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[发明专利]一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法-CN202211616137.0在审
发明人：李帅;尹琳;曾光鹏;李明鸿;李叶 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C04B41/80 文献下载
摘要：本发明属于ITO靶材领域，具体涉及一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法，在翘曲的ITO平面靶的翘曲的位置的表面施加6‑20N的力，然后升温至850‑950℃，保温一段时间，最后升温至1500～1600℃采用本发明的方法具有精度高、靶材受损小的优势。
一种降低烧结 ito 平面靶翘曲方法

[发明专利]溅射靶-CN00801420.5有效
发明人：熊原吉一;石塚庆一 -专利权人：株式会社日矿材料
申请日： 2000-05-01 - 公布日： 2001-10-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及溅射靶，该溅射靶的表面或两个面的磨削方向或磨削的切线方向的一部分与焊到垫板后的靶的翘曲方向平行，或处于与翘曲方向成45°角的范围内；或者，当靶为矩形时，处于焊到垫板后的靶的翘曲方向和对角线的夹角的范围内，特别是可得到这样的溅射靶该靶在陶瓷靶的制造工序，即靶和垫板的接合工序中，可以有效地降低或防止由于热膨胀率的不同所致裂纹，同时，在溅射时也可有效地降低或防止同样的裂纹或翘曲。
溅射

[发明专利]溅射靶及其制造方法-CN202080078115.6在审
发明人：寺村享祐 -专利权人：三井金属矿业株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及能够将翘曲了的圆筒形基材用作构成材料的溅射靶及其制造方法，提供一种新型的溅射靶的制造方法，其中，即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热，也能够消除圆筒形基材的翘曲。本发明提出了一种溅射靶的制造方法，其特征在于，测定圆筒形基材的翘曲幅度，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工，在上述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将上述圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合
溅射及其制造方法

[发明专利]溅射电极以及具有溅射电极的溅射装置-CN200610111086.0无效
发明人：大石祐一;小松孝;中村肇;新井真;清田淳也;谷典明 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2006-08-18 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：在利用由接合材料接合靶和背板而构成的靶组合体、通过溅射进行成膜时，接合时发生翘曲，则处理基板面内膜厚变得不均匀。本发明介由从背板的靶向外侧伸出的部分(42a)，把由靶(41)和通过接合材料接合的背板(42)构成的靶组合体安装到溅射电极主体(4)上。然后，设置沿对于靶的溅射面相正交的方向，向靶组合体的中央区域施加拉张力或者按压力的任何一方的翘曲校正单元(7)。
溅射电极以及具有装置

[发明专利]一种平面靶材的绑定方法-CN202010333195.7有效
发明人：骆树立;王建堂;李庆丰;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 -专利权人：河北恒博新材料科技股份有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面靶材的绑定方法，属于靶材技术领域，平面靶材、铜背板、加热平台全程都是平整的，绑定步骤包括加热、隔离、冷却、完成四个步骤，在冷却阶段采用将冷却介质注入铜背板的冷却管道使其快速冷却预先收缩的方法，达到绑定后平面靶材翘曲程度小，与铜板之间内应力小的目的。本发明采用在冷却阶段将铜背板快速冷却以解决铜背板与平面靶材间因热膨胀系数的差异而产生的翘曲，在冷却前将铜背板与加热平台进行热隔离。
一种平面绑定方法

[发明专利]带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法-CN201480049960.5在审
发明人：伊藤治;长岛卓哉;青野雅广;山本孝充 -专利权人：田中贵金属工业株式会社
申请日： 2014-09-05 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以简易的方法矫正产生了翘曲的带背板(BP)的溅射靶材的翘曲的翘曲矫正方法。包含：配置工序，将带BP的溅射靶材(10)以靶材(12)侧位于上方的方式配置于以在上下方向上相对的方式配备上侧的加压面(22B)和下侧的加压面(22A)的加压装置的下侧的加压面(22A)，并且在带BP的靶材(10)的背板(14)侧的外缘部(14A)与下侧的加压面(22A)之间配置间隔件(18)；和加压工序，在所述配置工序之后，通过所述加压装置在上下方向上对带BP的靶材(10)进行加压，靶材(12)是金属氧化物和碳中的至少一方分散到基体金属中而得到的复合体
背板溅射矫正方法

[实用新型]一种宽幅钼靶翘曲度校正装置-CN202320681773.5有效
发明人：邓锐;黄飞虎;李德华 -专利权人：洛阳汇晶新材料科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种宽幅钼靶翘曲度校正装置，包括安装在两轴龙门架上的安装板，所述安装板的底部设有液压缸一，且液压缸一的伸缩端设有连接板，所述连接板的底部中部设有液压缸二，所述液压缸二的伸缩端设有矫正组件该宽幅钼靶翘曲度校正装置，可以对焊合后钼板材翘曲部位进行校正压平处理，能够小范围、部位或只针对钼靶材的翘曲部位进行校正处理，并且可以在压平后进行加热，并消除校正部位内部残余应力，针对性强，使用方便。
一种宽幅钼靶翘曲度校正装置

[发明专利]溅射靶用背衬板-CN200510114034.4无效
发明人：茂山和基;森元荣一 -专利权人：株式会社钢臂功科研
申请日： 2005-10-19 - 公布日： 2006-04-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：这种背衬板防止了和靶结合时出现的翘曲，减小了Al－Nd合金薄膜的膜沉积(溅射)时出现的应力，省去了翘曲的矫平处理，减小了安置在靶和背衬板之间的硬钎料的破裂，从而能够长期进行稳定的膜沉积操作。
溅射靶用背衬板

