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[发明专利]离子注入装置及离子注入方法-CN202110841079.0在审
发明人：黄家明 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子注入装置及离子注入方法，其中，所述离子注入装置包括：离子发生模块，用于产生离子，所述离子至少包括目标离子和重离子；筛选模块，用于对所述离子施加偏转磁场，以筛选需要注入的离子；角度调节模块，包括第一偏转电场和第二偏转电场，其中，所述第一偏转电场设置于所述偏转磁场的入口处，以使所述离子垂直或倾斜进入所述偏转磁场；所述第二偏转电场设置于所述偏转磁场的出口处，以调整通过所述偏转磁场的离子的运动方向本发明在筛选模块的入口处和出口处分别设置了第一偏转电场和第二偏转电场，使离子垂直或倾斜进入偏转磁场，改善了离子注入机台对于重离子的筛选能力，扩大了离子注入机台的适用范围。
离子注入装置方法

[发明专利]离子注入设备及方法-CN201010566304.6有效
发明人：陈炯;钱锋 -专利权人：上海凯世通半导体有限公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入设备及方法。在该离子注入设备中，在从该离子源系统至该工件传输装置的离子束的束流路径上依次设有：一偏转散焦磁铁，用于在一偏转平面内偏转离子束，并在垂直于该偏转平面的方向上散焦离子束；一偏转磁铁，用于在该偏转平面内偏转离子束；一偏转聚焦磁铁，用于在该偏转平面内偏转离子束，并在垂直于该偏转平面的方向上聚焦离子束；一电极系统，用于在该偏转平面内偏转离子束。
离子注入设备方法

[发明专利]一种新型静电离子阱离子切向引入轨道偏转装置-CN202011036181.5在审
发明人：刘颖超;杨芃原;李顺祥 -专利权人：复旦大学
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型静电离子阱离子切向引入轨道偏转装置，包括构成同心圆筒状的偏转外轨和偏转内轨，所述偏转外轨的电势高于所述偏转内轨的电势，所述偏转外轨和所述偏转内轨组成离子高势储存偏转腔O‑trap，所述高势储存偏转腔O‑trap的外端设有用以切向引入离子束的离子引入轨道，所述偏转内轨的中心处设有静电离子阱内电极，所述偏转内轨与所述静电离子阱内电极构成静电离子阱分析腔，所述偏转内轨上设有供离子引入静电离子阱分析腔中的离子变轨引入通道与现有技术相比，本发明具有减少离子损失，提高信号强度，控制简单等优点。
一种新型静电离子引入轨道偏转装置

[发明专利]一种质谱仪的离子筛选方法和系统-CN202111370623.4有效
发明人：李向广;尚元贺;陈世闯;吴云昭 -专利权人：安图实验仪器（郑州）有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种质谱仪的离子筛选方法，在质谱仪设有偏转导体；筛选方法包括：对偏转导体接通第一电压信号，以使偏转导体产生偏转离子飞行方向的偏转电场；检测激光同步脉冲信号，当激光同步脉冲信号输出之后，保持偏转导体接通第一电压信号不变，以便对非目标离子的飞行方向进行偏转；当目标离子从加速电场中飞出时，对偏转导体接通第二电压信号，不产生使目标离子偏转的偏转电场，以便目标离子飞行到达检测器；当目标离子均通过偏转导体时，则对偏转导体接通第一电压信号本申请中在一定程度上提升检测器的使用寿命，避免非目标离子对目标离子检测结果的干扰。本申请还提供了一种质谱仪的离子筛选系统，具有上述有益效果。
一种质谱仪离子筛选方法系统

[发明专利]离子传输效率的测量装置、方法、存储介质及程序产品-CN202210788112.2在审
发明人：黄泽建;江游;戴新华;方向 -专利权人：中国计量科学研究院基准工艺研究所有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：本发明提供一种离子传输效率的测量装置、方法、存储介质及程序产品，涉及质谱技术领域，上述装置包括控制器和至少一组离子偏转接收组件；其中，离子偏转接收组件包括电场偏转模块和离子接收模块，电场偏转模块和离子接收模块设置在持续输出的离子流的传输路径侧边并位于质谱仪中相邻两个模块之间；控制器与电场偏转模块和离子接收模块连接，控制器用于输出电场偏转电压至电场偏转模块和离子接收模块，以改变电场偏转模块和离子接收模块之间的电场方向，引导离子流朝向离子接收模块传输，电场方向指向离子接收模块时，控制器采集到离子接收模块接收到的电流，即可确定离子流在传输过程中的损耗，从而确定离子传输效率。
离子传输效率测量装置方法存储介质程序产品

