专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]ITiO旋转靶材及其制备方法-CN202010116105.9在审
  • 甘志俭;庄志杰;诸斌;庄猛;杨斌 - 基迈克材料科技(苏州)有限公司
  • 2020-02-25 - 2020-06-05 - C04B35/01
  • 本发明涉及一种ITiO旋转靶材及其制备方法。ITiO旋转靶材的制备方法包括如下步骤:按照质量份数,将90份~99.5份的In2O3纳米粉体、0.5份~10份的TiO粉体;将ITiO粉体装入模具中,使用冷等静压成型,得到旋转靶材素坯;以及将旋转靶材素坯进行烧结,退火之后得到ITiO旋转靶材。经试验证明,本发明的上述ITiO旋转靶材的制备方法制备得到ITiO旋转靶材的相对密度≥98%,ITiO旋转靶材的电阻率≤4.0×10‑4Ω·cm,因此,通过上述ITiO旋转靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ITiO旋转靶材。
  • itio旋转及其制备方法
  • [发明专利]一种ITiO靶材的制备方法-CN201310669031.1有效
  • 黄誓成;何建进;陆映东 - 广西晶联光电材料有限责任公司
  • 2013-12-11 - 2014-05-28 - C04B35/01
  • 本发明涉及一种靶材的制备方法,特别是一种高性能ITiO靶材的制备方法。包括以下步骤:(1)将TiO2纳米粉体与In2O3纳米粉体均匀球磨混合得到ITiO粉体,ITiO粉体中TiO2的含量为0.5-5wt%,然后添加ITiO粉体质量1%-5%的粘结剂PVA;(2)将ITiO粉体装入模具中在40-80MPa下压制成型,将第一次成型的素坯,再用200-300MPa进行二次成型,然后以4-8MPa将素坯放在烧结炉中进行烧结,烧结条件是指以不高于1℃/min的升温速率升温,至1450~1550℃保温烧结6~12小时,之后按降温速率0.75~1℃/min降温至950-1050℃,之后自然降温;得到ITiO该方法可制备得到高性能ITiO靶材(高致密度、相对密度>98%,导电性良好,靶材电阻率<4.0x10-4Ω•cm),弥补国内高性能ITiO靶材生产制作的空白。
  • 一种itio制备方法

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