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- [发明专利]检查装置以及检查方法-CN201680023768.8有效
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坂本阳一;浜田贵之;泷田伸幸
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新东工业株式会社
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2016-03-14
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2020-07-14
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G01R31/28
- 检查装置具备:载置台,其载置被试验器件;动态特性试验探针,其用于将被试验器件的电极与用于实施动态特性试验的动态特性试验机电连接;静态特性试验探针,其用于将电极与用于实施静态特性试验的静态特性试验机电连接;以及控制装置,其执行基于使载置台、动态特性试验探针以及静态特性试验探针中的至少一个移动而实现的位置控制。在实施动态特性试验时,控制装置以成为动态特性试验探针与电极接触的动态特性试验状态的方式执行位置控制,在实施静态特性试验时,控制装置以成为动态特性试验探针与电极分离而另一方面静态特性试验探针与电极接触的静态特性试验状态的方式执行位置控制
- 检查装置以及方法
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