专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]装置及移方法-CN202010287059.9在审
  • 李江隽 - 李江隽
  • 2020-04-13 - 2020-06-30 - B01L3/02
  • 本发明公开了一种移装置及移方法。移装置包括容器,所述容器具有腔体;所述腔体通过密封阀分隔成第一腔体以及与所述第一腔体相邻的第二腔体;所述容器的内壁设置有用于限制所述密封阀最低行程位置的阀座;所述第一腔体内部设置有动力机构,所述动力机构控制密封阀相对于所述动力机构纵向移动本发明通过压力差的改变解决了现有技术中活塞机械结构精度控制及磨损的问题,通过密封阀移动微小行程完成微量取
  • 装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202010305082.6在审
  • 冈泽智树;西山雄太;飞松武志 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-04-17 - 2020-10-30 - H01L21/67
  • 本发明提供一种处理装置和处理方法,对于利用从喷嘴喷出的处理进行的处理的面内均匀性有效。处理装置具备:处理供给部,其具有喷出处理的喷嘴;喷嘴移动部,其使所述喷嘴在用于朝向基板的表面供给所述处理的涂布位置和与所述涂布位置不同的待机位置之间移动;清洗部,其朝向所述待机位置供给清洗液,以通过所述清洗液对位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面进行清洗;吸引部,其具有朝向位于所述待机位置的所述喷嘴的顶端面开口的吸引口,所述吸引部吸引从位于所述待机位置的所述喷嘴喷出的所述处理以及通过所述清洗部供给到所述待机位置的所述清洗液;以及控制装置,其控制所述处理供给部
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN201980018697.6在审
  • 井手裕幸;志手英男;吉原孝介 - 东京毅力科创株式会社
  • 2019-03-20 - 2020-10-30 - H01L21/027
  • 本发明提供一种能够抑制异物混入要供给到基片的处理中的处理装置。装置构成为,包括:将从处理供给源(23)供给的用于处理基片的处理释放到该基片的喷嘴(22);将上述处理供给源(23)和上述喷嘴(22)连接的主流路;设置于上述主流路的过滤器(26);从上述主流路分支的分支管路(41A);设置于上述分支管路(41A)的端部的泵(42);和控制部(10),其输出控制信号以进行第一步骤和接着的第二步骤,其中,上述第一步骤用上述泵(42)进行吸以使得从上述处理供给源(23)供给来的上述处理液流入上述分支管路(41A),上述第二步骤从上述泵(42)向上述分支管路(41A)释放比该分支管路(41A)的容量少的量的该处理以从上述喷嘴(22)释放上述处理
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202010500958.2在审
  • 梶原英树;米光祐弥;山中晋一郎;水篠真一;饭田成昭;川上浩平;东徹 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-06-04 - 2020-12-11 - H01L21/67
  • 本发明提供处理装置和处理方法。针对向基板供给涂敷而形成涂敷膜的处理装置,获得高生产率且省空间。构成如下装置,其具备:第1喷嘴,其在基板之上的各第1喷出位置向该基板喷出第1处理,以各基板保持部为单位设置;第2喷嘴,其在各基板之上的第2喷出位置以迟于第1处理从第1喷嘴的喷出的方式向该基板喷出涂敷膜形成用的第2处理,被多个基板保持部共用;第3喷嘴,其为了在保持于各基板保持部的基板之上的第3喷出位置向基板喷出第3处理而以各基板保持部为单位设置;回转机构,其使第1喷嘴于俯视时在第1待机部与第1喷出位置之间回转
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202010571224.3在审
  • 信国力;尾嶋智明;板桥拓也;堀口亮一;若山翔太 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-06-22 - 2021-01-05 - H01L21/67
  • 本发明提供一种处理装置,其包括罐、循环通路、泵、多个处理部和多个供给通路,循环通路具有设有泵的主通路部分和从主通路部分分支的第一分支通路部分和第二分支通路部分,从罐流出的处理在通过主通路部分后流入各分支通路部分,并通过各分支通路部分返回罐,多个处理部被划分为第一处理部组和第二处理部组,多个供给通路被划分为第一通路组和第二通路组,属于第一处理部组的处理部分别经由属于第一通路组的供给通路连接于第一分支通路部分,属于第二处理部组的处理部分别经由属于第二通路组的供给通路连接于第二分支通路部分。根据本发明,能够减少处理装置的处理供给机构的部件数量。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]恒量的出装置-CN202010037593.4在审
  • 王红波 - 宁波云鹰信息科技有限公司
  • 2020-01-14 - 2020-06-02 - A47K5/12
  • 本申请公开出恒量的出装置,其特征在于,出恒量的出装置包括一装置主体、一电控组件、一导组件、一感应组件以及一电机,装置主体包括一上主体和一下主体,上主体包括一安装架和一筒体,安装架具有一顶壁和自顶壁向下延伸的一侧壁,以在顶壁和侧壁之间形成一防短路空间,安装架的侧壁的底部被安装于筒体的顶部,筒体底部被安装于下主体,下主体形成一盛腔,筒体在安装架下方形成一容纳空间,感应组件包括一处理部件和一稳压部件,稳压部件被电连接于处理部件
  • 恒量装置

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