|
钻瓜专利网为您找到相关结果 2189304个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]层沉积方法-CN202080093147.3在审
-
乔瓦尼·弗朗西斯科·科泰拉;吕泉;骆欣涛
-
华为技术有限公司
-
2020-01-15
-
2022-08-30
-
H01L51/00
- 一种用于通过在目标基板上沉积涂层材料的图案化表面涂层来形成电子器件的方法,该方法采用具有图案化浮雕的转移工具,该转移工具限定了转移工具的图案化转移表面,该方法包括:在施主基板上形成涂层材料的层;在收集步骤中,将转移表面提供至施主基板,以使施主基板上的涂层材料粘附至转移表面;在分离步骤中,使转移表面和施主基板远离彼此移动,其中涂层材料粘附至转移表面;在沉积步骤中,将转移表面提供至目标基板,以使转移表面上的涂层材料粘附至目标基板;以及在返回步骤中,使转移表面和目标基板远离彼此移动,其中涂层材料粘附至目标基板;其中,限定了转移表面的转移工具的材料比施主基板硬。
- 沉积方法
|