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[发明专利]用于切割低介电值材料晶圆的快速切换光路架构-CN201910398345.X有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于切割低介电值材料晶圆的快速切换光路架构，包含有用于产出激光束的激光束产生装置，位于激光束产生装置之后用于将激光束进行分光或不分光的分光装置，位于分光装置之后由多个光束控制匣所组成并用于调整激光束光路的光束转换装置，以及与激光束产生装置、分光装置和光束转换装置电性链接的中央控制装置。本发明通过切换使用不同的光束控制匣来使单一台激光加工机能使用多种不同的光路来进行切割，从而达到降低加工成本并解决机台设置的空间问题的有益效果。
用于切割低介电值材料快速切换架构

[实用新型]利用激光烧除毛刺粉屑的加工装置-CN202220323179.4有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B23K26/361 文献下载
摘要：本实用新型公开了利用激光烧除毛刺粉屑的加工装置，其包含有机台、设于机台且上可固定及带动被加工物面向的平台单元、以及设于机上且可发射激光至被加工物侧面毛刺部分的激光加工单元；所述平台单元包括有可固定被加工物的固定平台、以及与固定平台连接并可带动其移动或转动的控制单元；所述激光加工单元包括与机台连接的支架、与支架连接提供移动的位移单元、以及与位移单元连接且可发出激光的激光单元。本实用新型能够直接对被加工物进行烧除毛刺及粉屑的加工操作。
利用激光毛刺加工装置

[发明专利]激光快速钻孔装置-CN202110192367.8在审
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光快速钻孔装置，其包含有负责发出光源的光源供应单元、用于接收及调变光源的第一控制单元和第二控制单元的光源控制单元、接收调变光源并将其聚焦成光束射向待钻孔物件的聚光单元，以及与第一控制单元和第二控制单元电性连接的中央控制器。本发明的优点在于第二控制单元控制光源移动发射位置时，第一控制单元仍保持等转速绕圆，因此当第二控制单元移动到定位后即可立即钻孔，无须先减速后重新启动绕圆转速，故可缩短钻孔所需时间。
激光快速钻孔装置

[发明专利]激光蚀薄铜线圈的方法-CN201910419303.X有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01F41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光蚀薄铜线圈的方法，用于切割具有螺旋沟槽的待切割板，其为将激光以绕螺旋的方式依序将待切割板正面及背面螺旋沟槽底部的铜切除，而当待切割板完成正、背面的切割后即取得螺旋状的铜线圈，其中，该待切割板包含有塑料层以及分别设置于塑料层的正、背面上的第一铜层和第二铜层，而上述螺旋沟槽设置于第一铜层和第二铜层上，且第一铜层和第二铜层上的螺旋沟槽相互对称。
激光铜线方法

[发明专利]铜线圈的UV激光加工方法及其结构-CN201811140728.9有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：一种铜线圈的UV激光加工方法及其结构，其加工方法通过固定治具将厚度为100μm以上的厚铜固定至目标位置并将其压平，接着再以绕螺旋的方式通过UV激光在厚铜上切割出铜线，并在切割后的厚铜上留有未被UV激光切断的连接桥以及位于连接桥两侧的多道沟槽，最后再利用UV激光将连接桥切除，进而取得一螺旋状的铜线圈。借此，本发明利用激光直接将圆铜加工制成铜线圈；在切割的过程中圆铜不会变形而产生尺寸偏差。
铜线 uv 激光加工方法及其结构

[发明专利]利用激光时脉调变分光切割加工方法及其模组-CN201810501147.7有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供一种利用激光时脉调变分光切割加工方法及其模组，其加工方法包含发出激光步骤、时脉调变振荡步骤、聚光步骤、加工步骤；首先，将激光射入光电调变振荡装置，并折射出两道不同时脉、角度各异的光束，但其功率仍维持接近原激光，再利用激光控制装置移动光电调变振荡装置，以控制两光束分别射向聚光单元的间距，而聚光单元调整光束朝向晶圆射出，并配合移动平台的移动，使两光束在晶圆上以特定间距进行平行Z字形交错的加工，最后形成两条平行蚀刻后的完整沟槽，无需额外分割加工、或更换功率更高的激光源，大幅降低设备成本并提高加工效率。
利用激光时脉调变分光切割加工方法及其模组

