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[发明专利]溶剂蒸气供给装置和溶剂蒸气供给方法-CN202211482328.2在审
发明人：宫田雄一郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种溶剂蒸气供给装置和溶剂蒸气供给方法。溶剂蒸气供给装置向在所述溶剂蒸气的气氛下对形成有至少包含两种聚合物的嵌段共聚物的膜的基板进行加热的基板处理装置供给溶剂蒸气，来使所述嵌段共聚物相分离，所述溶剂蒸气供给装置具备：溶剂贮存部，其被以贮存于该溶剂贮存部的内部的溶剂的饱和温度以上的温度进行保温；预冷却部，其对在所述溶剂贮存部中产生的所述溶剂蒸气进行预冷却；以及温度调节部，其将预冷却后的所述溶剂蒸气的温度调节为向所述基板处理装置进行供给时的目标温度，其中，所述温度调节部向所述基板处理装置供给调节为所述目标温度后的溶剂蒸气
溶剂蒸气供给装置方法

[发明专利]一种自动喷涂供油漆系统-CN201710386554.3在审
发明人：唐春秋;康剑;郑卜志;夏世德 -专利权人：东莞市新力光表面处理科技有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动喷涂供油漆系统，其包括控制器、喷涂机器人、底漆自动喷枪、色漆自动喷枪、面漆自动喷枪、底漆供给组件、色漆供给组件、面漆供给组件；底漆供给组件包括底漆储料桶、底漆溶剂储料桶、底漆换色阀、底漆供给管、底漆溶剂供给管、底漆供给泵、底漆溶剂供给泵；色漆供给组件包括色漆储料桶、色漆溶剂储料桶、色漆换色阀、色漆供给管、色漆溶剂供给管、色漆供给泵、色漆溶剂供给泵；面漆供给组件包括面漆主剂储料桶、面漆固化剂储料桶、面漆溶剂储料桶、双组份配比系统、面漆主剂供给管、面漆固化剂供给管、面漆溶剂供给管、面漆主剂供给泵、面漆溶剂供给泵。
一种自动喷涂油漆系统

[实用新型]一种自动喷涂供油漆系统-CN201720601867.1有效
发明人：唐春秋;康剑;郑卜志;夏世德 -专利权人：东莞市新力光表面处理科技有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动喷涂供油漆系统，其包括控制器、喷涂机器人、底漆自动喷枪、色漆自动喷枪、面漆自动喷枪、底漆供给组件、色漆供给组件、面漆供给组件；底漆供给组件包括底漆储料桶、底漆溶剂储料桶、底漆换色阀、底漆供给管、底漆溶剂供给管、底漆供给泵、底漆溶剂供给泵；色漆供给组件包括色漆储料桶、色漆溶剂储料桶、色漆换色阀、色漆供给管、色漆溶剂供给管、色漆供给泵、色漆溶剂供给泵；面漆供给组件包括面漆主剂储料桶、面漆固化剂储料桶、面漆溶剂储料桶、双组份配比系统、面漆主剂供给管、面漆固化剂供给管、面漆溶剂供给管、面漆主剂供给泵、面漆溶剂供给泵。
一种自动喷涂油漆系统

[发明专利]涂敷方法-CN201810375829.8有效
发明人：吉田省吾;小椋浩之;吉田隆一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种向基板涂敷药液的涂敷方法，该涂敷方法包括溶剂供给工序和药液供给工序。在溶剂供给工序中，向基板(W)供给溶剂。在溶剂供给工序之后，在药液供给工序中向基板供给药液。溶剂供给工序包括第一工序。在第一工序中，使基板以第一转速旋转，使溶剂喷嘴在基板的中心部的上方的中心位置与基板的周缘部的上方的周缘位置之间移动，并且从溶剂喷嘴喷出溶剂(F)。
方法

[发明专利]无灰煤的制造装置以及无灰煤的制造方法-CN201580026282.5在审
发明人：堺康尔;奥山宪幸;木下繁;吉田拓也 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2015-05-20 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C10L5/00 文献下载
摘要：本发明的无灰煤的制造装置具备：供给加热后的溶剂的溶剂供给部；供给煤的煤供给部；对从溶剂供给部以及煤供给部供给来的溶剂以及煤进行混合的混合部；从混合有溶剂以及煤的浆料中分离溶解有煤成分的溶液的固液分离部；从由固液分离部分离出的溶液中蒸发分离溶剂而获得无灰煤的溶剂分离部，混合部具有管线混合器。
无灰煤制造装置以及方法

