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- [发明专利]图案缺陷检测方法-CN202180031114.0在审
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丸山浩太郎
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塔斯米特株式会社
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2021-04-21
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2022-12-23
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H01L21/66
- 本方法通过扫描电子显微镜(50)生成包含形成在多个层上的多个图案的层叠结构(400)的反射电子图像，将包含CAD图案的虚拟层叠结构(300)的多个区域根据虚拟层叠结构(300)的深度方向上的CAD图案排列而分类为多个组，该CAD图案根据上述多个图案的设计数据而生成，进行反射电子图像上的多个图案中的至少一个与对应的CAD图案的匹配，计算与属于各组的区域对应的反射电子图像上的区域的亮度指标值，当亮度指标值在标准范围外时，确定在反射电子图像上的区域内有图案缺陷。
- 图案缺陷检测方法
- [发明专利]一种缺陷检测方法-CN202310046257.X有效
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彭雄;黄灿阳;田野
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-01-31
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2023-05-16
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H01L21/66
- 本发明提供了一种缺陷检测方法，包括步骤：提供形成有绝缘介质层和图案化金属层的待检测晶圆；对图案化金属层的表面进行第一次缺陷扫描，以获得第一扫描图像，根据第一扫描图像确定图案化金属层的表面的缺陷位置信息；对图案化金属层暴露的部分绝缘介质层进行第二次缺陷扫描，以获得第二扫描图像，根据第二扫描图像确定图案化金属层的底部的缺陷位置信息。本发明的缺陷检测方法，在对图案化金属层的表面进行常规的第一次缺陷扫描之前或之后，对图案化金属层的底部进行第二次缺陷扫描，第二次缺陷扫描可对图案化金属层的底部内切缺陷进行自动线上检测，解决了现有的检测方法中，难以检测到底部内切缺陷的问题，提高了检测效率，确保了晶圆良率。
- 一种缺陷检测方法
- [实用新型]一种品检设备-CN202022024998.2有效
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林小博;刘璐
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广州市普理司科技有限公司
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2020-09-16
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2021-06-22
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G01N33/00
- 本实用新型涉及喷印技术领域，公开了一种品检设备，包括上料装置、驱动装置、下料装置、检测装置、贴标装置和控制器，所述驱动装置驱动基材自所述上料装置向所述下料装置运动并形成包材路径，所述检测装置和所述贴标装置沿所述基材的运动方向依次设置于所述包材路径上，所述驱动装置、所述检测装置和所述贴标装置均和所述控制器电连接，所述检测装置用于检测缺陷图案，所述贴标装置用于在所述缺陷图案上贴设识别标签。本实用新型通过在检测到缺陷图案时，控制器控制贴标装置将识别标签贴在缺陷图案上，工作人员可通过寻找识别标签便可找到缺陷图案，从而辅助工作人员寻找缺陷图案，缺陷图案易于被找到。
- 一种设备
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