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[发明专利]气浮式输送平台及其检测系统-CN202210606119.8在审
发明人：邹嘉骏;王人杰;赖宪平 -专利权人：由田新技股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种气浮式输送平台及气浮式检测系统，所述气浮式检测系统包含气浮式输送平台、第一图像获取模块及第二图像获取模块。气浮式输送平台适于气浮输送工件至气浮式输送平台上的检测位置，其中第一开槽设置于气浮式输送平台上，并对应于检测位置。第一图像获取模块配置于所述气浮式输送平台一侧，以获取检测位置上的工件的正面图像。第二图像获取模块配置于气浮式输送平台的相对侧，通过第一开槽，以获取检测位置上的工件的背面图像。本发明的气浮式输送平台及气浮式检测系统可有效率地对晶圆进行检测。
气浮式输送平台及其检测系统

[实用新型]一种综合污水的闭式气浮除油装置-CN202320504263.0有效
发明人：韩媛媛;王日彩;朱洪;张衡;马洪玺 -专利权人：上海蓝科石化环保科技股份有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本实用新型指一种综合污水的闭式气浮除油装置，包括气源系统、压力溶气系统、闭式气浮系统及尾气系统，气源系统包括氮气进气管线；压力溶气系统包括加压溶气罐，加压溶气罐与氮气进气管线连通；闭式气浮系统包括闭式气浮反应器，闭式气浮反应器沿进水方向依次设置反应腔、多级气浮分离腔、出水腔及出渣腔，出水腔与加压溶气罐连通，加压溶气罐通过循环水管线与多个溶气释放器连通，溶气释放器分别与各级气浮分离腔连通；尾气系统包括尾气排放管线，尾气排放管线与闭式气浮反应器连通。本申请采用闭式高效溶气气浮并以氮气为气源，可极大降低安全风险，减少恶臭气体二次污染；多级气浮串联，大大提升处理效果。
一种综合污水闭式气浮装置

[实用新型]用于测量机的气浮式导轨-CN201220655088.7有效
发明人：钟克;杨洪涛;曹建东;石皋莲;荆林辉 -专利权人：苏州高瑞实业有限公司
申请日： 2012-11-30 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于测量机的气浮式导轨，所述气浮式导轨设置于大理石工作台一侧，通过气浮块连接有立柱，所述气浮式导轨为V形导轨，通过设置于所述气浮式导轨内侧的气浮块、大理石工作台上表面的气浮块、大理石工作台侧面的气浮块三块气浮块连接所述立柱V形导轨为三角形截面，由于三角形的稳定性使气浮块减少至三块，降低了制造和维护成本，结构更加简单。
用于测量气浮式导轨

[发明专利]一种用于干式纳米研磨的高压气浮式研磨转轴-CN201610165296.1有效
发明人：张友超;汤伟伟 -专利权人：张友超;汤伟伟
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： F16J15/447 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于干式纳米研磨的高压气浮式研磨转轴，包括高压纯净干燥空气、高压气浮式轴心、高压气浮式迷宫气封轴承、轴心、轴套、气浮翼、高压气浮式迷宫气封轴承等，其特征在于本发明采用轴心、轴套、轴套轴心管的组合结构高压气浮式轴心，和高压气浮式迷宫气封轴承，将高压洁净空所充入高压气浮式迷宫气封轴承，在设有迷宫气室的气封迷宫体和气浮翼的作用下，实现轴套和轴心与轴承无实体接触的高压气团轴承，且有效封堵粉料外溢。本发明对干式纳米研磨提供了突破性的关键技述，实现干式纳米研磨轴长时间运转，克服了现有技术的不足。
一种用于纳米研磨压气转轴技术

[实用新型]一种用于紫菜养殖的气浮以及使用该气浮制成的气浮式翻筏-CN201720508152.1有效
发明人：王治钦 -专利权人：王治钦
申请日： 2017-05-09 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： A01G33/02 文献下载
摘要：本实用新型是一种用于紫菜养殖的气浮以及使用该气浮制成的气浮式翻筏，气浮包括气浮体，气浮体由PVC、橡胶或防水布制成，气浮体内设有气腔，在气腔内均匀设置2‑12根贯穿气浮体的牵拉细管，气浮体上还设有固定机构气浮式翻筏包括筏体和筏体两端的固定装置，筏体的长绳索上方设有若干等间距设置的浮架，浮架的下方设有紫菜网片，所述浮架包括两根浮竿，两根浮竿的两端分别穿装有一个气浮，气浮设在浮竿的上方。本气浮式翻筏结构简单牢固，使用灵活性强，运输方便，能随时应对各种自然界的不可控现象，操作简便，节约资源，适合深海域紫菜养殖。
一种用于紫菜养殖以及使用制成气浮式翻筏