[发明专利]离子偏转装置与质谱仪-CN202210749392.6在审
发明人：李家保;钟杰婷;许春华;黄清;谢芹惠;李昊;李绚;谭国斌 -专利权人：广州禾信仪器股份有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子偏转装置与质谱仪，包括入口电极组、偏转电极组与出口电极，偏转电极组构成弧形传输通道，入口电极组上设置有离子引入孔，离子引入孔位于弧形传输通道的入口处，出口电极上设置离子引出孔，离子引出孔位于弧形传输通道的出口处；入口电极组、偏转电极组与出口电极上均施加有电压，在弧形传输通道中形成偏转电场，将待测离子束从上一级环境通过离子引入孔引入弧形传输通道，并对待测离子束的运动方向进行偏转，使待测离子束从离子引出孔传输至下一级环境，而不受电场偏转作用的中性粒子与光子直接穿过偏转电极组得以去除，相比于偏轴式偏转装置传输路径短，大大减少了离子在传输过程的丢失，具有更高的离子传输效率。
离子偏转装置质谱仪

[发明专利]一种电感耦合等离子体四极杆质谱仪-CN202310482760.X在审
发明人：陈剑松;廖国缘;查雄飞;吴娜 -专利权人：广东省麦思科学仪器创新研究院
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种电感耦合等离子体四极杆质谱仪，沿样品离子的运动方向依次包括用于从离子源中获取样品离子的离子采集器；用于将所述样品离子传输到质量分析与检测器进行分析的离子传输系统，所述离子传输系统包括用于对所述样品离子作第一次偏转的第一偏转器；以及质量分析与检测器；所述离子传输系统还包括用于对所述样品离子作第二次偏转的第二偏转器；所述第一偏转器和第二偏转器的离子偏转角度相同，所述离子偏转角度的取值为45°～90°。所述电感耦合等离子体四极杆质谱仪，其不但结构紧凑，而且设计灵活、满足车载快检需求，同时还不改变样品离子的极性。
一种电感耦合等离子体四极杆质谱仪

[发明专利]离子注入的监控方法、装置及设备-CN202010817062.7有效
发明人：马富林;郑刚;曹志伟 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本申请公开了一种离子注入的监控方法、装置及设备，该方法包括：使电流测试模块的窗口偏转，电流测试模块设置于离子注入机的质荷筛选器中，窗口用于使述质荷筛选器筛选后的离子束偏转通过；获取监控信息，监控信息包括窗口的偏转角度以及偏转角度对应的电流值，电流值是离子束中的离子通过窗口产生的电流的电流值；根据监控信息计算得到离子束中目标离子的纯度。本申请通过在离子注入设备的质荷筛选器中设置包含窗口的电流测试模块，使窗口偏转且记录偏转角度和偏转角度对应的电流值，基于偏转角度和偏转角度对应的电流值计算得到离子束中目标离子的纯度，从而实现了对离子注入的纯度的实时监控
离子注入监控方法装置设备

[发明专利]具有离子源的气体分析器系统-CN202080081522.2在审
发明人： G·A·布鲁克尔;T·C·斯文尼;C·L·珀西 -专利权人： MKS仪器公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J49/28 文献下载
摘要：气体分析器系统使用可为热阴极离子源的离子源。定位磁铁组件以界定磁场，所述磁铁组件允许基于其离子的质荷比来分开离子分量。使用离子束偏转器、例如一对偏转板，可横越侦测器扫描离子分量。离子束偏转器横越磁场及横越由离子源发射的离子的行进方向界定偏转电场。
具有离子源气体分析器系统

[发明专利]工件的离子束铣削及其程度的确定和控制-CN200580036411.5无效
发明人： D·博古斯拉夫斯基;V·彻里平;C·史密思 -专利权人：西拉半导体工程实验室有限公司
申请日： 2005-08-24 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：用于对工件进行受到引导的经过多次偏转的离子束铣削并确定和控制其程度的方法、装置和系统。提供离子束；并且引导所述提供的离子束并使所述提供的离子束产生至少两次偏转从而形成受到引导的经过多次偏转的离子束，其中所述受到引导的经过多次偏转的离子束被导向、入射且撞击在所述工件的表面上并且对所述工件表面进行铣削装置包括离子束源组件；和用于引导所述提供的离子束并使所述提供的离子束产生至少两次偏转从而形成受到引导的经过多次偏转的离子束的离子束引导和多次偏转组件，其中所述受到引导的经过多次偏转的离子束被导向、入射且撞击在所述工件的表面上并且对所述工件表面进行铣削
工件离子束铣削及其程度确定控制

[发明专利]一种飞行时间中的电喷雾离子质荷比筛选装置和方法-CN202210248129.9在审
发明人：许剑锋;张吉韬;贾凯 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明涉及离子束仪器技术领域，提供了一种飞行时间中的电喷雾离子质荷比筛选装置和方法。其中方法包括在偏转电极I上施加脉冲电压U1用于将离子束截断，使已经通过偏转电极I的离子束可以继续飞行通过后续过程；在经过偏转电极I截断后继续向前飞行的离子束仍是混合离子束，其中不同质荷比的离子飞行速度仍不相同，通过偏转电极I和脉冲偏转电极II之间存在的距离，使得飞行速度快的离子先到达脉冲偏转电极II；当目标飞行速度的离子到达偏转电极II时，通过在其上施加脉冲电压便可使目标速度的离子发生偏转，其中，通过控制脉冲电压U1和U2的脉冲电压的施加的时间差，获取指定速度分布的离子束。本发明可实现对电喷雾离子束等混合离子束实现分离得到特定质荷比的离子。
一种飞行时间中的喷雾离子筛选装置方法

