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[发明专利]一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置-CN201910529410.8在审
发明人：马冬林;朱正波 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置，属于激光散射表面缺陷检测技术领域，所述装置包括：第一散射光收集通道、第二散射光收集通道、第三散射光收集通道和第四散射光收集通道；第一散射光收集通道收集小角度区间范围内的散射光；第二散射光收集通道收集较大角度区间范围内的散射光；第三散射光收集通道收集更大区间角度范围内的散射光；第四散射光收集通道收集最大角度区间范围内的散射光。本发明的散射光收集装置采用多通道的收集方案，对不同角度区间范围内的散射光分别进行收集，极大提高了散射光收集效率，同时能够实现对不同类型缺陷的准确判别。
散射光收集散射光角度区间表面缺陷检测多通道激光散射大区间

[发明专利]一种用于暗场缺陷检测的光罩掩模板图形设计方法-CN202011236042.7有效
发明人：许爽;刘超;廖程;刘宇飞 -专利权人：武汉科技大学
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G06F30/10 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造的无图案硅片缺陷检测技术领域，公开了一种用于暗场缺陷检测的光罩掩模板图形设计方法，利用微粗糙度表面无颗粒散射模型计算表面无颗粒情况下的光散射信号；利用光滑表面颗粒散射模型计算表面有颗粒污染情况下的光散射信号；根据所得散射光强信号求取表面颗粒散射光与表面无颗粒散射光的信号对比度s；根据信号对比度s求取能用以分离颗粒散射光的透光区域；通过表面散射模型根据透光区域，设计适用的光罩掩模板图形，滤除无法区分颗粒散射信号的散射光本发明优化了现有的暗场缺陷检测系统中收集散射光的方法，能有效地消除硅片表面由于自身粗糙度的存在在没有颗粒污染的情况下产生的少量的光散射信号。
一种用于暗场缺陷检测光罩掩模板图形设计方法

[实用新型]一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置-CN201621430893.4有效
发明人：董敬涛;钱章尧;陈坚;吴周令 -专利权人：合肥知常光电科技有限公司
申请日： 2016-12-24 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置，包括抛物线散射光收集器，所述抛物线散射光收集器具有抛物线焦点F1，待测缺陷位于抛物线焦点F1处，待测缺陷的散射光经过抛物线散射光收集器内表面和位于抛物线散射光收集器中心的第一透镜准直后平行射出，射出的光经过设置在抛物线散射光收集器上方的第一透镜聚焦进入散射光探测器并被探测，散射光探测器设置在第二透镜光射出方向的焦点处。将经过散射光收集器的缺陷点的散射光全部收集到散射光探测器中，具有更高的收集效率、系统信噪比和检测灵敏度。
一种检测表面缺陷散射高效收集装置

[发明专利]盘表面缺陷检查方法以及装置-CN201010145148.6无效
发明人：比纳杜尔拉希德·法利斯;谷中优;加藤启仁;石黑隆之;芹川滋 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2010-03-22 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种盘表面缺陷检查方法以及装置。该盘表面缺陷检查方法包括以下步骤：从斜方向对旋转的盘基板表面照射激光的步骤；检测来自微小的凹凸缺陷的低角度散射光的强度和高角度散射光的强度的步骤；在所述低角度散射光的强度和高角度散射光的强度的比率一定的情况下，判断为微小的凸状缺陷的步骤；以及在所述低角度散射光的强度和高角度散射光的强度的比率变化(变大)的情况下，判断为微小的凹状缺陷的步骤。
表面缺陷检查方法以及装置

[发明专利]一种基于光散射的晶圆表面颗粒缺陷的散射场计算方法-CN201911165226.6在审
发明人：廖程;许爽;李公法;刘超;马如意;廖尚春 -专利权人：武汉科技大学
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G06F17/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光散射的晶圆表面颗粒缺陷的散射场计算方法，首先利用平行光照射，与晶圆片上颗粒直接作用的入射光记为A，与晶圆片上光滑表面作用的入射光记为B；A与颗粒作用产生散射光，一部分向下散射继续与超光滑表面作用的散射光记为D，一部分向上散射被探测器收集到的散射光记为C；B与光滑表面作用产生的散射光，通过窗函数筛选出继续与颗粒作用的散射光记为E，未被中筛选出的散射光被探测器收集记为F；最后叠加得到的六种散射场来获得颗粒缺陷下的散射场本发明解决了纳米级颗粒缺陷无法识别的问题，并且通过得到的颗粒缺陷产生的散射场信息，如偏振，光强等，提高了颗粒缺陷检测的识别率和芯片的良率。
一种基于散射表面颗粒缺陷计算方法

