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[发明专利]一种基于平面光波导的微腔光学滤波器-CN202210442144.7有效
发明人：张跃芳;郭嘉梁 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：一种基于平面光波导的微腔光学滤波器，包括衬底、脊形芯层光波导、平面芯层光波导以及在平面芯层光波导内的四个反射曲面镜；所述脊形芯层光波导和平面芯层光波导设置在衬底上表面，脊形芯层光波导上设有输入端口、下降端口和直通端口，输入端口的宽度和输入光波的宽度一致，直通端口用于滤波后的目标光波输出，下降端口用于滤波后其他波长的光波输出；所述四个反射曲面镜构筑成平面微纳微腔，使得通过脊形芯层光波导进入平面芯层光波导的光波在平面微纳微腔内被循环反射并发生共振实现滤波本发明通过平面芯层光波导和脊形芯层光波导的配合以及平面微纳微腔的共振滤波，较于传统的基于脊形光波导的光学滤波器，具有更加优异的综合性能。
一种基于平面波导光学滤波器

[发明专利]脊形光波导损耗CCD无损半自动测量方法及系统-CN201510990767.8在审
发明人：温昌礼;徐蓉;门涛;刘长海 -专利权人：中国西安卫星测控中心
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供了一种脊形光波导损耗CCD无损半自动测量方法及系统，激光器发出的激光经过耦合透镜聚焦后耦合进入光纤，光纤和耦合透镜位置由微动台调节和固定，利用显微镜将光纤末端和脊形光波导的输入端对准后，将激光引入至脊形光波导中实现脊形光波导的通光；利用CCD摄像机拍摄波导通光图像；利用波导通光图像计算得到光波导损耗的测量值。本发明可以实现脊形光波导的无损测量且实现测量的半自动化，操作简单、精度较高。
脊形光波导损耗 ccd 无损半自动测量方法系统

[发明专利]光波导方向耦合器-CN201210147104.6在审
发明人：黄新舜 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G02B6/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种光波导方向耦合器，其包括一基底及形成于该基底上的两条光波导。该基底包括一个截面呈凸字形的脊形区及一个与该脊形区相连接的矩形区，该脊形区包括隆起的内脊区，该内脊区平滑连接该矩形区。该两条光波导横跨该内脊区与该矩形区，每条该光波导包括位于该内脊区的第一直波导段，以及位于该矩形区的与该第一直波导段连接的弯曲波导段及与该弯曲波导段连接的第二直波导段，该两条光波导的第一直波导段相互平行且之间形成一耦合作用区，该两条光波导的弯曲波导段向外弯曲延伸，该两条光波导的第二直波导段相互平行。
波导方向耦合器

[发明专利]一种基于脊形光波导的SPR生化传感器-CN201710237635.7在审
发明人：董瑛;王玺;王晓浩 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2017-04-12 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：一种基于脊形光波导的SPR生化传感器，包括在同一SOI硅片上加工形成的SPR检测芯片与光纤支架、键合在芯片表面的聚合物形成的多个聚合物腔体、由聚合物腔体形成的微流道系统和在聚合物腔体中设置的光电探测器及检测电路，SPR检测芯片包括脊形光波导、样品池和金属薄膜，光纤通过经光纤支架与脊形光波导耦合，脊形光波导耦合到光电探测器及检测电路，脊形光波导的中段耦合到样品池，微流道系统连接样品池，金属薄膜与样品池内的样品直接接触，由脊形光波导的输入端传输的光经过金属薄膜反射后沿着脊形光波导出射，通过光电探测器及检测电路探测光强的变化并转换成电信号，实现对样品池内的样品检测。
一种基于脊形光波导 spr 生化传感器

[发明专利]离子注入制备光学晶体的脊形光波导的方法-CN03111919.0无效
发明人：王雪林;陈峰;付刚;张建华;王克明 -专利权人：山东大学
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2003-08-27 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明是利用离子注入制备光学晶体的脊形光波导的方法，该方法离子注入、光刻胶掩膜制备和Ar离子束刻蚀。采用能量为2.0－5.0MeV的离子注入到光学晶体的表面，在形成的平面光波导上制备掩膜，用Ar离子束进行刻蚀，能够在光学晶体表面形成脊形光波导；用氧离子和硅离子等注入铌酸锂和偏硼酸钡等非线性光学晶体能够形成增加型的脊形光波导；用氦离子或者氢离子注入多数光学晶体能够形成位垒型脊形光波导。所形成的脊形光波导可以保持较好的非线性光学特性。脊形光波导的厚度、脊背的宽度、深度以及导波模式可以由工艺参数控制。采用本发明可以制作光开关、光调制器等光电子器件。
离子注入制备光学晶体脊形光波导方法