[实用新型]长行程运动气浮模组及应用其的曝光台-CN201120570758.0有效
发明人：徐涛;江旭初;李生强;王鑫鑫;张凤磊;曹若愚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长行程运动气浮模组及应用其的曝光台。长行程运动气浮模组包括侧向球铰式气浮垫、侧向自适应球铰式气浮垫以及垂向球铰式气浮垫。侧向球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第一侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能。侧向自适应球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第二侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向自适应球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能且能够沿X向作微小位移补偿。垂向球铰式气浮垫一端连接U型导轨的端面，另一端具有气浮垫，连接基座。本实用新型可大大降低导向零件的设计复杂度、加工制造难度以及装配精度。
行程运动模组应用曝光

[发明专利]双五自由度气浮主从式非接触双超卫星地面原理验证系统-CN201610815971.0有效
发明人：张伟;赵洪波;朱敏;廖鹤;廖波;唐忠兴;徐毅;倪涛 -专利权人：上海卫星工程研究所
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： B64F5/60 文献下载
摘要：本发明提供了一种双五自由度气浮主从式非接触双超卫星地面原理验证系统，包括主从式非接触双超卫星，还包括多组采用主动气浮方式的气浮单元；每组气浮单元包括平面气浮装置和球面气浮装置，其中，球面气浮装置设置在平面气浮装置的顶部；主从式非接触双超卫星的载荷舱由一组气浮单元支撑在地面上，主从式非接触双超卫星的平台舱由另一组气浮单元支撑在地面上。本发明构型上采用两舱五自由度主动气浮，实现从两舱三维转动、两维平动这五个自由度验证主从式非接触双超卫星的原理可行性及姿态控制性能潜力评估的目的。
自由度主从接触卫星地面原理验证系统

[实用新型]一种用于处理含油废水的新型的气浮设备-CN202221687230.6有效
发明人：卓剑锋;陈春生 -专利权人：福建安冠环境科技有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C02F1/465 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水处理技术领域，且公开了一种用于处理含油废水的新型的气浮设备，包括外置式电解产气系统，所述外置式电解产气系统的底部连通有入水口，所述外置式电解产气系统的顶部连通有出水口一，所述外置式电解产气系统的一侧设有气浮分离槽，所述气浮分离槽包括进水区、气浮分离区和清水区，所述气浮分离槽内设有微小气泡释放器，所述气浮分离槽的顶部设有刮油装置，所述气浮分离槽一侧的顶部和底部分别连通有排油口和出水口二，所述出水口通过管道连接有清水泵，本实用新型通过外置式的电解产气系统采用气浮出水作为反应原水，电解反应后，进入气浮分离区释放微小气泡，形成气浮，从而能够提高气浮效率，降低能耗。
一种用于处理含油废水新型设备

[实用新型]弧式气浮烘箱-CN201420607084.0有效
发明人：杨志明 -专利权人：深圳市信宇人科技有限公司
申请日： 2014-10-19 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：一种弧式气浮烘箱，包括气浮式烤箱本体和用于将所述气浮式烤箱本体内的气体循环加热的循环加热装置，所述循环加热装置分别给下气浮嘴和上气浮嘴提供气源，在所述气浮式烤箱本体设有至少一个供电池极片通过的弧形通道，所述下气浮嘴和上气浮嘴分别交错地排布在所述弧形通道内的所述电池极片的两侧。
弧式气浮烘箱

[实用新型]一种气浮式偏摆仪-CN202122640002.5有效
发明人：吕昌英 -专利权人：青岛联盈创科检测装备有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮式偏摆仪，涉及偏摆仪技术领域，用于解决偏摆仪受精度影响导致测量结果误差较大的问题，一种气浮式偏摆仪，包括导轨底座，所述导轨底座上设置有第一气浮式顶尖座和第二气浮式顶尖座，所述第一气浮式顶尖座和第二气浮式顶尖座各与导轨底座滑动连接，所述第一气浮式顶尖座和第二气浮式顶尖座上分别设置有第一顶尖组件和第二顶尖组件，所述第一顶尖组件包括第一顶尖，所述第二顶尖组件包括第二顶尖，所述导轨底座上设置有气浮式检测仪，所述气浮式检测仪与导轨底座滑动连接
一种气浮式偏摆仪