[发明专利]具有多段参数控制的交错式电弧烧除装置-CN202010107795.1在审
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B26F3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有多段参数控制的交错式电弧烧除装置，其包含载体、传输装置及放电装置；该传输装置包括传动针轮、导柱及轨道导轮；导柱分别设置于传动针轮及轨道导轮上方，用以将芯片纸带夹于传动针轮之间、以及在轨道与导轮之间进行传输运动；放电装置包括电控单元、与电控单元电性连接且呈现交错设置的上电极组及下电极组，以减弱电弧烧除芯片纸带的火力，可避免焦黑的情形发生。本发明透过导柱、传动针轮、轨道导轮进行传输运动，无需现有的轨道板，如此可避免电弧烧除过程若产生焦油残留在轨道板上，而芯片纸带受到污损产生不良的情形。
具有参数控制交错电弧装置

[实用新型]应用AOI的激光蚀薄铜线圈的设备-CN201922325820.9有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型公开了应用AOI的激光蚀薄铜线圈的设备，包含有激光加工单元、扫描模块、影像分析单元以及程序单元，其中激光加工单元，依照程序单元所发出的加工路径指令对待加工产品进行激光加工；扫描模块，与激光加工单元连接，用以拍摄该待加工产品，并将影像资料传送至影像分析单元；影像分析单元，与扫描模块连接，用以接收来自扫描模块的影像资料，针对待加工产品的不良之处自行模拟出改善的最佳路径，将该优化后的加工路径信息传送至程序单元；程序单元，与影像分析单元及激光加工单元连接，用以提供激光加工单元指令，使激光加工单元依照该指令进行加工动作。本实用新型能够减少激光加工制程中因为待加工产品本身不良所造成的加工不良率。
应用 aoi 激光铜线设备

[实用新型]激光功率控制装置-CN201920893738.3有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光功率控制装置，设于激光加工装置的激光源及加工平台之间并用于调整激光的输出能量，使各个独立的激光加工设备具有相同加工功率标准化的参数，包含其上设有波长板的分度盘、设于分度盘的射出端的分光镜组、设于分光镜组一端的光阻挡器、设于加工平台上的功率侦测器、与分度盘及功率侦测器电性连接的中央控制模块；通过前述构件标准化校正并定义分度盘中的刻度位置后，无论何种功率的激光入射本实用新型激光功率控制装置，只要简单的调整分度盘至对应该功率的刻度位置，该激光就会通过波长板旋转以对应的分光比率输出到分光镜组再导向加工平台，而其他分光则由光阻挡器吸收，即可精准确保加工平台的激光为默认的激光功率。
激光功率控制装置

[发明专利]激光切割厚铜的铜线圈结构及其方法-CN201811197199.6在审
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供一种激光切割厚铜的铜线圈结构及其方法，其中，激光切割厚铜的铜线圈结构包含铜螺旋绕线结构，以及在铜螺旋绕线结构两侧经多重螺旋激光切割后的多重螺旋切割沟槽；在激光切割厚铜时，以多重螺旋的方式进行激光切割，使厚铜切割出多重螺旋切割沟槽，通过调变多重螺旋切割沟槽的宽度，也就是调控激光切割的螺旋线大径，即可形成对应线宽的铜螺旋绕线结构，因此更利于在切割厚铜时补足单一激光切割可能切割深度不完全的缺陷，亦能定制化调整切割时的线宽，并通过多重螺旋切割进而改善现有技术须通过更大功率的设备才能提供足够的切割能量的缺陷。
激光切割铜线结构及其方法

[发明专利]AOI应用在激光蚀薄铜线圈的方法及其设备-CN201911335227.0在审
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-02-25 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开了一种AOI应用在激光蚀薄铜线圈的方法，其适用于至少一激光加工单元、扫描模块、影像分析单元与程序单元，该方法大致通过扫描模块针对有瑕疵的待加工产品的不良之处(涨缩、变形、凸点)进行逐片扫描，并将扫描后的影像传送至影像分析单元，并透过影像分析单元分析出较优的加工路径，并将优化后的加工路径转换成图档传送至程序单元，程序单元再依照该优化后的图档对激光加工单元进行加工指令，以减少激光加工制程中因为待加工产品本身不良所造成的加工不良率。本发明还公开了一种AOI应用在激光蚀薄铜线圈的设备，包含有激光加工单元、扫描模块、影像分析单元以及程序单元。
aoi 应用激光铜线方法及其设备

