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[发明专利]通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法-CN200980143338.X无效
发明人： J·京斯特;I·西尼科 -专利权人：欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫）
申请日： 2009-10-20 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H01L27/142 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，该多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。除了最终激光束处理，至少两个激光束处理的所述序列的处理被用于调整将被移除的经处理的膜区。应用所述最终激光束处理以实际上移除材料从而形成凹槽。此外，本发明涉及一种通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的装置，该多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。所述装置包括用于除了最终激光束处理的、至少两个激光束处理的所述序列的处理的第一调整激光器并且所述装置包括用于所述最终激光束处理的第二激光器。
通过激光束照射基板上形成半导体分成区域方法

[发明专利]异物检测装置及方法-CN201110095727.9有效
发明人：徐涛 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2011-04-15 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：异物检测装置包括：激光束发射器、激光束接收器、异物信息处理器；激光束发射器与激光束接收器相对设置，激光束发射器用于发射激光束，且激光束发射器可沿平行于激光束接收器的方向运动，以使得激光束发射器发出的激光束扫描设置于激光束发射器与激光束接收器之间的平面；激光束接收器，用于接收由激光束发射器发射的激光束，并根据接收到的激光束生成激光束接收信息；异物信息处理器，用于接收激光束接收信息，并根据激光束接收信息确定异物和判断异物高度。
异物检测装置方法

[发明专利]半导体激光装置和采用它的固体激光装置-CN02807507.2有效
发明人：山口哲;滨田直也 -专利权人：新日本制铁株式会社;学校法人文理学园
申请日： 2002-03-12 - 公布日： 2004-05-26 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种提高焦点能量密度的半导体激光装置，及采用它的半导体激光激励固体激光装置，接收设置于发射呈虚线状直列布置的激光束排进一步并排形成的，2维阵列状激光束组的叠层阵列激光器件前面的，沿与上述虚线方向基本垂直的方向折射，经准直处理的各激光束排，将来自各发射体，或各射体组的激光束的方向旋转90°，辐射该激光束，将其转换为实质上呈梯级状并排的多个激光束排，将该激光束排，转换为进行了光束压缩处理的并排激光束排进一步按1排直列布置而形成的排列，旋转90°辐射分别进行了压缩处理的并列激光束排，转换为全部激光束1排并排的激光束组，对该激光束组进行准直处理，将其聚焦于焦点。
半导体激光装置采用固体

[发明专利]长度测量装置-CN200880017428.X无效
发明人：高桥显 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-05-23 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用激光束的光学长度测量装置，并提出能实现高度精确测量。所述长度测量装置包括：长度测量部分，该长度测量部分测量到被测物的距离并具有测量激光束源；校准激光束源，该校准激光束源发射激光束，该激光束的波长稳定性高于所述测量激光束源的激光束的波长稳定性；干涉光学系统，该干涉光学系统使得所述测量激光束源的激光束与所述校准激光束源的激光束干涉；以及运算处理部分，该运算处理部分基于所述干涉光学系统的输出和所述长度测量部分的输出来进行所述距离的计算。
长度测量装置

[发明专利]路沿检测方法、电子设备及自动行走设备-CN202210392802.6在审
发明人：成立明 -专利权人：广州视源电子科技股份有限公司;广州视睿电子科技有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06V20/56 文献下载
摘要：本发明涉及自动行走技术领域，具体涉及路沿检测方法、电子设备及自动行走设备，该方法包括获取激光采集设备采集的待处理激光束点云；对所述待处理激光束点云进行有效性分析，确定目标激光束点云，所述目标激光束点云为射向行走面的激光束点云；基于所述目标激光束点云的每一圈点云中各个激光点的激光距离对应的变化方式，确定所述目标激光束点云中的路沿点，以确定所述行走面的路沿。先对待处理激光束点云进行有效性分析，去除待处理激光束点云中的无效激光点，该方法在不引入其他传感器的基础上，仅利用激光采集设备采集的待处理激光束点云即可实现路沿点的检测，在保证检测准确性的基础上，提高了检测效率
检测方法电子设备自动行走设备

