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[发明专利]单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机-CN201710359458.X有效
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机，该方法应用于具有切圆及粗磨装置的单晶硅棒多工加工机中，包括步骤：将所述待加工的单晶硅棒置于所述切圆及粗磨装置的作业区；令所述切圆及粗磨装置对所述单晶硅棒的第一对及第二对连接棱面进行切圆作业；令所述切圆及粗磨装置对所述单晶硅棒的第一对及第二对侧面进行粗磨作业。利用本申请公开的单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机，可对单晶硅棒进行包括切圆及粗磨作业的多工位加工作业，可提高生产效率并提高单晶硅棒加工作业的品质。
单晶硅棒多工位加工方法

[发明专利]硅棒多工位加工机及硅棒多工位加工方法-CN201710357288.1在审
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：浙江集英精密机器有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒多工位加工机及硅棒多工位加工方法，该硅棒多工位加工机包括：机座，具有硅棒加工平台；硅棒装卸装置，用于在硅棒加工平台的预处理区位进行硅棒的装卸作业；第一加工装置，用于对硅棒加工平台的第一加工区位上的硅棒进行第一加工作业；第二加工装置，用于对硅棒加工平台的第二加工区位上的硅棒进行第二加工作业；硅棒转换装置，用于将硅棒在预处理区位、第一加工区位以及第二加工区位之间转换。本申请硅棒多工位加工机，集合了多个加工装置，将硅棒快速、平稳且无损伤地在各个加工区位间进行转换，能自动化实现硅棒加工的多个加工作业，各个加工作业无缝衔接，节省人工成本且提高生产效率，提高硅棒加工作业的品质
硅棒区位硅棒加工加工多工位加工机加工装置预处理多工位加工人工成本生产效率无缝衔接转换装置装卸装置装卸作业无损伤转换机座申请自动化集合

[发明专利]硅棒多工位开方设备及其多工位切割方法-CN201910360359.2在审
发明人：钱春军;李鑫;卢建伟;潘雪明;苏静洪 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒多工位开方设备及其多工位切割方法，包括：至少两个硅棒承载台，用于承载立式置放的单晶硅棒，各所述硅棒承载台具有转动机构；受升降装置驱动的线切割装置，其中，所述升降装置包括升降导轨和第一驱动机构；硅棒压紧装置，架设于所述升降导轨上且位于所述线切割装置上方，用于在所述线切割装置对所述硅棒承载台上的单晶硅棒进行切割时压紧单晶硅棒的顶部。通过本申请中的硅棒压紧装置能将硅棒稳定的压紧于硅棒承载台上，在进行切割作业时保证硅棒的平稳，保证了硅棒的切割质量。
硅棒多工位开方设备及其多工位切割方法

[发明专利]硅棒多工位组合加工机-CN201610786297.8有效
发明人：卢建伟 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B24B5/36 文献下载
摘要：本发明提供一种硅棒多工位组合加工机，包括：机座，具有硅棒加工台；硅棒移送设备，邻设于硅棒加工台的装卸区位，用于将硅棒转移至硅棒加工台或经加工后的硅棒转移出硅棒加工台；第一加工设备，设于硅棒加工台的第一加工区位，用于对硅棒进行第一加工作业；第二加工设备，设于硅棒加工台的第二加工区位，用于对硅棒进行第二加工作业；硅棒转换设备，设于硅棒加工台上，用于将硅棒承托台上承托的由硅棒移送设备转移来的硅棒在硅棒加工台上的各个区位之间转换本发明硅棒多工位组合加工机，集合了多个作业设备，可利用硅棒移送设备能将硅棒快速、平稳且无损伤地进行移送，能自动化实现硅棒加工的多个工序作业，节省人工成本且提高生产效率。
硅棒多工位组合加工

[实用新型]硅棒多工位组合加工机-CN201621017458.9有效
发明人：卢建伟 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： B24B5/36 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅棒多工位组合加工机，包括机座，具有硅棒加工台；硅棒移送设备，邻设于硅棒加工台的装卸区位，用于将硅棒转移至硅棒加工台或经加工后的硅棒转移出硅棒加工台；第一加工设备，设于硅棒加工台的第一加工区位，用于对硅棒进行第一加工作业；第二加工设备，设于硅棒加工台的第二加工区位，用于对硅棒进行第二加工作业；硅棒转换设备，设于硅棒加工台上，用于将硅棒承托台上承托的由硅棒移送设备转移来的硅棒在硅棒加工台上的各个区位之间转换本申请硅棒多工位组合加工机，集合了多个作业设备，可利用硅棒移送设备能将硅棒快速、平稳且无损伤地进行移送，能自动化实现硅棒加工的多个工序作业，节省人工成本且提高生产效率。
硅棒多工位组合加工