[发明专利]采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法-CN201910587600.5在审
发明人：王磊;陈峰 -专利权人：山东大学
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用金刚石划片机制备脊形光波导的方法，属于光电子器件制备领域，包括：将平面光波导进行清洗；将刀片安装到金刚石划片机的刀架上；使用蓝膜粘结到平面光波导的背面，将平面光波导的粘结面固定安装到在真空吸附操作盘上；设置切割深度、进刀速度和刀片转速；使用金刚石划片机在平面光波导上表面划凹槽制备得到脊形光波导，脊形光波导的宽度为2～50μm，凹槽的深度为20～200μm，宽度为50～200μm；将脊形光波导从蓝膜或基底上取下，将垂直于脊型光波导的两个端面进行光学抛光。本发明能够制备出高性能、低损耗、微米量级且较好保持晶体非线性和光学增益特性的光波导，且不受掩膜线条的限制。
脊形光波导金刚石划片平面光波导制备蓝膜光电子器件脊型光波导刀片安装刀片转速光学抛光光学增益微米量级真空吸附刀架操作盘低损耗光波导上表面粘结面基底进刀取下掩膜粘结背面切割清洗线条垂直

[发明专利]高速半导体光调制器-CN200780051941.6有效
发明人：道格拉斯·M·吉尔;克里斯托弗·DW·琼斯;桑贾伊·尚蒂拉尔·帕特尔;马哈茂德·拉斯拉斯;尼尔斯·京特·魏曼 -专利权人：朗讯科技公司
申请日： 2007-10-30 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： G02F1/025 文献下载
摘要：本发明提供了一种光波导调制器。在一个实施例中，光波导调制器包括：半导体平面光波导芯；以及掺杂半导体连接路径，与芯的相对侧相邻并能够在芯两端施加电压。光波导芯和连接路径形成具有背对背PN半导体结的结构。在另一实施例中，光波导调制器包括：包括脊形部分在内的半导体光波导芯，其中，有至少一个PN半导体结位于脊形部分中。光波导调制器还包括：一个或多个掺杂半导体连接路径，横向邻近脊形部分并能够向脊形部分施加电压。
高速半导体调制器

[发明专利]一种硅基磁光非互易脊形光波导-CN202011526413.5在审
发明人：郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;杨建义 -专利权人：浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基磁光非互易脊形光波导，在SOI晶片上顶层硅的基础上形成条形光波导的芯部。这种光波导的特征在于：脊形光波导的芯部包括两部分，一部分是位于波导芯部最上层的铁磁金属纳米颗粒掺杂条形顶层硅芯部，另一部分是位于铁磁金属纳米颗粒掺杂条形顶层硅芯部与氧化硅层之间的脊形顶层硅芯部，其中铁磁金属纳米颗粒掺杂条形顶层硅芯部中的铁磁金属纳米颗粒在本发明可以实现硅基磁光非互易脊形光波导的制作，解决了磁光材料与SOI脊形顶层硅芯部光学参数之间匹配的问题，同时解决了磁光材料与硅基光波导制作工艺的兼容性问题。
一种硅基磁光非互易脊形光波导

[发明专利]模斑转换器及其制备方法-CN202211513231.3在审
发明人：卢娟;王梦宾;付孟博;陶冶;刘杰涛;张薇;祝宁华 -专利权人：雄安创新研究院
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B6/14 文献下载
摘要：本公开提供一种模斑转换器及其制备方法，用于直接耦合光纤与光电探测器芯片，模斑转换器包括：衬底；脊形波导，形成于衬底上，脊形波导包括沿平行于衬底表面方向依次连接的脊形单模波导、锥型渐变脊波导以及拓宽脊波导；其中，拓宽脊波导用于连接光纤，匹配光纤的模场；锥型渐变脊波导用于对光纤输出的光波的模斑进行放大并集中传输光波；脊形单模波导用于将模斑转换后的光波耦合到光电探测器芯片。该模斑转换器提高了耦合效率、准和容差、传输效率，能够极大地降低单模光纤与脊形单模波导直接耦合的损耗，并且，该模斑转换器紧凑集成度高，降低封装成本。
转换器及其制备方法

[发明专利]单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器-CN202110167091.8在审
发明人：郑帅峰;富松;朱朝轩;王超;谢佳勇 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器，包括单边输出的双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导，所述铌酸锂脊形光波导形成单边输出的双Y分支光波导结构。本发明中，过渡光波导采用曲线结构，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声；另外，本发明通过改变铌酸锂薄膜光波导芯片的结构，增大了铌酸锂脊形光波导与保护层的折射率差，进而增强了对光的束缚能力，使光波导的弯曲半径大大减小
单边输出铌酸锂薄膜分支波导相位调制器