[发明专利]基板处理方法-CN201710710303.6有效
发明人：寒河江力;今村雅敬 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理方法，所述基板处理方法具有溶剂供给工序，在该溶剂供给工序中，向基板的中央部供给溶剂，且使基板的转速增加，在溶剂供给工序中，直到溶剂到达基板的周缘的时刻为止，持续向基板供给溶剂。根据这样的基板处理方法，既能够有效地抑制颗粒的产生，又能够利用溶剂覆盖基板的表面的全部。即，能够有效地提高向基板供给溶剂的处理的品质。
处理方法

[实用新型]一种水性废溶剂回收系统及涂装系统-CN202223286363.5有效
发明人：徐冬冬;苏和;周锦容;郑福斌;王振宇;李罡;刘景龙 -专利权人：广汽埃安新能源汽车股份有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种水性废溶剂回收系统及涂装系统，属于废液回收技术领域；回收系统包括：回用溶剂供给单元，回用溶剂供给单元包括废溶剂处理系统和回用溶剂储存单元，回用溶剂储存单元连通废溶剂处理系统；稀释液供给单元；新溶剂供给单元；配液单元；配液单元包括配液罐、浓度检测单元和控制单元；配液罐连通回用溶剂储存单元，配液罐连通稀释液供给单元，配液罐连通新溶剂供给单元；浓度检测单元的检测端安装于回用溶剂储存单元；控制单元连接浓度检测单元，控制单元分别连接回用溶剂供给单元、稀释液供给单元和新溶剂供给单元；替代了目前人工配液的方式，实现了配液的自动化，改善了目前回收溶剂需要人工配制带来的效率低下和可靠性差的问题。
一种水性溶剂回收系统

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201510983384.8在审
发明人：三浦淳靖;泽崎尚树 -专利权人：株式会社思可林集团
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置包括：基板保持单元，其水平地保持基板；二流体喷嘴，其将有机溶剂与气体混合生成有机溶剂的液滴，将生成的有机溶剂液滴向基板上表面排出；第一有机溶剂供给单元，其向二流体喷嘴供给有机溶剂；气体供给单元，其向二流体喷嘴供给气体；第二有机溶剂供给单元，其向基板上表面供给有机溶剂；控制单元，其控制第一及第二有机溶剂供给单元和气体供给单元。控制单元执行：液滴排出工序，其从二流体喷嘴向基板上表面内的规定排出区域排出有机溶剂液滴；液膜形成工序，其在液滴排出工序之前执行，向基板上表面供给有机溶剂，形成覆盖排出区域的有机溶剂的液膜。
处理装置方法

[发明专利]喷墨记录装置的停止处理方法-CN200910259114.7有效
发明人：长岭俊秀;宫尾明;猪狩光雄;小田部宽 -专利权人：株式会社日立产机系统
申请日： 2009-12-11 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： B41J2/165 文献下载
摘要：其目的在于通过少量的溶剂使用量就能够进行喷墨记录装置的停止处理。在从喷嘴(20)喷射墨的印字状态到停止向喷嘴(20)供给墨时，从溶剂供给流路(45)向喷嘴(20)供给溶剂，向回收流路(29)供给通过了喷嘴(20)的溶剂，清洗回收流路(29)。接着，从溶剂供给流路(45)向吸引流路(56)内供给溶剂，清洗吸引流路(56)，在从喷嘴(20)向吸引流路(56)供给外气，将溶剂置换成空气以后，再次向吸引流路(56)内供给溶剂，进行精细清洗。通过交替反复进行吸引流路(56)的残液去除和回收流路(29)的残液去除，向墨容器供给回收流路(29)和吸引流路(56)内的液体。
喷墨记录装置停止处理方法

[实用新型]溶剂阀的冲洗和检测设备-CN201020666123.6有效
发明人：李松湖;朱日辉 -专利权人：广汽本田汽车有限公司
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：一种溶剂阀的冲洗和检测设备，其包括：压缩空气供给装置；溶剂供给装置；膜片泵，其连接于溶剂供给装置，将溶剂供给装置内的溶剂以一定的压力泵出；多头接头，以及若干管道。该溶剂阀的冲洗和检测设备能将一定压力的溶剂和压缩空气同时冲进溶剂阀，从而加强冲洗效果。另外，利用该设备还能够通过观察溶剂阀阀芯的运动情况和泄漏情况来初步检测溶剂阀的品质。
溶剂冲洗检测设备