[发明专利]用于晶圆的激光处理的方法-CN200510116266.3有效
发明人：星野仁志;大庭龙吾;古田健次;武田升;北原信康 -专利权人：株式会社迪斯科
申请日： 2005-11-04 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种利用激光束处理机来进行晶圆的激光处理的方法，该激光束处理机包括用于保持晶圆的卡盘台、用于将激光束施加到保持在卡盘台上的晶圆的激光束施加装置以及用于使卡盘台和激光束施加装置相对彼此处理－进给的处理－进给装置，该方法包括以下步骤：晶圆附着步骤，用于将晶圆放置在安装在环形框架上的保护带的表面上；晶圆保持步骤，用于将放置在保护带上的晶圆保持在卡盘台上；以及激光束施加步骤，用于将具有预定波长的激光束从激光束施加装置施加到保持在卡盘台上的晶圆，并且利用该处理－进给装置来处理－进给该晶圆，其中保护带由传输从激光束施加装置施加的、具有预定波长的激光束的材料制成。
用于激光处理方法

[实用新型]一种激光退火装置-CN201420382411.7有效
发明人：许修齐;叶昱均 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光退火装置，包括：用于发射激光束的激光发射器；用于接收所述激光发射器发出的所述激光束的光束调整组件，所述光束调整组件调整所述激光束照射范围的大小；用于接收经所述光束调整组件射出的所述激光束并调整所述激光束的能量分布的分光组件；设于经所述分光组件调整后的所述激光束射出处、用于对所述分光组件射出的激光束进行滤光处理的滤光装置；以及用于将经所述滤光装置滤光处理过的所述激光束进行反射的反射镜。实现依基板定义的尺寸调整光束大小，有效使用激光能量，减少激光能量浪费。
一种激光退火装置

[发明专利]精密测角传感器及其测量方法-CN201810691283.7在审
发明人：张白;康学亮 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种精密测角传感器及其测量方法，所述精密测角传感器包括激光束一与激光束二，反射面将所述激光束一、激光束二进行反射；分光镜一，将反射面反射的激光束一分为激光束三与激光束四；分光镜二，将反射面反射的激光束二分为激光束五与激光束六；光电探测器一，用于接收经分光镜一反射的激光束三并显示入射位置；光电探测器二，用于接收经分光镜一透射出的激光束四并显示入射位置；光电探测器三，用于接收经分光镜二反射的激光束五并显示入射位置；光电探测器四，用于接收经分光镜二透射出的激光束六并显示入射位置；处理系统，用于根据光电探测器探测到的激光束入射位置的变化量处理得到所述反射部件上被测物体的旋转角度值。
激光束分光镜光电探测器反射入射位置测角传感器反射面精密透射测量激光束入射位置被测物体处理系统反射部件变化量探测

[实用新型]一种精密测角传感器-CN201821012924.3有效
发明人：张白;康学亮 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种精密测角传感器，所述精密测角传感器包括激光束一与激光束二，反射面将所述激光束一、激光束二进行反射；分光镜一，将反射面反射的激光束一分为激光束三与激光束四；分光镜二，将反射面反射的激光束二分为激光束五与激光束六；光电探测器一，用于接收经分光镜一反射的激光束三并显示入射位置；光电探测器二，用于接收经分光镜一透射出的激光束四并显示入射位置；光电探测器三，用于接收经分光镜二反射的激光束五并显示入射位置；光电探测器四，用于接收经分光镜二透射出的激光束六并显示入射位置；处理系统，用于根据光电探测器探测到的激光束入射位置的变化量处理得到所述反射部件上被测物体的旋转角度值。
激光束分光镜光电探测器反射入射位置测角传感器反射面精密透射激光束入射位置本实用新型被测物体处理系统反射部件变化量探测

[发明专利]利用光束截面成形和多面镜的激光表面处理设备及方法-CN200980119090.3有效
发明人：金道热 -专利权人：哈娜技术(株)
申请日： 2009-05-26 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用光束截面成形和多面镜的激光表面处理设备及方法。具体地，本发明通过利用一装置成形激光束的截面使得当激光束照射在多面镜上时衰减激光束的损失最小，并且通过将各表面处理套件的激光发生装置排列在同一平面上(假设该设备具有多个表面处理套件)，可使该设备的尺寸紧凑该设备包括表面处理套件(300)，其包括：用于产生具有预定孔径的第一激光束(21)的激光发生装置(20)；用于成形第一激光束(21)的截面以获得第二激光束(22)的第一光束成形单元(30)；用于成形第二激光束(22)的截面以获得第三激光束(23)的第二光束成形单元(40)；第三激光束(23)照射在其上的多面镜(50)，所述多面镜以恒定速度旋转；聚焦镜(60)，用于聚焦从多面镜(50)反射的第三激光束(23)，以放射第四激光束(24)，利用第四激光束在正行进的目标物(100)上产生光斑；以及用于以交互影响的方式控制目标物(100)的输送速度、激光发生装置(20)的输出以及多面镜(50)的转速的装置。
利用光束截面成形多面激光表面处理设备方法

