[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法、曝光装置及元件制造方法

说明书

技术领域

本发明系关于基板搬送装置、基板搬送方法、基板支承构件、基板保持装置、曝光装置、曝光方法及元件制造方法，详言之，系关于进行将基板搬入及搬出基板保持装置的基板搬送装置及基板搬送方法、以及在基板搬送时支承该基板的基板支承构件、具有保持被搬送的基板的保持构件的基板保持装置、包含前述基板搬送装置或前述基板保持装置的曝光装置、使用基板支承构件搬送基板的曝光方法及使用前述曝光方法或曝光装置的元件制造方法。

背景技术

一直以来，于制造液晶显示元件、半导体元件(积体电路等)等电子元件(微元件)的微影制程，主要系使用步进重复(step&repeat)方式的投影曝光装置(所谓的步进机)或步进扫描(step&scan)方式的投影曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称扫描机))等。

此种投影曝光装置，系将作为曝光对象物的表面涂有感光剂的玻璃板、或晶圆等基板(以下，统称为基板)装载于基板载台装置的基板保持具上，以例如真空吸附等方式保持于基板保持具。并透过包含投影透镜等的光学系对该基板照射能量束，据以转印形成于光罩(或标线片)的电路图案。当结束对一片基板的曝光处理时，即将该完成曝光的基板以基板搬送装置从基板保持具上搬出，并于该基板保持具上装载另一基板。曝光装置藉由反复进行此种基板保持具上的基板更换，据以对多片基板连续进行曝光处理(例如，参照专利文献1)。

此处，为提升对多片基板连续进行曝光处理时的整体的处理能力(throughput)，除提升曝光及对准处理的处理能力(处理时间的短缩)外，缩短基板的更换时间(周期时间)(以短时间进行基板的更换)是非常有效的。因此，皆期望能有可迅速进行基板载台装置上的基板更换的系统(或装置)的开发。

先行技术文献

[专利文献1]美国专利第6,559,928号

发明内容

本发明第1态样提供一种基板搬送装置，具备：搬入装置，系藉由在第1路径上搬送基板据以搬入既定基板保持装置；以及搬出装置，系藉由在与该第1路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出。

根据此装置，基板往基板保持装置的搬入系以搬入装置在第1路径上进行，而基板从基板保持装置的搬出则以搬出装置在与第1路径不同的第2路径上进行。因此，可平行进行基板的搬入与搬出(例如，在基板的搬出时使搬入对象的另一基板于第1路径上待机等)，能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间。

本发明第2态样提供一第1曝光装置，其具备本发明的基板搬送装置；以及图案形成装置，系使用能量束使装载于该基板保持装置上的该基板曝光，据以在该基板形成既定图案。

本发明第3态样提供一第2曝光装置，具备：基板保持装置，其包含具有与水平面平行的保持面的保持构件，于该保持面上装载基板；搬入装置，系藉由在第1路径上搬送基板据以将基板搬入该基板保持装置；搬出装置，系藉由在与该第1路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出；以及曝光系，系以能量束使被保持于该基板保持装置上的该基板曝光。

根据上述第1、第2曝光装置，由于能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间，其结果能提升处理能力。

本发明第4态样提供一基板搬送方法，其包含：藉由在第1路径上搬送基板据以将其搬入既定基板保持装置的动作；以及藉由在与该第1路径不同的第2路径上搬送该基板，据以将该基板从该基板保持装置搬出的动作。

根据此方法，基板往基板保持装置的搬入系在第1路径上进行，而基板从基板保持装置的搬出则在与第1路径不同的第2路径上进行。因此，可平行进行基板的搬入与搬出(例如，在基板的搬出时使搬入对象的另一基板于第1路径上待机等)，能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间。

本发明第5态样提供一基板支承构件，其包含：支承部，系由延伸于与水平面平行的第1方向且在该水平面内与该第1方向正交的第2方向以既定间隔设置的多支棒状构件构成，从下方支承基板；以及卡合部，连接于该支承部、可与既定搬送装置卡合；此基板支承构件被该搬送装置与该基板一起被搬送至具有与该水平面平行的基板装载面的基板保持装置，该支承部的至少一部分被收容在形成于该基板装载面的槽部内且相对该基板保持装置移动于该第1方向的一侧，据以和该基板一起从该槽部内脱离。