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[发明专利]一种分析型臭氧发生系统-CN202011555203.9在审
发明人：郭炜;叶花;于哲;韩香玉 -专利权人：中节能天融科技有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种分析型臭氧发生系统，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；MFC单元以及臭氧浓度检测单元均与臭氧产生单元连接；MFC单元用于向臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；臭氧产生单元用于产生流量为期望流量阈值且浓度为期望浓度阈值的期望臭氧；臭氧浓度检测单元用于实时检测臭氧产生单元中的臭氧浓度并将得到的臭氧浓度检测信号发送至微控制器；MFC单元、臭氧产生单元以及臭氧浓度检测单元均与微控制器连接；微控制器用于控制MFC单元输出的流量、实时根据臭氧浓度检测信号计算出系统当前的臭氧浓度以及控制臭氧产生单元产生期望臭氧。本发明实现了臭氧浓度的精准产生。
一种分析臭氧发生系统

[发明专利]自动调节臭氧浓度的消毒装置-CN202110111242.8在审
发明人：乔晓军;王莹;姚世元;刘智;湛文强;李玉风;常红梅;王海波 -专利权人：农芯科技（北京）有限责任公司;北京农业信息技术研究中心
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： A61L2/20 文献下载
摘要：本发明提供一种自动调节臭氧浓度的消毒装置，包括：臭氧发生组件、臭氧浓度检测器和PID控制器；臭氧浓度检测器用于获取消毒装置四周的臭氧浓度值；臭氧发生组件用于产生臭氧；PID控制器与臭氧浓度检测器通信连接，用于将臭氧浓度值与预设臭氧浓度值相比较得到差值，差值作为PID控制器的输入量，从而得到控制信号，以基于控制信号调整臭氧发生组件的臭氧产生量。以空间内实际需要的臭氧浓度参考值作为控制目标，利用臭氧浓度传感器采集的实际值与参考值的差值作为PID控制器的输入值，通过闭环控制系统可以自动根据环境内的臭氧浓度值控制臭氧发生组件的臭氧产生量，以使得室内臭氧浓度达到用户设定的最佳状态
自动调节臭氧浓度消毒装置

[实用新型]自动调节臭氧浓度的消毒装置-CN202120227386.5有效
发明人：乔晓军;王莹;姚世元;刘智;湛文强;李玉风;常红梅;王海波 -专利权人：农芯科技（北京）有限责任公司;北京农业信息技术研究中心
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： A61L2/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动调节臭氧浓度的消毒装置，包括：臭氧发生组件、臭氧浓度检测器和PID控制器；臭氧浓度检测器用于获取消毒装置四周的臭氧浓度值；臭氧发生组件用于产生臭氧；PID控制器与臭氧浓度检测器通信连接，用于将臭氧浓度值与预设臭氧浓度值相比较得到差值，差值作为PID控制器的输入量，从而得到控制信号，以基于控制信号调整臭氧发生组件的臭氧产生量。以实际需要的臭氧浓度参考值作为控制目标，利用臭氧浓度传感器采集的实际值与参考值的差值作为PID控制器的输入值，通过闭环控制系统可以自动根据环境内的臭氧浓度值控制臭氧发生组件的臭氧产生量，以使得室内臭氧浓度达到用户设定的最佳状态
自动调节臭氧浓度消毒装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202110723910.2在审
发明人：平下友美 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置，能高精度地控制回收的臭氧水的臭氧浓度。基板处理装置具备：臭氧水生成部，使用臭氧气体生成臭氧水；第一浓度计，测量生成的臭氧水的臭氧浓度；基板处理部；回收部，回收臭氧水并向臭氧水生成部供给；以及控制部，控制臭氧水生成部的动作，回收部具备：温度控制部，控制臭氧水的温度；以及第二浓度计，测量臭氧浓度，控制部基于由第二浓度计测量出的臭氧浓度，控制臭氧水生成部中的臭氧气体的供给量。
处理装置以及方法

[发明专利]一种全自动智能化臭氧灭菌系统-CN202010197898.1在审
发明人：朱映山;林勇琴 -专利权人：南通纽康数研网络技术有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： A61L2/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种全自动智能化臭氧灭菌系统，包括室内空间、臭氧发生器、多个臭氧浓度检测器和控制器；臭氧发生器为功率可调臭氧发生器，能够产生臭氧，并将臭氧输送至室内空间中；多个臭氧浓度检测器分散设置于室内空间内，对室内全方位空间进行臭氧浓度的多点测量，将测量得到的臭氧浓度信号发送给控制器；控制器电连接于臭氧发生器和多个臭氧浓度检测器；控制器内能够设定臭氧浓度预设值。由此，通过设定安全的臭氧浓度预设值，使得控制器能够根据该臭氧浓度预设值来控制臭氧发生器的工作功率，从而控制室内空间的臭氧浓度不会伤害到人体。
一种全自动智能化臭氧灭菌系统

