行为。

5.根据权利要求4所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，当执行的测试行为为命令执行时，对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试，包括以下步骤：

发送命令执行的指令；

判断是否有反馈响应，如果有，则等待接收时间，否则将执行下一个步骤对应的测试行为；

判断所述反馈响应是否正确，如果正确，则执行下一个步骤对应的测试行为，否则退出对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系的测试。

6.根据权利要求4所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，当执行的测试行为为逻辑序列时，对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试，包括将所述逻辑测试序列作为一种测试行为，可嵌套在其它的逻辑测试序列中。

7.根据权利要求4所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，当执行的测试行为为条件判断时，对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试，包括产生一个执行步骤序号和排除步骤号，并执行所述执行步骤序号所对应的测试行为，跳过所述排除步骤序号。

8.根据权利要求1所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，通过多线程分类管理方式对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试。

9.根据权利要求8所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，通过多线程分类管理方式对所述半导体制造设备的逻辑耦合关系进行测试，进一步包括：

依据通讯协议的板卡和通信端口把所有查询命令分类；

以所述通讯协议的板卡和所述通信端口为标识开放多个预设子线程；

在每一个预设的子线程中将对应的查询命令建立一个队列以使所有查询命令根据所述通讯协议的板卡和所述通信端口分配到不同的预设子线程中。

10.根据权利要求9所述的逻辑耦合测试方法，其特征在于，采用端口独占的方式实现对所述通信端口的读写操作。