[发明专利]一种采用偏振激光散射检测纤维增强陶瓷基复合材料亚表面损伤的方法-CN202110630917.X有效
发明人：殷景飞;徐九华;苏宏华;丁文锋;傅玉灿;陈燕;杨长勇;张全利;赵正材 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用偏振激光散射检测纤维增强陶瓷基复合材料亚表面损伤的方法,是采用线偏振的激光检测,激光器发射检测激光，经过扩束镜，直径增大，发散角减小，经过偏振分光镜、积分球，经由下聚焦透镜聚焦到样品材料表面，透射的光被亚表面损伤散射，表面散射光被积分球收集到，由表面散射光探测器探测记录，得到样品表面散射信号。借助积分球收集表面散射光信号分析获得材料表面的分布特征信息。采用双探测器探测，表面散射光探测器探测的光信号与亚表面损伤探测器探测的光信号进行归一化和差分，尽可能减小表面散射光对亚表面损伤检测的影响。
一种采用偏振激光散射检测纤维增强陶瓷复合材料表面损伤方法

[发明专利]盘表面检查方法及其装置-CN201310053665.4无效
发明人：堀江圣岳;谷中优;法利兹·宾·阿布多拉希德 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-19 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供盘表面检查方法及其装置。在盘表面的检查中，为了能够从零散存在的擦伤缺陷中分离在盘上同心圆状产生的圆形擦伤缺陷，而向样本照射光，检测从样本反射的正反射光，从正反射光中分离正反射光附近的散射光来检测，检测在相对于样本的法线方向比正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光，处理正反射光检测信号、低角度散射光检测信号、高角度散射光检测信号来检测样本表面的缺陷，其中，检测样本的表面的缺陷是处理正反射光检测信号、低角度散射光检测信号、高角度散射光检测信号来提取缺陷候选，针对该提取的缺陷候选
表面检查方法及其装置

[发明专利]图像扫描器-CN97122245.2无效
发明人：李俊彦 -专利权人：鸿友科技股份有限公司
申请日： 1997-11-11 - 公布日： 2002-10-16 - 主分类号： G02B5/22 文献下载
摘要：一种图像扫描器，其中该图像扫描器包括一壳体；以及一光源，设置于壳体中，提供一初始光线，其中包括投射至壳体上的散射光线。一消除散射光的装置设置于壳体内部的表面上，且位于散射光线的光路上，吸收并消除散射光线。该消除散射光的装置为一光吸收物件。
图像扫描器

[发明专利]一种测量悬浮亚微米颗粒物大小的装置与方法-CN201610277805.X在审
发明人：廖然;欧学桁;陶益 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：一种测量悬浮亚微米颗粒物大小的装置及方法，该装置包括光源、后向散射光接收透镜、前向散射光接收透镜、后向散射光探测模块、前向散射光探测模块以及处理模块，光源发出的光经过后向散射光接收透镜后入射到待测悬浮亚微米颗粒物上，产生前向散射光和后向散射光，经过前向散射光接收透镜的前向散射光的光强值由前向散射光探测模块探测，经过后向散射光接收透镜的后向散射光的光强值由后向散射光探测模块探测，处理模块计算出后向散射光与前向散射光的光强值的比值
一种测量悬浮微米颗粒大小装置方法

[发明专利]激光加工方法-CN202111180790.2在审
发明人：波多野雄二;能丸圭司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供激光加工方法，即使在水中产生微细的泡而使所照射的激光光线发生散射，也不会给形成于晶片的正面的器件带来损伤，并且不会使各个分割的器件的品质降低。激光加工方法包含如下的工序：散射光遮蔽膜层叠工序，在晶片的上表面侧层叠散射光遮蔽膜，该散射光遮蔽膜遮蔽激光光线的散射光；保持工序，利用卡盘工作台对晶片的下表面侧进行保持；激光加工工序，在晶片的上表面侧形成水层，并且一边使该卡盘工作台与激光光线照射单元相对地移动一边对晶片的要加工的区域照射激光光线；以及散射光遮蔽膜去除工序，从结束了该激光加工工序的晶片去除散射光遮蔽膜。
激光加工方法