[实用新型]一种全自动智能化臭氧灭菌系统-CN202020352931.9有效
发明人：朱映山;林勇琴 -专利权人：南通纽康数研网络技术有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： A61L2/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种全自动智能化臭氧灭菌系统，包括室内空间、臭氧发生器、多个臭氧浓度检测器和控制器；臭氧发生器为功率可调臭氧发生器，能够产生臭氧，并将臭氧输送至室内空间中；多个臭氧浓度检测器分散设置于室内空间内，对室内全方位空间进行臭氧浓度的多点测量，将测量得到的臭氧浓度信号发送给控制器；控制器电连接于臭氧发生器和多个臭氧浓度检测器；控制器内能够设定臭氧浓度预设值。由此，通过设定安全的臭氧浓度预设值，使得控制器能够根据该臭氧浓度预设值来控制臭氧发生器的工作功率，从而控制室内空间的臭氧浓度不会伤害到人体。
一种全自动智能化臭氧灭菌系统

[实用新型]臭氧浓度控制系统及半导体设备-CN202220684428.2有效
发明人：柳雪;杨德赞;张义明;祁广杰;刘镇颉 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种臭氧浓度控制系统及半导体设备，该臭氧浓度控制系统，包括：臭氧进气管路、臭氧浓度检测部件和控制单元、气箱和臭氧发生器；气箱包括主出气口和检测口，臭氧浓度检测部件的进气口通过臭氧进气管路与检测口连通；臭氧浓度检测部件用于实时采集所述臭氧进气管路中的臭氧浓度，控制单元与臭氧浓度检测部件和臭氧发生器均电连接，用于获取所述臭氧浓度，并根据所述臭氧浓度与臭氧发生器的预设臭氧浓度之间的差值，调节臭氧发生器的臭氧输出浓度，使得实际输出的浓度达到浓度标准要求，从而降低了同一机台不同时期以及不同腔体之间的工艺差异性，进而提升工艺稳定性。
臭氧浓度控制系统半导体设备

[实用新型]高浓度臭氧气体系统-CN201820670010.X有效
发明人：王振交;艾凡凡;韩培育 -专利权人：苏州中世太新能源科技有限公司
申请日： 2018-05-07 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高浓度臭氧气体系统，包括：控制台、管路、隔板、高浓度臭氧发生器、臭氧气体传输控制系统和臭氧浓度PID自动控制系统；且臭氧浓度PID自动控制系统是多通道臭氧浓度PID自动控制系统，臭氧气体传输控制系统包括气体输入口、质量流量控制器、压力传感器和控制阀，本系统能产生高浓度的臭氧气体，并且经臭氧气体传输控制系统和臭氧浓度PID自动控制系统分别调节流量和浓度，可以同时对多个设备进行高浓度臭氧气体的供应，且降低了生产成本
自动控制系统臭氧气体臭氧传输控制系统高浓度臭氧气体系统高浓度臭氧发生器质量流量控制器控制台隔板本实用新型气体输入口压力传感器多通道控制阀生产成本

[发明专利]用于除霉杀菌的臭氧浓度控制系统和方法-CN201610313781.9在审
发明人：王思瑞 -专利权人：深圳市西宝船舶电子有限公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G05D11/13 文献下载
摘要：用于除霉杀菌的臭氧浓度控制系统及方法，包括臭氧浓度检测、浓度控制和臭氧产生和消除单元；电抽风扇或风鼓启动后将空气从进风口吹入臭氧产生和消除单元进入需除霉杀菌的密闭空间；检测到臭氧浓度实时值传送至臭氧浓度控制单元计算其与臭氧浓度目标值的偏差值；小于臭氧浓度目标值范围，则仅打开臭氧产生单元；大于臭氧浓度目标值范围，则关闭臭氧产生单元，等待实时臭氧自然衰减或打开臭氧消除单元消除臭氧至目标值范围。本发明自动检测及控制臭氧浓度，可在短时间内可开启臭氧消除单元消除臭氧至安全浓度范围，集臭氧产生与消除功能为一体，结构简单操作方便。
用于杀菌臭氧浓度控制系统方法

[实用新型]用于除霉杀菌的臭氧浓度控制系统-CN201620429947.9有效
发明人：王思瑞 -专利权人：深圳市西宝船舶电子有限公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： G05D11/13 文献下载
摘要：用于除霉杀菌的臭氧浓度控制系统，包括臭氧浓度检测、浓度控制和臭氧产生和消除单元；电抽风扇或风鼓启动后将空气从进风口吹入臭氧产生和消除单元进入需除霉杀菌的密闭空间；检测到臭氧浓度实时值传送至臭氧浓度控制单元计算其与臭氧浓度目标值的偏差值；小于臭氧浓度目标值范围，则仅打开臭氧产生单元；大于臭氧浓度目标值范围，则关闭臭氧产生单元，等待实时臭氧自然衰减或打开臭氧消除单元消除臭氧至目标值范围。本实用新型自动检测及控制臭氧浓度，可在短时间内可开启臭氧消除单元消除臭氧至安全浓度范围，集臭氧产生与消除功能为一体，结构简单操作方便。
用于杀菌臭氧浓度控制系统