[实用新型]一种高效的涡凹气浮机-CN201820834979.6有效
发明人：崔田 -专利权人：乌海青石化学有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效的涡凹气浮机，其包括：气浮机箱体，气浮机箱体包括相互连通的气浮槽和沉淀槽，沉淀槽位于气浮槽下方；刮渣系统，刮渣系统位于气浮槽上方；管道混合器，管道混合器直接设置在气浮机主体的进水管道上；管道释放器，管道释放器直接设置在气浮机主体的进水管道上，并位于气浮机主体一侧；管道式布水器，管道式布水器设置在进水管道的出水端，管道式布水器通过管路与气浮机主体配合连接；溶气机构，溶气机构通过管路分别连接管道释放器和气浮机主体；气提吸砂机构，气提吸砂机构设置在气浮机箱体内，并分别与溶气机构和刮渣系统配合连接。本实用新型实现了气浮排渣与沉砂排渣同时连续进行；提高了污水处理的效率。
气浮机气浮机箱体刮渣系统溶气机构布水器管道式气浮槽释放器本实用新型管道混合器涡凹气浮机配合连接吸砂机构直接设置沉淀槽进水管排渣气提进水管道连接管道出水端沉砂浮机气浮连通污水处理

[实用新型]采用气浮式带钢传送系统的涂层炉-CN201120125672.7有效
发明人：游光明;沈小军;郑剑辉;周昌勇;廖彦斌;周伟 -专利权人：中冶南方(武汉)威仕工业炉有限公司;中冶南方(新余)冷轧新材料技术有限公司
申请日： 2011-04-25 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种采用气浮式带钢传送系统的涂层炉，其特征在于主要包括炉体、循环喷箱、气浮式带钢传送系统、大功率明火烧嘴供热系统；气浮式带钢传送系统由嵌入式风机、气浮式带钢传送装置及第四连接管道组成，嵌入式风机安装在炉体上，嵌入式风机的吸风口设置涂层炉内，嵌入式风机的出风口与第四连接管道相连通，第四连接管道与气浮式带钢传送装置的进风口相连通，气浮式带钢传送装置的出风口采用喷嘴，喷嘴朝向循环喷箱内；带钢在涂层炉烧结段和冷却段内的传动由气浮式带钢传动系统进行传动
采用气浮式带钢传送系统涂层

[发明专利]一种环流溶气共聚气浮系统及工艺-CN201210227135.2有效
发明人：林喆;匡亚莉;张海阳 -专利权人：中国矿业大学
申请日： 2012-07-03 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：一种环流溶气共聚气浮系统及工艺，系统主要由包括入料泵、射流泵、加药器、气液混合泵、鼓泡式溶气罐、气浮柱构成，采用气液混合泵-鼓泡式溶气罐溶气工艺，溶气水出水指标稳定；利用射流泵实现混药、气-固-液三相混凝共聚的同步一体化，无需单独设立混凝工艺单元，简化流程，并可产生稳定的气固液三相絮凝体，提高气浮效率、稳定气浮效果；采用双层套筒柱式气浮池，占地面积小，易于实现自动化控制可实现混凝共聚气浮，降低溶气能耗，提高气浮效率，简化气浮工艺流程其工艺简单，无噪声污染，能耗低，气浮效果好。
一种环流共聚系统工艺

[实用新型]一种用于电路板的气浮式定位机构-CN202220742372.1有效
发明人：陈曲剑;陈玉昆;颜朝信 -专利权人：迅得机械（东莞）有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于电路板的气浮式定位机构，其包括工作台、设于工作台之上的气浮定位板以及设于工作台侧方的挡板限位组件，气浮定位板设有多个非圆形的气浮孔以及用于向气动孔吹气的气动组件，各个气浮孔的出气方向相对气浮定位板的承载面倾斜，在电路板置放至气浮定位板时，电路板在气浮孔的作用下相对气浮定位板非接触式浮动，且挡板限位组件用于将电路板挡止于气浮定位板的承载面内。本实用新型设有非圆形的气浮孔，电路板会在气流的作用下略微倾斜浮动，并且通过工作台侧方的挡板限位组件对电路板起到自动限位和定位的作用，这样的结构设计巧妙，能够对电路板进行气浮式自动定位，并起到降低摩擦伤板的作用
一种用于电路板气浮式定位机构

[发明专利]气浮式压叶轮动平衡检测工装-CN201310745242.9在审
发明人：朱永伟;范海奔 -专利权人：汉捷机械部件（常州）有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G01M1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮式压叶轮动平衡检测工装，包括：压叶轮、气浮式夹具、底板、进气管和吹气嘴，气浮式夹具紧固在动平衡机的底板上，压叶轮放入气浮式夹具上，气浮式夹具内设有主进气孔和副进气通孔，主进气孔的轴上设有均布的排气孔，进气管连接在底板的底部，进气管中的空气进入气浮式夹具形成气压通过副进气通孔和主进气孔上的排气孔排出使压叶轮浮动，吹气嘴设于压叶轮附近用于吹动压叶轮进行转动。通过上述方式，本发明气浮式压叶轮动平衡检测工装结构简单，装配方便，检测过程准确可靠，能最大程度检测出压叶轮的不平衡量，使其达到允许的平衡精度等级，使因此产生的机械振动幅度降在允许的范围内。
气浮式压叶轮动平衡检测工装

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