[发明专利]一种用于磁质谱仪的高效离子源-CN201910459015.7有效
发明人：龙涛;齐国臣;桂建业;高国伦 -专利权人：中国地质科学院地质研究所
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明涉及离子源领域，提供了一种用于磁质谱仪的高效离子源，包括灯丝、离子化盒、推斥极和偏转板组件；推斥极设在离子化盒内部的前端，两者共同形成圆柱形空间；灯丝发射电子穿过圆柱形空间到达收集极；离子化盒、收集极的外部设置磁铁；偏转板组件包括依次设置的第一水平偏转透镜、聚焦透镜、第一垂直偏转透镜、第二水平偏转透镜、第二垂直偏转透镜；第一垂直偏转透镜和第二水平偏转透镜间设狭缝。本发明实现了电子轰击电离和化学电离二种电离模式；离子化盒内外形成差级真空，延长灯丝使用寿命；离子化室和推斥极形成圆柱形的离子化空间，离子引出效率高；推斥极和离子化盒存在电势差，形成电势透镜，降低离子空间发散
一种用于质谱仪高效离子源

[实用新型]一种用于磁质谱仪的高效离子源-CN201920792041.7有效
发明人：龙涛;齐国臣;桂建业;高国伦 -专利权人：中国地质科学院地质研究所
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： H01J49/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及离子源领域，提供了一种用于磁质谱仪的高效离子源，包括灯丝、离子化盒、推斥极和偏转板组件；推斥极设在离子化盒内部的前端，两者共同形成圆柱形空间；灯丝发射电子穿过圆柱形空间到达收集极；离子化盒、收集极的外部设置磁铁；偏转板组件包括第一水平偏转透镜、聚焦透镜、第一垂直偏转透镜、第二水平偏转透镜、第二垂直偏转透镜；第一垂直偏转透镜和第二水平偏转透镜间设狭缝。本实用新型实现了电子轰击电离和化学电离二种电离模式；离子化盒内外形成差级真空，延长灯丝使用寿命；离子化室和推斥极形成圆柱形的离子化空间，离子引出效率高；推斥极和离子化盒存在电势差，形成电势透镜，降低离子空间发散
透镜离子化推斥极垂直偏转水平偏转本实用新型偏转板组件圆柱形空间电离收集极灯丝灯丝发射电子离子化空间质量分辨率电子轰击高效离子化学电离聚焦透镜离子化室离子空间使用寿命外部设置电势差离子源质谱仪磁铁发散电势狭缝离子穿过

[发明专利]一种离子偏转传输装置及使用该装置的质谱仪器-CN201510276312.X在审
发明人：田明;刘烨露;林茂先;胡修稳;江东;朱治祥;刘宝莹 -专利权人：合肥美亚光电技术股份有限公司
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：一种离子偏转传输装置，包括离子加速器、偏转器、离子减速器，偏转器包括离子静电透镜及设置在离子静电透镜内的一个或多个导引器，离子加速器和离子减速器分别设置在偏转器的前后，在离子进入静电透镜之前，先经过加速器，获得动能，当离子离开静电透镜后，再经过减速器，经减速恢复到初始动能，在静电透镜内的导引器的电场作用下，离子的受力方向为电场方向，且入射离子束与出射离子束平行，光子和中性粒子则不受电场力作用沿直线运动，无法穿过此偏转传输装置。本发明还公开了一种使用该离子偏转传输装置的质谱仪器。本发明具有以下优点：离子传输效率高、偏转正离子的同时有效阻挡光子与中性粒子进入下一通道内，且有利于仪器的小型化。
一种离子偏转传输装置使用质谱仪

[实用新型]等离子体-质谱分析系统-CN201721923765.8有效
发明人：俞晓峰;韩双来;梁炎;徐岳 -专利权人：杭州谱育科技发展有限公司
申请日： 2017-12-30 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种等离子体‑质谱分析系统，所述等离子体‑质谱分析系统包括质谱分析仪、真空单元；矩管，所述矩管的出口竖直向上；取样锥，所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上；第一阀门，所述第一阀门设置在所述离子出射方向上，且处于所述取样锥的下游；离子偏转单元，所述离子偏转单元设置在离子出射方向上，且处于第一阀门的下游，经过所述离子偏转单元后，离子偏转角度α；第二阀门，所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上
离子偏转等离子体质谱分析系统离子取样锥出射阀门矩管本实用新型阀门设置质谱分析仪单元偏转单元设置竖直向上真空单元检测出口

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