[发明专利]相干反斯托克斯拉曼散射显微镜成像装置-CN201910236685.2在审
发明人：夏炎;杨彬;李锐 -专利权人：威朋（苏州）医疗器械有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：一种相干反斯托克斯拉曼散射显微镜成像装置，包括：激光光源、二维振镜组件、第一滤光片、物镜、位移台、采集器及数据处理模组；激光光源用于产生第一激光束及第二激光束；第一激光束与第二激光束共线输出；第一激光束、第二激光束入射二维振镜组件，二维振镜组件对第一激光束及第二激光束的光路进行调节；离开二维振镜组件的第一激光束、第二激光束依次通过第一滤光片、物镜；物镜将第一激光束、第二激光束聚焦到位移台上；位移台上产生的信号光通过物镜，采集器根据信号光产生初始数据，并将初始数据输出至数据处理模组；避免需要对激光器输出的单一波长激光束进行分光及波长调整，从而提高紧凑性，减少体积，有利于商业开发。
激光束二维振镜物镜显微镜成像装置数据处理模组初始数据激光光源拉曼散射采集器滤光片信号光输出相干激光束聚焦波长调整单一波长商业开发激光器紧凑性位移台分光共线光路入射

[实用新型]相干反斯托克斯拉曼散射显微镜成像装置-CN201920402701.6有效
发明人：夏炎;杨彬;李锐 -专利权人：威朋(苏州)医疗器械有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：一种相干反斯托克斯拉曼散射显微镜成像装置，包括：激光光源、二维振镜组件、第一滤光片、物镜、位移台、采集器及数据处理模组；激光光源用于产生第一激光束及第二激光束；第一激光束与第二激光束共线输出；第一激光束、第二激光束入射二维振镜组件，二维振镜组件对第一激光束及第二激光束的光路进行调节；离开二维振镜组件的第一激光束、第二激光束依次通过第一滤光片、物镜；物镜将第一激光束、第二激光束聚焦到位移台上；位移台上产生的信号光通过物镜，采集器根据信号光产生初始数据，并将初始数据输出至数据处理模组；避免需要对激光器输出的单一波长激光束进行分光及波长调整，从而提高紧凑性，减少体积，有利于商业开发。
激光束二维振镜物镜数据处理模组初始数据激光光源采集器滤光片信号光输出显微镜成像装置激光束聚焦波长调整单一波长拉曼散射商业开发激光器紧凑性位移台相干分光共线光路入射

[发明专利]光学信息记录和再现的装置和方法-CN98108065.0无效
发明人：长野博文;江口秀治 -专利权人：日本胜利株式会社
申请日： 1998-04-04 - 公布日： 2004-03-03 - 主分类号： G11B7/00 文献下载
摘要：有选择地产生第一激光束和第二激光束。第一或第二激光束照射在光学存储介质上，光学存储介质具有记录层，主信息记录在记录层上。主信息包括将要再现的信息和再现处理信息。激光束的选择是根据复现处理信息完成的。第一激光束具有第一激光功率，在激光束从光学存储介质上反射时第一激光功率能够携带主信息而不擦掉主信息。另一方面，第二激光束具有第二激光功率，在激光束从光学存储介质上反射时第二激光功率携带主信息的同时，能够从光学存储介质上擦掉主信息。然后分析将要再现并由第一或第二激光束携带的信息。
光学信息记录再现装置方法

[发明专利]激光热处理装置以及利用该装置的薄膜结晶化方法-CN201810094612.X在审
发明人：李惠淑;柳济吉;E·阿斯拉诺夫;吴元熙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例涉及一种激光热处理装置以及利用该装置的薄膜结晶化方法，其中，向被处理薄膜照射第一激光束，并将从所述被处理薄膜反射的第一激光束反射而使第二激光束照射到被处理薄膜。此时，使所述第二激光束与被所述第一激光束照射的区域的至少一部分重叠。
薄膜激光热处理装置激光束照射薄膜结晶激光束激光束反射反射照射

[实用新型]一种便携式清理毛发器-CN201120252868.2有效
发明人：任笑菲 -专利权人：任笑菲
申请日： 2011-07-18 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： A61B18/20 文献下载
摘要：该便携式清理毛发器，包括激光束，处理仓，其特征是：机体内装有激光束，激光束上部装有处理仓，处理仓上部装有电子板，电子板顶部装有开关，激光束底部装有防护罩，激光束与处理仓，电子板一体制成。
一种便携式清理毛发

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