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- [发明专利]硅棒开方设备、硅棒开方方法及边皮卸载装置-CN201811022726.X有效
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潘雪明;李鑫
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天通日进精密技术有限公司
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2018-09-03
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2023-08-08
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B28D5/04
- 本申请公开一种硅棒开方设备、硅棒开方方法及边皮卸载装置,该硅棒开方设备包括:硅棒承载装置;线切割装置,包括线切割支座和线切割单元,线切割单元中具有切割线段,通过驱动线切割支座下降运动令线切割单元中的切割线段贯穿待切割硅棒以形成已切割硅棒和边皮;边皮卸载装置,包括边皮提升机构和拨线机构,利用拨线机构拨动切割线段朝向外侧扩张以避免切割线段与已切割硅棒发生干涉。本申请所公开的技术方案,可在确保切割线段不与已切割硅棒发生干涉的情形下实现边皮的平稳提升,如此,不仅可提高硅棒的开方切割作业的效率,更能对开方后的边皮经无碍提升后予以卸载,操作便利,提高了整体作业效率。
- 开方设备方法卸载装置
- [发明专利]晶棒加工设备及用于该设备的主轴机构与晶棒加工方法-CN201610211333.8有效
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卢建伟
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天通日进精密技术有限公司
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2016-04-06
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2023-08-01
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B24B27/00
- 本发明公开了一种晶棒加工设备及用于该设备的主轴机构与晶棒加工方法,所述主轴机构包括:基板,基板上设有转动式底盘;设置于转动式底盘上的双头主轴,双头主轴的第一端设有第一加工装置,双头主轴的第二端设有第二加工装置;设置于基板上且与转动式底盘相连的第一驱动装置,用于驱动转动式底盘进行转动以使双头主轴中的第一加工装置和第二加工装置切换位置。本发明应用于多工位晶棒加工设备的主轴机构,通过在双头主轴的两端分别设置两种不同的加工装置,当第一加工装置加工完成后,通过第一驱动装置驱动转动式底盘旋转180°就可以进行第二加工装置的加工,这样既保证了可以完成二种加工工序的要求,又可以节约一个工位,结构简单实用。
- 加工设备用于主轴机构方法
- [发明专利]硅棒截断设备及硅棒截断方法-CN202011467695.6在审
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卢建伟;金晔天;潘雪明;朱勤超
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天通日进精密技术有限公司
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2020-12-14
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2022-05-20
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B28D5/04
- 本申请公开一种硅棒截断设备及硅棒截断方法,该硅棒截断设备包括机座、物料输送台、以及至少两个线切割装置,该至少两个线切割装置相互独立,故可通过各个独立的线切割装置对物料输送台上承载的待硅棒执行截断作业,提高了硅棒截断作业中的操作自由度和截断效率。该线切割装置中的线切割单元采用的闭环切割线,故可保持切割线高速运行,提高切割效率,同时,闭环切割线在截断作业中可以同一运转方向运行,如此,本申请的线切割单元可实现高精度的截断作业,避免了现有的切割方式中切割线运行换向或运行速度导致的切割面具有波纹等问题,同时,该闭环切割线可有效减小线切割单元所需的切割线总长以及免除收线筒和放线筒等部件,降低生产成本。
- 截断设备方法
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