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- [发明专利]铜互连的制备方法-CN201410200924.6有效
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钟旻
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上海集成电路研发中心有限公司
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2014-05-13
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2018-02-23
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H01L21/768
- 本发明公开了一种铜互连的制备方法,属于半导体技术领域。其包括在晶圆的上表面设置介质层,并对所述介质层进行处理形成通孔和/或沟槽,并在形成有通孔或沟槽的介质层上表面从下到上依次形成铜的阻挡层和铜籽晶层;在所述阻挡层上表面及所述通孔和/或沟槽中沉积铜材料并对其进行退火处理形成铜互连层,并对所述通孔和/或沟槽、所述阻挡层上表面的所述铜互连层进行分步抛光处理,以去除体铜并停止于所述阻挡层;通过平坦化处理去除所述铜互连层中的铜、所述介质层表面的阻挡层以及部分所述介质层,并保留所述通孔和/或沟槽中填充的铜,从而形成铜导线。本发明缓解或者避免了铜导线有效厚度的降低,以及器件可靠性的下降。
- 互连制备方法
- [实用新型]一种高光效LED灯珠-CN202022871794.2有效
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梁明光
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开平市亿鑫光电科技有限公司
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2020-12-02
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2021-07-06
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F21K9/20
- 本实用新型公开了一种高光效LED灯珠,包括灯珠本体和金属引脚,所述金属引脚对称设置在灯珠本体两侧,所述灯珠本体下表面通过导热硅脂粘接有铜铝合金板,所述铜铝合金板下表面固定连接铜铝合金条,所述铜铝合金条下表面一体成型有铜铝合金翅片,所述金属引脚表面开设有安装孔。本实用新型通过陶瓷底脚对铜铝合金板底部辅助支撑,防止铜铝合金板与安装面直接接触,有助于空气流通,铜铝合金板呈架空状态,灯珠本体工作时产生的热量通过导热硅脂传递至铜铝合金板,铜铝合金条表面的铜铝合金翅片增大散热面积
- 一种高光效led灯珠
- [实用新型]一种保护裸露铜层的软板-CN201620412293.9有效
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陈翔
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鹤山市中富兴业电路有限公司
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2016-05-06
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2016-09-28
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H05K1/02
- 本实用新型公开了一种保护裸露铜层的软板,包括第一绝缘层,所述第一绝缘层上表面设置有内层铜层,内层铜层上表面设置有粘接层,粘接层上表面设置有第二绝缘层,第二绝缘层上表面设置有外层铜层,设置有裸露铜层和用于保护裸露铜层的保护层,所述裸露铜层与内层铜层为一体结构,第二绝缘层做一定深度的切割形成所述保护层。本实用新型通过设置保护层来保护裸露铜层,无需人工贴胶带保护裸露铜层,有效改良了传统软板的生产工艺,大大减少了人工操作和缩短了生产时间,提高了生产效率和产品良率。
- 一种保护裸露
- [实用新型]一种石墨散热器装置-CN201120260281.6有效
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李丹;童海霞;肖忠良;吴道新
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长沙理工大学
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2011-07-22
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2012-02-01
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H01L23/373
- 本实用新型涉及一种石墨散热器装置,包括一个铜基座及若干导热石墨鳍片,所述导热石墨鳍片嵌插于铜基座表面沟槽内,该导热石墨鳍片表面包覆一层化学镀铜层。所述导热石墨鳍片自该铜基座的上表面向上延伸,所述铜基座由纯铜板组成。本实用新型有益效果为:通过采用导热石墨片代替铜材,在散热器的底部设置一铜基座,该铜基座与热源晶片接触,将运行时产生的热量迅速扩散开并传导至石墨散热鳍片组,通过石墨散热片表面包覆的铜,创造出最大的有效表面积,并在这个铜表面上热量被外界冷却媒介转移走;石墨与铜结合为最佳的散热材料,可达最佳散热效果,具有表面清洁光亮、装饰性能、物理机械性能优良、低热阻、重量轻、导热系数高等特点。
- 一种石墨散热器装置
- [发明专利]复合铜部件-CN202080027104.5在审
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佐藤牧子;小锻冶快允
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纳美仕有限公司
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2020-05-07
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2021-11-16
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C25D5/16
- 本发明的目的在于提供一种具有新型的复合表面处理层的铜部件。通过本发明提供一种复合铜部件,其是在铜部件的至少一部分表面形成有包括除铜以外的金属原子的金属层的复合铜部件,其特征在于,形成有上述金属层的上述复合铜部件的表面具有微细的凸部,利用使用透射式电子显微镜(TEM)的能量色散X射线分析法(EDX)时,在上述复合铜部件的上述表面的任意的直径10nm的范围内,除上述金属原子以外,均检测到铜原子和氧原子。
- 复合部件
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