[实用新型]多工位开方设备-CN201920620887.2有效
发明人：李鑫;张峰;钱春军;裴忠;苏静洪 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种多工位开方设备。包括至少两个硅棒承载台，用于承载立式置放的单晶硅棒，各所述硅棒承载台具有转动机构；以及线切割装置，设置在所述至少两个硅棒承载台的上方，包括多个切割轮以及绕于所述多个切割轮形成有一条切割线段或相互平行的两条切割线段的切割线通过本申请的多工位开方设备可同时完成对多个硅棒的开方作业，能够提高硅棒开方的切割作业效率，增大已开方硅棒的横截面面积的同时降低了硅棒开方的整体成本和风险性。
多工位开方设备

[实用新型]硅棒装卸装置及多工位开方设备-CN202120168992.4有效
发明人：曹奇峰;李鑫;钱春军;卢建伟;裴忠 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种应用于多工位开方设备及其硅棒装卸装置，所述多工位开方设备包括机座、用于承载立式置放的多个硅棒的硅棒承载装置、以及线切割装置，所述硅棒装卸装置包括：换向载具，通过一安装座设于机座上；硅棒夹具，设于换向载具上，所述硅棒夹具包括连杆式夹持件，用于夹持待切割硅棒或经由所述线切割装置切割的已切割硅棒；移位机构，用于驱动换向载具及其上的硅棒夹具机座上沿至少一个方向移位，使得所述硅棒夹具移动至第一预定位置以夹持待切割硅棒或已切割硅棒并将夹持的待切割硅棒或已切割硅棒移送到第二预定位置本申请的硅棒装卸装置结构简单，有利于设备的布局和管理，操作便利，使得硅棒装卸过程更为简易，综合经济效益更好。
装卸装置多工位开方设备

[实用新型]硅棒多工位加工机-CN201720563054.8有效
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒多工位加工机，包括机座，具有硅棒加工平台；硅棒装卸装置，用于在硅棒加工平台的预处理区位进行硅棒的装卸作业；第一加工装置，用于对硅棒加工平台的第一加工区位上的硅棒进行第一加工作业；第二加工装置，用于对硅棒加工平台的第二加工区位上的硅棒进行第二加工作业；硅棒转换装置，用于将硅棒在预处理区位、第一加工区位以及第二加工区位之间转换。本申请硅棒多工位加工机，集合了多个加工装置，将硅棒快速、平稳且无损伤地在各个加工区位间进行转换，能自动化实现硅棒加工的多个加工作业，各个加工作业无缝衔接，节省人工成本且提高生产效率，提高硅棒加工作业的品质
硅棒多工位加工

[发明专利]多工位开方设备及其切割方法-CN201910361097.1在审
发明人：李鑫;张峰;钱春军;裴忠;苏静洪 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种多工位开方设备及其切割方法，属于硅棒加工技术领域。包括至少两个硅棒承载台，用于承载立式置放的单晶硅棒，各所述硅棒承载台具有转动机构；以及线切割装置，设置在所述至少两个硅棒承载台的上方，包括多个切割轮以及绕于所述多个切割轮形成有一条切割线段或相互平行的两条切割线段的切割线通过本申请的多工位开方设备及其切割方法可同时完成对多个硅棒的开方作业，且使得硅棒在开方处理后截面呈矩形，而已开方硅棒整体呈长方体且形成边皮数量为四个，能够提高硅棒开方的切割作业效率，增大已开方硅棒的横截面面积的同时降低了硅棒开方的整体成本和风险性
多工位开方设备及其切割方法