[发明专利]波导型偏振器-CN201110083660.7有效
发明人：近藤胜利;栗原雅尚;菅又徹 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： G02B6/27 文献下载
摘要：一种波导型偏振器，不使用特别的制造工序也能够稳定地对光波导本身附加偏振器作用。上述波导型偏振器具有Z切型的铌酸锂基板(1)和形成在该基板上的脊形结构的光波导，其特征在于，该脊形结构的宽度是在该光波导中传播的光波的寻常光的光分布变化、且该光波的非常光的光分布不变化的脊形宽度，该脊形结构的角度小于90°，在该脊形结构的侧面上形成有膜厚满足0≤n·t/λ≤0.3742的条件(其中，n为折射率，t为膜厚，λ为光波的波长，膜厚、波长的单位为μm)的低折射率膜(3)，在该低折射率膜上形成有膜厚满足0.089≤n·t/λ的条件的高折射率膜(4)，上述波导型偏振器具有非常光透过型偏振器的功能。
波导偏振

[发明专利]一种基于脊形光波导的集成生化传感器-CN201710623106.0在审
发明人：董瑛;刘跃明;王玺;王晓浩 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：一种基于脊形光波导的集成生化传感器，包括在同一SOI硅片上加工形成的MZI检测芯片、光纤支架、多个聚合物腔体、微流道系统和在聚合物腔体中设置的光电探测器及检测电路。MZI检测芯片包括脊形光波导、介质槽、样品池、介质槽分束器和介质槽合束器。光纤与脊形光波导耦合，脊形光波导耦合到光电探测器及检测电路。由脊形光波导的输入端传输的光经过介质槽分束器分解成两个分支光束，分别沿着两条波导臂传输，一条波导臂耦合到样品池，其光束由样品池内的样品实现相位调制，两个光束后经介质槽合束器合并成输出光束，由光电探测器及检测电路探测光强的变化并转换成电信号
一种基于脊形光波导集成生化传感器

[发明专利]一种硅光子芯片光耦合结构及其制造方法-CN202210414793.6在审
发明人：郑煜;徐良;冯晋荃;彭艳亮;李昌勋;刘建哲 -专利权人：黄山博蓝特半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅光子芯片光耦合结构及其制造方法，该硅光子芯片光耦合结构包括硅衬底；所述硅衬底的器件层上设置有硅光子芯片功能结构区域，所述硅光子芯片功能结构区域上设置有光波导区域和光耦合区；所述光耦合区上设置有倒脊形沟槽，光耦合区从硅衬底的端面向光波导区域延伸；沿所述倒脊形沟槽内壁设置有一层隔离层，所述倒脊形沟槽内且位于隔离层的上方设置有倒脊形光波导，所述倒脊形光波导层的端面与光纤对接，另一端与器件层光波导区域对接。
一种光子芯片耦合结构及其制造方法

[发明专利]脊型Y分支光波导结构的制作方法-CN201210131596.X无效
发明人：黄新舜 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2012-05-02 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G02B6/138 文献下载
摘要：本发明涉及一种脊型Y分支光波导结构的制作方法，其包括：提供一基板，该基板包括呈T形的脊部及与该脊部连接的平坦部，该平坦部包括承载平面；在该基板上形成覆盖该脊部及该承载平面的导光层；在该导光层表面上形成光阻层；对该光阻层曝光及显影以在该导光层上形成Y形蚀刻阻挡层，该Y形蚀刻阻挡层包括阻挡层分叉结构，该阻挡层分叉结构的正投影位于该承载平面上；蚀刻该导光层以形成与该Y形蚀刻阻挡层相对应的Y分支光波导，该Y分支光波导包括位于该承载平面上的光波导分叉结构；最后将该Y分支光波导形成于该基板内。
脊型分支波导结构制作方法

[发明专利]铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器-CN202110167064.0在审
发明人：华勇;郑帅峰;雷成龙;杨春红 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器，包括双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导，所述铌酸锂脊形光波导形成双Y分支光波导结构，两个所述Y分支光波导通过基波导连接，所述基波导的两侧设有辐射区。本发明中，在基波导的两侧设置辐射区，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声问题。另外，基波导采用直线结构，无需进行弯曲波导设计，因而能够使光波导的双Y分支结构以及基波导区域的尺寸大大减小，进而实现双Y分支光波导相位调制器的小型化。
铌酸锂薄膜分支波导相位调制器

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