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- [发明专利]制造光伏器件的方法和系统-CN200980126195.1无效
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朱俊
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常州雷射激光设备有限公司
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2009-09-25
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2011-06-29
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H01L31/18
- 一种用于制造包括半导体晶片(211)的光伏器件的系统(200),该系统包括:激光装置(202),被配置为产生激光束(230);以及激光扫描装置,被配置为在所述晶片(211)上扫描激光束(230),以局部加热晶片该激光扫描装置包括:光束分离模块(205),被配置为将激光束分成至少两个具有等量激光功率的子光束;至少两个扫描器(208),被配置为操纵所述子光束(232)沿着所述晶片(211)上定义的预定扫描路径扫描;以及至少两个透镜(209),被配置为将所操纵的子光束(232)聚焦在与所述预定扫描路径一致的焦点处。
- 制造器件方法系统
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