[发明专利]一种臭氧浓度控制系统及方法-CN202210506885.7在审
发明人：章亚俊;张建高;肖浩 -专利权人：江西林博能源环保有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G05D11/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种臭氧浓度控制系统，涉及臭氧消毒领域，该方法包括：臭氧产生机构，用于产生臭氧；臭氧作用机构，用于接收臭氧产生机构产生的臭氧，并通过臭氧对待处理物品进行消毒杀菌；臭氧检测机构，用于检测臭氧作用机构内的臭氧浓度，并输出臭氧浓度值；臭氧控制机构，用于获取臭氧浓度值，并计算臭氧浓度值与预设臭氧浓度值之间的偏差值，根据偏差值调节臭氧作用机构中的臭氧浓度值，以达到预设臭氧浓度值；尾气处理机构，用于将反应完成后的臭氧进行回收处理本发明能够解决现有技术中臭氧的浓度无法控制的技术问题。
一种臭氧浓度控制系统方法

[发明专利]利用高浓度臭氧水对织物进行氧化褪色处理的装置-CN201010145488.9无效
发明人：刘志国 -专利权人：刘志国
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： D06B3/10 文献下载
摘要：利用高浓度臭氧水对织物进行氧化褪色处理的装置，包括洗涤装置，所述洗涤装置设有内腔，内腔内设有滚筒，还包括高浓度臭氧水发生装置、臭氧水浓度控制装置和臭氧吸收装置，所述高浓度臭氧水发生装置设有吸水管和出水管，吸水管和出水管分别与内腔连接，所述臭氧水浓度控制装置与高浓度臭氧水发生装置连接，臭氧水浓度控制装置上设有臭氧水浓度探头，臭氧水浓度探头设于内腔内，所述臭氧吸收装置与内腔连接。
利用浓度臭氧织物进行氧化褪色处理装置

[实用新型]利用高浓度臭氧水对织物进行氧化褪色处理的装置-CN201020157271.5无效
发明人：刘志国 -专利权人：刘志国
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： D06F39/00 文献下载
摘要：利用高浓度臭氧水对织物进行氧化褪色处理的装置，包括洗涤装置，所述洗涤装置设有内腔，内腔内设有滚筒，还包括高浓度臭氧水发生装置、臭氧水浓度控制装置和臭氧吸收装置，所述高浓度臭氧水发生装置设有吸水管和出水管，吸水管和出水管分别与内腔连接，所述臭氧水浓度控制装置与高浓度臭氧水发生装置连接，臭氧水浓度控制装置上设有臭氧水浓度探头，臭氧水浓度探头设于内腔内，所述臭氧吸收装置与内腔连接。
利用浓度臭氧织物进行氧化褪色处理装置

[发明专利]智能空气净化器-CN202010510849.9在审
发明人：蔡真清;张皓坤;王玉良;冯展翊;冯圆通;黄忠磊 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本申请涉及一种智能空气净化器，包括控制模块，与控制模块连接的空气净化模块、臭氧浓度检测模块和臭氧还原模块；除臭氧浓度检测模块设置于空气净化模块的净化出风口处，位于空气净化模块和臭氧还原模块之间；空气净化模块用于净化空气；臭氧浓度检测模块用于对空气净化模块运行产生的臭氧进行臭氧浓度检测；臭氧还原模块用于在检测的臭氧浓度大于臭氧浓度阈值时，根据控制模块的启动指令还原空气净化模块运行产生的臭氧；控制模块用于控制空气净化模块、臭氧浓度检测模块和臭氧还原模块的开启和关闭；以及，还用于确定检测的臭氧浓度大于臭氧浓度阈值时，向臭氧还原模块发送启动指令。采用本智能空气净化器能够降低空气中的臭氧浓度。
智能空气净化器

[实用新型]一种臭氧发生装置-CN202123126893.9有效
发明人：张扬;梁智勇;程伯添 -专利权人：广东艾瑞克林科技有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种臭氧发生装置，包括壳体、机架、控制主板和臭氧发生器，所述机架设置于所述壳体内，所述控制主板和所述臭氧发生器分别设置于所述机架上，所述控制主板上设置有浓度检测单元，所述控制主板分别与所述臭氧发生器和所述浓度检测单元电性连接；所述浓度检测单元用于检测空气中的臭氧浓度并根据臭氧浓度向所述控制主板反馈控制信号；所述控制主板用于控制所述臭氧发生器的工作状态；通过浓度检测单元对待净化环境中的臭氧浓度进行检测实现控制主板对臭氧发生器的工作控制，避免空间内的臭氧浓度过高导致使用者在使用时吸入高浓度臭氧，并且通过浓度检测单元避免臭氧发生器长时间工作，降低了能耗。
一种臭氧发生装置

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