专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理方法和装置-CN201880060924.7有效
  • 金仁俊;李佶洸;朴在阳;林斗镐 - 艾斯宜株式会社
  • 2018-09-19 - 2023-08-01 - H01L21/02
  • 本发明涉及一种用于去除形成在硅基板上的氧化硅或氮化硅的基板处理方法,包括以下步骤:通过将与氧化硅或氮化硅反应的反应气体供应到以布置在腔室内的状态被加热的硅基板,将氧化硅或氮化硅中的至少一部分转化为六氟硅酸铵((NH4)2SiF6);通过将未经等离子体处理的惰性气体供应到已生成六氟硅酸铵的硅基板来去除六氟硅酸铵;以及通过将经加热而转变为激发态的含氢气体喷射到去除了(NH4)2SiF6的硅基板上来去除残留在硅基板的表面上的含氟(F)的残留物
  • 处理方法装置
  • [发明专利]氟系列化合物和白炭黑的生产方法-CN200810024862.2无效
  • 夏克立 - 夏克立
  • 2008-05-16 - 2008-09-24 - C01B33/12
  • 将氟化铵和/或氨直接引入吸收系统,得到吸收液浓度为25~37%(NH4)2SiF6溶液;或者将氟化铵和氟硅酸钠反应得到由氟化钠结晶、氟硅酸铵溶液和七氟化合物NH4F·(NH4)2SiF6结晶的反应生成物,将吸收液或反应生成物氨化可制得比表面积为100~180m2/g的沉淀二氧化硅(白炭黑),后者还可得到氟化钠产品,以及浓度为30~45%NH4F溶液,以该溶液为起点几乎可以制取所有的无机氟化工产品,主要的有氟化铵、氟化钠、氟化钾
  • 系列化合物炭黑生产方法

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