[发明专利]氧化铟-氧化锌类（IZO）溅射靶及其制造方法-CN201810723839.6在审
发明人：挂野崇 -专利权人：捷客斯金属株式会社
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：一种溅射靶，其为包含In、Zn、O的溅射靶，其特征在于，Zn和In的原子比满足0.05≤Zn/(In+Zn)≤0.30，并且该靶的溅射面内的体电阻率的标准偏差为1.0mΩ·cm以下。本发明提供一种烧结体的翘曲小、并且抑制了由用于减小翘曲的磨削造成的体电阻率的面内偏差的氧化铟‑氧化锌类氧化物(IZO)烧结体靶的制造方法。
溅射靶氧化锌类氧化铟体电阻率翘曲制造面内偏差烧结体靶溅射面烧结体原子比氧化物减小磨削

[发明专利]氧化铟‑氧化锌类（IZO）溅射靶及其制造方法-CN201611242711.5在审
发明人：挂野崇 -专利权人：捷客斯金属株式会社
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射靶，其为包含In、Zn、O的溅射靶，其特征在于，Zn和In的原子比满足0.05≤Zn/(In+Zn)≤0.30，并且该靶的溅射面内的体电阻率的标准偏差为1.0mΩ·cm以下。本发明提供一种烧结体的翘曲小、并且抑制了由用于减小翘曲的磨削造成的体电阻率的面内偏差的氧化铟‑氧化锌类氧化物(IZO)烧结体靶的制造方法。
氧化氧化锌 izo 溅射及其制造方法

[发明专利]氧化铟-氧化锌类（IZO）溅射靶及其制造方法-CN202210337974.3在审
发明人：挂野崇 -专利权人：捷客斯金属株式会社
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种溅射靶，其为包含In、Zn、O的溅射靶，其特征在于，Zn和In的原子比满足0.05≤Zn/(In+Zn)≤0.30，并且该靶的溅射面内的体电阻率的标准偏差为1.0mΩ·cm以下。本发明提供一种烧结体的翘曲小、并且抑制了由用于减小翘曲的磨削造成的体电阻率的面内偏差的氧化铟‑氧化锌类氧化物(IZO)烧结体靶的制造方法。
氧化氧化锌 izo 溅射及其制造方法

[发明专利]一种适应不同爆炸破孔靶板的安装结构及测量装置-CN202011502625.X在审
发明人：张建亭;王团盟;舒航;王雨;哈海荣;黎勤;王祎;张永丽;张晓军;李石林 -专利权人：西安精密机械研究所
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01B5/08 文献下载
摘要：本发明提供一种适应不同爆炸破孔靶板的安装结构及测量装置，解决目前测量爆炸破孔等效直径时，还没有一种安装结构能够在确保畅通无阻的同时，适应各种变形翘曲、破孔孔径大小不同、形状各异的被测试验靶板安装和密封的问题安装结构包括上端安装待测靶板，下端安装流体控制阀的箱体；箱体上端面为敞口，其上焊接有安装板；安装板与箱体下端面同轴开设有上孔和下孔；上孔孔径大于已知靶板爆炸破孔中最大孔径；上孔边缘开设有密封槽；待测靶板安装在所述安装板上，通过设置在密封槽内的弹性密封垫，适应变形翘曲；弹性密封垫的初始厚度以及变形后厚度均大于密封槽的槽深；下孔孔径与流体控制阀孔径相适配，并大于已知靶板爆炸破孔中最大等效直径。
一种适应不同爆炸破孔靶板安装结构测量装置

[发明专利]溅射靶-CN200910134430.1有效
发明人：松前和男 -专利权人：三井金属矿业株式会社
申请日： 2009-04-10 - 公布日： 2009-10-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种溅射靶，其在使用冷却水冷却靶材的同时进行溅射等情况下，在背板上发生翘曲时也不产生靶材的裂纹或脱落等。本发明的溅射靶的特征在于，包括：靶材；背板；至少一个缓冲板，其被设置在所述靶材和所述背板之间；接合材料，将所述靶材、背板以及缓冲板接合成一体。
溅射

[发明专利]铝类靶材及其制造方法-CN200480028627.2无效
发明人：久保田高史;松浦宜范;加藤和照 -专利权人：三井金属鉱业株式会社;日本轻金属株式会社
申请日： 2004-12-20 - 公布日： 2006-11-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的是提供尽量减少像气孔这样的内部缺陷、不发生翘曲的大面积铝类靶材。它是由多块铝合金靶材构成件构成的铝类靶材，具备通过搅拌摩擦焊接法接合铝合金靶材构成件的接合部。
铝类靶材及其制造方法

[发明专利]一种纸板生产线翘曲纸板模板库的构建方法-CN202111394522.0在审
发明人：马克贝特拉;蒋勉;林建浩;何宽芳 -专利权人：广东佛斯伯智能设备有限公司;佛山科学技术学院
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G06F16/55 文献下载
摘要：本发明适用于生产质量控制领域，公开了一种纸板生产线翘曲纸板模板库的构建方法，包括采集不同翘曲方向和翘曲程度的纸板的横截面图像作为样本；识别样本的翘曲方向和翘曲程度并根据不同翘曲类型和翘曲级别对样本分类以获取分类结果；根据分类结果建立与不同翘曲类型和翘曲级别对应的子图像库；逐一计算各子图像库每个样本的翘曲凸度，根据各子图像库样本的翘曲凸度的最小值和最大值确定各子图像库对应的翘曲类型和翘曲级别的翘曲凸度范围值，该方法利用非接触式、成本低和高精确度的机器视觉技术采集不同翘曲方向和翘曲程度的纸板的横截面图像作为样本，并结合工程师的经验知识形成翘曲纸板模板库，为后续实现纸板翘曲度的在线识别提供量化基础。
一种纸板生产线模板构建方法

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