[发明专利]一种体散射光传输建模与三维目标重建方法-CN202210440123.1在审
发明人：金欣;杜东宇 -专利权人：清华大学深圳国际研究生院
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G06T17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种体散射光传输建模与三维目标重建方法，包括如下步骤：S1：建立体散射光传输模型，以目标表面特性和结构特征建模三维目标分布；S2：为体散射光传输模型添加约束条件，建立单光程体散射光传输模型；S3：将离散时域散射场的重建方法表示为单光程体散射光传输模型在空域和时域约束条件下的解；S4：建立双光程耦合体散射光传输模型，获得成像平面的体散射光场分布；S5：将连续时域散射场的重建方法建模为以采集图像和模型预测图像的残差为目标函数本发明所提供的模型能准确描述体散射场景中像空间与物空间的定量关系，同时提供了对体散射光传输模型有效求解的方法，可用于体散射场景中的三维目标重建。
一种散射传输建模三维目标重建方法

[发明专利]一种光纤聚能装置-CN202110334515.5在审
发明人：梁卓文;王哲;丁坦;左晓爽 -专利权人：中国人民解放军空军军医大学
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： A61N5/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤聚能装置，涉及医疗器械技术领域，包括散射光纤、外壳和凹面反射镜，散射光纤经外壳的一端伸入外壳内腔并固定，外壳的另一端封闭，凹面反射镜固定在外壳内部，且靠近散射光纤的出光端固定，外壳的侧壁上对应凹面反射镜的位置设有出光窗口，散射光纤的出光端位于凹面反射镜和出光窗口之间，且凹面反射镜向远离散射光纤的一侧凹陷，凹面反射镜能够将散射光纤发出的散射光反射，并使反射后的散射光经出光窗口平行投射于工作表面。
一种光纤装置

[实用新型]一种光纤聚能装置-CN202120631753.8有效
发明人：梁卓文;王哲;丁坦;左晓爽 -专利权人：中国人民解放军空军军医大学
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： A61N5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤聚能装置，涉及医疗器械技术领域，包括散射光纤、外壳和凹面反射镜，散射光纤经外壳的一端伸入外壳内腔并固定，外壳的另一端封闭，凹面反射镜固定在外壳内部，且靠近散射光纤的出光端固定，外壳的侧壁上对应凹面反射镜的位置设有出光窗口，散射光纤的出光端位于凹面反射镜和出光窗口之间，且凹面反射镜向远离散射光纤的一侧凹陷，凹面反射镜能够将散射光纤发出的散射光反射，并使反射后的散射光经出光窗口平行投射于工作表面。
一种光纤装置

[发明专利]一种基于布里渊散射的材料弹光系数测量装置及方法-CN202211261095.3在审
发明人：郭谦;王石语;蔡德芳;李兵斌;尚佩瑾;李哲远;黄杨金;张宁宁 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于布里渊散射的材料弹光系数测量装置及方法，该装置包括：入射光产生模块用于产生测量激光并将其转化为圆偏振光；光束变换模块用于将圆偏振光转化为第一预设偏振方向的线偏振光后进行准直和缩束，使得到的入射光从待测样品的第一表面入射；散射光收集模块用于获取在待测样品中发生布里渊效应而产生的散射光，并在散射光由第二表面出射后，将与自身光轴方向平行的散射光聚焦于F‑P干涉仪的孔径处；F‑P干涉仪用于利用散射光形成等倾干涉，并对干涉后的散射光进行成像，通过测量得到的多张布里渊散射谱，确定待测样品的弹光系数。本发明缩小了大立体角带来的弹光系数误差，有利于测量得到精度更高的弹光系数。
一种基于布里渊散射材料系数测量装置方法

[发明专利]一种测量悬浮颗粒物的二维光散射角度分布的装置及方法-CN201610277996.X在审
发明人：廖然;欧学桁;陶益 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：一种测量悬浮颗粒物的二维光散射角度分布的装置及方法，其中光源发出的光经过后向散射光接收透镜后入射到待测悬浮颗粒物上，产生前向散射光和后向散射光，经过前向散射光接收透镜的前向散射光由前向散射光探测模块探测，经过后向散射光接收透镜的后向散射光由后向散射光探测模块探测，由此获得颗粒物的二维光散射角度分布，二维光散射角度分布包括前向散射光探测模块和后向散射光探测模块一起所能够探测到的颗粒物的散射角的覆盖范围，以及对应于不同散射角的方位角的覆盖范围。本发明可在大角度范围内测量悬浮颗粒物的光散射二维角度分布，为获得悬浮颗粒物更多、更全面的信息提供可能。
一种测量悬浮颗粒二维散射角度分布装置方法

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