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- [发明专利]制备高纯颗粒硅的方法-CN98117164.8无效
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弗朗茨·施赖尔德尔;金希永
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瓦克化学有限公司
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1998-08-12
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1999-05-12
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C01B33/03
- 本发明涉及一种在包含加热和反应区段的流化床反应器中,通过元素硅在细粒硅上沉积制备氯污染物量低于50ppm(重量)的颗粒硅的方法,在加热区段中的细粒硅用惰性、无硅载体气体使其流态化从而产生一流化床,并用微波能加热,在反应区段中,将其曝置于包含硅源气体和载体气体的反应气体中,其中,当在反应段中反应气体充注流态化细粒硅时,它的平均温度要低于900℃,当在反应段中流态化细粒硅被反应气体充注时,它的平均温度要高于900
- 制备高纯颗粒方法
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