[发明专利]用于色谱系统的溶剂供给系统及其制造和使用方法-CN200980156508.8无效
发明人： J.M.小安德森;J.P.拜斯特伦;W.J.门多扎;R.萨里-诺尔德豪斯;D.赫尔格莫;S.路易斯;N.雪尔登;B.弗罗曼;N.克莱因 -专利权人：全技术联合公司
申请日： 2009-12-10 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： G01N30/00 文献下载
摘要：公开了溶剂供给系统。还公开了包括溶剂供给系统的色谱系统。还公开了制造和使用溶剂供给系统的方法。
用于色谱系统溶剂供给及其制造使用方法

[发明专利]基板干燥装置、基板处理装置及基板干燥方法-CN202211158535.2在审
发明人：松下淳;埀野阳子 -专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：实施方式的基板干燥装置具有：加热部；第一挥发性溶剂供给部；第二挥发性溶剂供给部，供给第二挥发性溶剂，所述第二挥发性溶剂包含拨水化剂且气化时的表面张力比第一挥发性溶剂小；干燥室，在其中搬入形成有液膜的基板；驱动机构，使基板旋转；以及控制装置，从第一挥发性溶剂供给部供给第一挥发性溶剂，将液膜置换为第一挥发性溶剂，并从第二挥发性溶剂供给部供给第二挥发性溶剂，将形成于基板上的第一挥发性溶剂置换为第二挥发性溶剂，并且形成拨水化膜，使加热部对基板进行加热，在第二挥发性溶剂的液膜与基板之间产生气层，通过旋转所带来的离心力将第二挥发性溶剂的液膜排出。
干燥装置处理方法

[发明专利]液处理方法和基板处理装置-CN201710086419.7有效
发明人：川渕洋介;立花康三;中森光则;大石幸太郎;江头佳祐;田中幸二;稻富弘朗;山下刚秀;福田喜辉;山下浩司;钓船祐;增住拓朗 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在向水平地保持的基板(W)供给了纯水之后、进行基板(W)的干燥时，在第1溶剂供给工序中，向供给纯水后的基板(W)的表面供给第1溶剂，在之后的憎水剂供给工序中，向基板(W)的表面供给憎水剂。在第2溶剂供给工序中，向憎水化之后的基板(W)的表面供给第2溶剂，在之后的干燥工序中将基板(W)的表面的第2溶剂去除。并且，第1溶剂的比重比所述憎水剂的比重小，所述第2溶剂的比重比该憎水剂的比重大。
处理方法装置

[发明专利]液处理中的喷嘴清洗、防止处理液干燥的方法及其装置-CN200910171077.4有效
发明人：米谷保幸;平尾刚;山村健太郎;宫本健一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-09-04 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种液处理中的喷嘴清洗、防止处理液干燥的方法和装置，能抑制液体处理装置大型化，提高喷嘴清洗效率并防止处理液干燥，包括：具有漏斗部的清洗室；向清洗室的漏斗部的上部侧供给溶剂的第二溶剂供给单元；喷嘴吸引单元；使喷嘴在清洗室与向基板喷出处理液的位置之间移动的移动单元；对第一和第二溶剂供给单元、吸引单元和移动单元进行控制的控制器。在喷嘴收容于清洗室内时，利用吸引单元使喷嘴内的处理液的液面后退，从第一溶剂供给单元向清洗室内供给溶剂，形成溶剂的涡流将喷嘴清洗，从第二溶剂供给单元向清洗室内供给，在清洗室内形成溶剂的积液，利用吸引单元吸引喷嘴，在喷嘴的前端内部形成处理液层、空气层和处理液的溶剂层。
处理中的喷嘴清洗防止干燥方法及其装置

[发明专利]液相色谱仪及分析执行方法-CN202110039751.4有效
发明人：大桥浩志 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01N30/88 文献下载
摘要：本发明提供一种液相色谱仪及分析执行方法，当流路切换阀处于第一流路状态时，将由水系溶剂供给部所供给的水系溶剂引导至第一流路，利用设于第一流路的pH计来测定水系溶剂的pH值。当流路切换阀处于第二流路状态时，将由水系溶剂供给部所供给的水系溶剂引导至第二流路。在较流路切换阀更靠下游，利用试样供给部来供给分析对象的试样。将经过第二流路的溶剂及由试样供给部所供给的试样导入至分离管柱。利用检测器对经过分离管柱的试样进行检测。
色谱仪分析执行方法

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