[发明专利]光调制装置和激光加工装置

权利要求书

1.一种光调制装置，其特征在于，

是一种对激光进行调制并输出，并且将波长不同于所述激光的照明光输出到与调制后的所述激光相同的光路上的光调制装置，

包括：

反射型的空间光调制器，从斜前方接收沿第1光路入射的所述激光，一边反射该激光，一边在二维排列的多个像素的每个中调制所述激光，其中，所述第1光路沿第1方向延伸；

电介质多层膜镜，形成于使所述照明光透射的透光性部件上，将从所述空间光调制器入射到前面的所述激光反射到沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸的第2光路上，并且将入射到背面的所述照明光透射到所述第2光路上；

聚光透镜，从所述电介质多层膜镜接收所述照明光和所述激光，并将所述照明光和所述激光聚光。

2.根据权利要求1所述的光调制装置，其特征在于，

所述第1光路通过所述电介质多层膜镜的背面侧。

3.根据权利要求1所述的光调制装置，其特征在于，

所述第1光路通过所述电介质多层膜镜的前面侧，从与所述第1和第2方向相垂直的第3方向观看，所述第1光路和所述第2光路相互交叉。

4.一种激光加工装置，其特征在于，

是一种通过将聚光点对准加工对象物的内部并照射激光，从而对所述加工对象物进行加工的激光加工装置，

包括：

激光光源，出射激光；

照明光源，出射波长不同于所述激光的照明光；

反射型的空间光调制器，从斜前方接收沿第1光路入射的所述激光，一边反射该激光，一边在二维排列的多个像素的每个中调制所述激光，其中，所述第1光路沿第1方向延伸；

电介质多层膜镜，形成于使所述照明光透射的透光性部件上，将从所述空间光调制器入射到前面的所述激光反射到沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸的第2光路上，并且将入射到背面的所述照明光透射到所述第2光路上；

聚光透镜，从所述电介质多层膜镜接收所述照明光和所述激光，并将所述照明光和所述激光聚光于所述加工对象物的内部。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，

还包括摄像机构，用于对因所述照明光在所述加工对象物中反射或散射而产生的观察光进行摄像。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

所述摄像机构对沿所述第2光路并在所述电介质多层膜镜中透射了的所述观察光进行摄像。

7.一种光调制装置，其特征在于，

包括：

光源部，将波长相互不同的激光和照明光出射到相同的光路上；

第1电介质多层膜镜，形成于使所述照明光透射的第1透光性部件上，从所述光源部接收所述激光和所述照明光，并将所述激光反射，使所述照明光透射；

反射型的空间光调制器，其从斜前方接收来自于所述第1电介质多层膜镜的所述激光，一边反射该激光，一边在二维排列的多个像素的每个中调制所述激光；

第2电介质多层膜镜，形成于所述第1透光性部件上，或形成于与所述第1透光性部件分别设置且使所述照明光透射的第2透光性部件上，将从所述空间光调制器接收的所述激光反射，并且将从所述第1电介质多层膜镜接收的所述照明光透射到与反射后的所述激光相同的光路上；

聚光透镜，从所述第2电介质多层膜镜接收所述照明光和所述激光，并将所述照明光和所述激光聚光。

8.根据权利要求7所述的光调制装置，其特征在于，

所述第1透光性部件由棱镜构成；

所述第1电介质多层膜镜形成于所述棱镜的第1面上；

所述第2电介质多层膜镜形成于所述棱镜的第2面上；

所述照明光从所述第1面起在所述棱镜内传送而到达所述第2面。