[实用新型]边皮卸料装置及多工位开方设备-CN202120168994.3有效
发明人：张王锋;裴忠;俞佳文;李鑫;曹奇峰;钱春军 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种边皮卸料装置及多工位开方设备，该边皮卸料装置包括边皮提升单元和边皮夹持单元，所述边皮夹持单元包括通过进退机构设于所述机座上的支撑架、通过升降机构可升降地设于支撑架上安装部、及通过摆臂连接至安装部的至少一边皮夹持机构，所述边皮夹持机构在闲置状态可收纳于硅棒多工位开方设备机座上方的空间内以节省硅棒多工位开方设备整体占据的设备空间，在边皮夹持转运状态下边皮夹持机构可通过摆臂绕摆臂转轴旋转以将所夹持的边皮转运至边皮卸载区，由此缩短转运路径，同时，所述边皮卸载装置中可设置多组边皮夹持机构与硅棒多工位开方设备的硅棒承载结构一一对应，以提高边皮夹持转运的效率，缩减时间成本。
卸料装置多工位开方设备

[发明专利]一种单晶硅棒多工位开方机-CN202211594988.X在审
发明人：梅毅;董荣彪 -专利权人：梅毅
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明属于硅棒开方机技术领域，尤其是一种单晶硅棒多工位开方机，针对进行不同工位的开方需要多次固定费事费力降低切割精度的问题，现提出以下方案，包括整体呈长方体结构的操作台，所述操作台的后侧上表面设置有线切割机，且操作台的上表面中部开有与长度方向一致的锥形料槽，锥形料槽的长度大于待开方的硅棒本体的长度，操作台的上表面位于锥形料槽的其中一端固定有固定轴承座，其中，远离固定轴承座所在端为移动调节端。本发明可以在使用时只需对硅棒本体夹持一次即可让线切割机对硅棒本体进行多工位开方，并且经过同一轴心线转动后再开方后的硅棒本体更加规整，减小开方后坯料的偏心概率，提高开方质量。
一种单晶硅棒多工位开方

[发明专利]硅棒装卸装置及硅棒多工位加工机-CN201710358059.1在审
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：浙江集英精密机器有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒装卸装置及硅棒多工位加工机，其中，硅棒装卸装置包括：硅棒装卸区位，设有用于承载硅棒竖立放置的硅棒承载台；换向载具，用于作换向运动；硅棒夹具，设于所述换向载具的第一安装面；其中，通过驱动所述换向载具作换向运动，使得所述换向载具的硅棒夹具在所述硅棒装卸区位和硅棒功能区位之间转换以移送所述硅棒，可实现硅棒快速、便捷且稳定地转运。
硅棒换向载具装卸装置多工位加工机硅棒夹具换向运动区位装卸功能区位竖立放置安装面承载台转运承载驱动转换申请

[实用新型]硅棒装卸装置及硅棒多工位加工机-CN201720562612.9有效
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒装卸装置及硅棒多工位加工机，其中，硅棒装卸装置包括硅棒装卸区位，设有用于承载硅棒竖立放置的硅棒承载台；换向载具，用于作换向运动；硅棒夹具，设于所述换向载具的第一安装面；其中，通过驱动所述换向载具作换向运动，使得所述换向载具的硅棒夹具在所述硅棒装卸区位和硅棒功能区位之间转换以移送所述硅棒，可实现硅棒快速、便捷且稳定地转运。
装卸装置硅棒多工位加工

[实用新型]一种硅棒传输系统-CN202122179384.6有效
发明人：潘伟;罗竞艳;袁黎平;孙辰 -专利权人：楚雄隆基硅材料有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种硅棒传输系统，涉及单晶硅片制造技术领域，以解决人工搬运翻转硅棒困难的问题。硅棒传输系统包括第一轨道、第二轨道、搬运装置和翻转装置。第一轨道自上一工位延伸至粘棒工位。第二轨道自粘棒工位延伸至切片工位。搬运装置吊装于第一轨道，将硅棒从上一工位搬运至粘棒工位。翻转装置吊装于第二轨道，将硅棒从粘棒工位搬运至切片工位，并将硅棒翻转至预设角度。本实用新型提供的硅棒传输系统用于搬运和翻转硅棒，提高工作效率的同时，规避了硅棒掉落、划伤的风险。
一种传输系统

[发明专利]一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置-CN200910311756.7有效
发明人：李留臣 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2009-12-18 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置，包括机座，在机座上通过竖直的轴承安装有水平的工作转盘，工作转盘与传动装置连接；在工作转盘上表面等分位置上各安装有多套硅棒定位单元，在机座的侧面固定连接有多个相同结构的磨削单元本发明的装置可以快速地进行硅棒安装，实现多工位、多根棒粗磨、精磨、抛光的循环连续工作，提高了加工精度和生产效率。
一种多工位单晶硅方形平面磨削装置

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