专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具导电凸块的半导体装置及其制法-CN200710001580.6无效
  • 柯俊吉;黄建屏 - 矽品精密工业股份有限公司
  • 2007-01-08 - 2008-07-16 - H01L21/60
  • 本发明公开了一种具导电凸块的半导体装置及其制法,主要是在设有焊垫及保护层的半导体基材上形成与该焊垫电性导接的第一金属层,并覆盖一外露出部分第一金属层的第二覆盖,接着于该第二覆盖上形成与该第一金属层外露部分电性导接的第二金属层,并覆盖一第三覆盖,且令该第三覆盖设有开孔以外露出部分第二金属层,从而于该开孔中的第二金属层上形成包含有金属柱及焊锡材料的导电凸块,藉以利用该些覆盖金属层提供缓冲效果,以避免现有形成于焊垫上的焊块底部金属层因直接承受金属柱所传递的应力
  • 导电半导体装置及其制法
  • [发明专利]一种半导体器件及其制造方法-CN201310594715.X在审
  • 邓浩 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-11-21 - 2015-05-27 - H01L21/768
  • 本发明提供一种半导体器件及其制造方法,所述方法包括:提供半导体衬底,在其上依次形成蚀刻停止层和第一超低k介电层,在第一超低k介电层中形成铜金属互连层;回蚀刻第一超低k介电层,在铜金属互连层的两侧形成凹槽;沉积具有压应力的覆盖覆盖金属互连层和凹槽;在覆盖上沉积第二超低k介电层,并执行化学机械研磨直至露出位于铜金属互连层顶部的覆盖;沉积第三超低k介电层,覆盖第二超低k介电层和覆盖;对第三超低k介电层和第二超低k介电层实施紫外光固化处理,以使覆盖位于铜金属互连层的顶部和上部侧壁上的部分具有张应力。根据本发明,可以形成具有双应力的覆盖,有效抑制铜的扩散行为,提高紫外光固化的效率。
  • 一种半导体器件及其制造方法
  • [实用新型]基于大型数控框架式液压机的双金属复合导轨板-CN201420426348.2有效
  • 陈涛;何江;汪洋 - 四川省内江旭源机床有限公司
  • 2014-07-30 - 2014-12-17 - B30B15/04
  • 本实用新型公开了基于大型数控框架式液压机的双金属复合导轨板,包括导轨板,在导轨板上还设置有油槽与螺栓孔,该导轨板又由基础层与覆盖组成;油槽曲折设置在导轨板的覆盖上;螺栓孔在油槽两侧成阵列排列;基础层的材料为锡青铜合金,该基础层的厚度为6~18mm;覆盖的材料为铜基金属覆盖设置在基础层的上表面,且与基础层固为一体,该覆盖的厚度为2~5mm;油槽开设在覆盖上,该油槽的深度为覆盖厚度的一半。本实用新型提供一种基于大型数控框架式液压机的双金属复合导轨板,大大加强了导轨板的使用效果,提高了其使用寿命,降低了检查、维护以及更换的频率,提高了经济效益,促进了企业的发展。
  • 基于大型数控框架液压机双金属复合导轨
  • [发明专利]半导体元件及其制造方法-CN200510064492.1有效
  • 李显铭;林俊成;潘兴强;谢静华;彭兆贤;黄震麟;苏莉玲;眭晓林 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2005-04-18 - 2006-02-15 - H01L23/52
  • 本发明涉及一种半导体元件及其制造方法,所述半导体元件,包括工作元件、位于工作元件上的绝缘层、位于绝缘层中至少一导线及位于绝缘层和导线上的覆盖覆盖为非导电性,且包括至少一第一金属元素。此非导电的覆盖包括位于导线和导线间的绝缘层上的第一金属氮化物、第一金属氧化物或第一金属氮氧化物。一界面区可形成在导线的表面上,且此界面区可包括覆盖金属元素。覆盖可用以防止金属导线材料扩散至邻近绝缘层,此外其亦可以用作蚀刻阻挡层。本发明可以容易的结合一般的半导体制程,提供较佳的良率,且可改善可靠度。其亦可改进电致迁移的阻抗性。覆盖中的界面区可使结构更为坚固,且和其下的导线可有更佳的黏着性。
  • 半导体元件及其制造方法
  • [发明专利]具有高K金属栅极的金属氧化物半导体的形成方法-CN201010604745.0有效
  • 蒋莉;黎铭琦 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2010-12-23 - 2012-07-11 - H01L21/336
  • 一种具有高K金属栅极的金属氧化物半导体的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底表面形成有替代栅电极层,以及覆盖所述替代栅电极层的覆盖;形成覆盖所述半导体衬底和覆盖的层间介质层;对所述层间介质层进行第一步研磨处理,直至暴露覆盖位于替代栅电极层顶部的部分;向所述层间介质层注入氮离子,注入深度大于覆盖位于替代栅电极层顶部的部分的厚度;对所述层间介质层和覆盖进行第二步研磨处理,直至暴露所述替代栅电极层;湿法去除替代栅电极层;形成金属栅。通过本发明所提供的具有高K金属栅极的金属氧化物半导体的形成方法可以提高具有高K金属栅极的金属氧化物半导体的性能。
  • 具有金属栅极氧化物半导体形成方法

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