[实用新型]用于切割低介电值材料晶圆的快速切换光路架构-CN201920683840.0有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于切割低介电值材料晶圆的快速切换光路架构，包含有用于产出激光束的激光束产生装置，位于激光束产生装置之后用于将激光束进行分光或不分光的分光装置，位于分光装置之后由多个光束控制匣所组成并用于调整激光束光路的光束转换装置，以及与激光束产生装置、分光装置和光束转换装置电性链接的中央控制装置。本实用新型通过切换使用不同的光束控制匣来使单一台激光加工机能使用多种不同的光路来进行切割，从而达到降低加工成本并解决机台设置的空间问题的有益效果。
激光束产生装置分光装置激光束光束转换装置本实用新型光束控制分光光路切割机台中央控制装置光路架构激光加工空间问题快速切换低介电性晶圆链接加工

[发明专利]激光切割方法及其设备-CN201810468396.0在审
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：一种激光切割方法及其设备，其切割方法主要依序通过切割、覆膜、切断等步骤来进行金属箔的切割，并同时配合夹持治具夹持住欲切割的金属箔，再由位于夹持治具上方的扫描头单元制造出切割用的激光光束并开始进行切割，而在切割的过程中会同时使用上辅助吹气装置以及下辅助吹气装置将冷却气体喷向金属箔，且切割的过程中还会搭配热像仪来监控金属箔的温度，并依照金属箔的温度变化来调控上辅助吹气装置以及下辅助吹气装置的出风量。通过切割金属箔时所预留一处以上的微连接，并搭配覆在金属箔表面的承载膜，使切割和切断的过程中不会有散料的情况发生。同时利用上、下辅助吹气装置并搭配热像仪，使切割的过程中金属箔能保持在最佳的切割温度。
切割金属箔辅助吹气装置搭配夹持治具热像仪金属箔表面单元制造激光光束激光切割冷却气体切割金属承载膜出风量扫描头微连接覆膜夹持散料预留调控监控配合

[实用新型]激光切割厚铜的铜线圈结构-CN201821666636.X有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种激光切割厚铜的铜线圈结构，其中，其包含铜螺旋绕线结构，以及在铜螺旋绕线结构两侧经多重螺旋激光切割后的多重螺旋切割沟槽；在激光切割厚铜时，以多重螺旋的方式进行激光切割，使厚铜切割出多重螺旋切割沟槽，通过调变多重螺旋切割沟槽的宽度，也就是调控该激光切割的螺旋线大径，即可形成对应线宽的铜螺旋绕线结构，该切割后的铜螺旋绕线结构可补足单一激光切割可能切割深度不完全的缺陷，亦能定制化调整切割时的线宽，并通过多重螺旋切割的方式来改善现有技术须通过更大功率的设备才能提供足够的切割能量的缺陷，从而形成更完整的铜线圈结构。
切割激光切割多重螺旋螺旋绕线厚铜铜线圈线宽本实用新型更大功率定制化螺旋线大径调变调控

[实用新型]铜线圈结构-CN201821591138.3有效
发明人： 黄萌义;熊学毅;苏柏年 -专利权人：雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：一种铜线圈结构，其是在厚度为100μm以上的厚铜上设有连接桥以及沟槽；所述连接桥位于厚铜上并具有一定的宽度，该连接桥指在厚铜上未被激光光束切穿的特定区块；所述沟槽设置于连接桥的两侧并以弧形的外观呈现，该沟槽通过激光切割而成。借此，本实用新型利用激光直接将圆铜加工制成铜线圈；在切割的过程中圆铜不会变形而产生尺寸偏差。
连接桥铜线圈厚铜本实用新型尺寸偏差激光光束激光切割铜加工区块中圆切割变形激光

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