“气体线路”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1252726个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]利用燃料气体来吹扫闲置的燃料气体线路-CN201310210204.3有效
发明人： D.M.埃里克森;R.L.布鲁克斯;D.S.拜尔德;J.R.劳 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F02C7/22 文献下载
摘要：公开了一种利用燃料气体来吹扫闲置的燃料气体线路的方法。在一方面，存在向燃料气体线路供应燃料的燃料气体供应。各联接到燃料气体线路之一的气体控制阀控制从燃料气体供应到燃料气体线路的燃料气体流。燃料吹扫系统用来自燃料气体供应的燃料气体来选择性地吹扫燃料气体线路之中闲置的燃料气体线路。
利用燃料气体来吹扫闲置线路

[发明专利]一种便携式紫外吸收法臭氧气体监测系统-CN202011214405.7在审
发明人：张栩;郭炜;叶花;于哲;刘盼 -专利权人：中节能天融科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种便携式紫外吸收法臭氧气体监测系统。该监测系统包括气体输入线路、气体涤除线路、气体直通线路、气体检测线路以及加热设备；气体输入线路分别与气体涤除线路的输入端以及气体直通线路的输入端相连通；气体涤除线路的输出端以及气体直通线路的输出端分别与气体检测线路相连通；加热设备设于气体涤除线路中的臭氧涤除器的外表面；加热设备用于加热臭氧涤除器，增大了臭氧涤除器中催化剂吸收臭氧的效率，使臭氧涤除器能够在设定时间内涤除干净臭氧，提高了测量数据的准确性，无需重复更换臭氧涤除器
一种便携式紫外吸收臭氧气体监测系统

[实用新型]一种便携式紫外吸收法臭氧气体监测系统-CN202022516369.1有效
发明人：张栩;郭炜;叶花;于哲;刘盼 -专利权人：中节能天融科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便携式紫外吸收法臭氧气体监测系统。该监测系统包括气体输入线路、气体涤除线路、气体直通线路、气体检测线路以及加热设备；气体输入线路分别与气体涤除线路的输入端以及气体直通线路的输入端相连通；气体涤除线路的输出端以及气体直通线路的输出端分别与气体检测线路相连通；加热设备设于气体涤除线路中的臭氧涤除器的外表面；加热设备用于加热臭氧涤除器，增大了臭氧涤除器中催化剂吸收臭氧的效率，使臭氧涤除器能够在设定时间内涤除干净臭氧，提高了测量数据的准确性，无需重复更换臭氧涤除器
一种便携式紫外吸收臭氧气体监测系统

[发明专利]半导体制造设备及其维护方法-CN201210312765.X在审
发明人：巴文林;施海铭;曹玖明;杜廷卫 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-08-29 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：根据本发明的半导体制造设备包括：处理腔室、气体源以及气体线路；其中，所述气体线路的第一端连接至所述气体源，并且所述气体线路的第二端连接至所述处理腔室，从而向处理腔室提供工艺气体；所述半导体制造设备还包括布置在所述气体线路上的阀门；所述阀门用于关闭或者打开所述气体线路。优选地，所述阀门布置在所述气体线路的连接至所述处理腔室的位置处。根据本发明，能够在对半导体制造设备进行定期维护或者不定期维护时，有效防止气体线路由于暴露至大气而与大气中的水汽等作用，由此有效防止气体线路受到污染。
半导体制造设备及其维护方法

[发明专利]用于基板处理腔室的气体输入系统-CN201980057950.9有效
发明人： T·乌拉维;T·布里彻;A·K·班塞尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：所述基板处理系统包括阀系统，所述阀系统流体耦接到所述处理腔室，并且被配置成控制进入所述处理腔室中的气体的流量。所述阀系统包括主流动线路和第一气体源流动线路，所述第一气体源流动线路通过第一气体源阀流体耦接到所述主流动线路。所述阀系统包括第二气体源流动线路，所述第二气体源流动线路通过第二气体源阀流体耦接到所述主流动线路。所述第一气体源阀和所述第二气体源阀串联式定位在所述主流动线路内。
用于处理气体输入系统

[发明专利]气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置-CN202011267533.8在审
发明人：郑和俊;北邨友志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开提供一种气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置，能够响应性良好地分配气体。该气体供给系统被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与气体源之间，并且具有：流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，第一线路将气体源与第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，第二线路将气体源和第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中第一节流孔和第二节流孔具有相同的尺寸；以及控制部，其构成为控制各流量调整线路中的第一阀和第二阀的开闭。
气体供给系统及其控制方法等离子体处理装置

[发明专利]气体分离系统及富化气体的制造方法-CN201510145654.8有效
发明人：福田叙彦;中村智英 -专利权人：宇部兴产株式会社
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： B01D53/22 文献下载
摘要：提供一种在维持作为目的的气体的高回收率的同时、能够使系统整体的膜面积减小的气体分离系统。将第1单元(11)的非透过气体排出口(11b)和第2单元(12)的气体入口(12a)用非透过气体排出线路(14)连结。将第1单元的透过气体排出口(11c)和第3单元的气体入口(13a)用透过气体排出线路(15)连结。在第1单元的气体入口(11a)上连结原料混合气体供给线路(16)。将第2单元(12)的透过气体排出口(12c)和原料混合气体供给线路(16)用透过气体返回线路(17)连结。将第3单元(13)的非透过气体排出口(13b)和原料混合气体供给线路(16)用非透过气体返回线路(18)连结。
气体分离系统制造方法

[发明专利]气体供给装置及块状凸缘-CN200910174923.8无效
发明人：井上贵史;西村康典 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2009-11-03 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。
气体供给装置块状凸缘

[发明专利]气动输电线路、通信线路清理实现装置-CN201210571852.7无效
发明人：华晓勤 -专利权人：苏州金纳信息技术有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本专利涉及一种气动输电线路、通信线路清理实现装置，特别涉及一种利用高压压缩空气清理输电线路、通信线路实现装置。气体压缩机(101)，储气罐(102)，气体输送管(103)，气体喷嘴(104)，气体控制阀(105)；气体压缩机(101)将空气压缩入储气罐(102)，移动气体输送管(103)和气体喷嘴(104)，使气体喷嘴(104)对准输电线路的连接杆上的绝缘子，打开气体控制阀(105)，利用高压气体吹散绝缘子上的积灰和结晶，从而消除输电线路的闪烁，避免因输电线路闪烁而跳闸；气体输送管(103)采用绝缘性能好、强度高、韧性好的塑料或复合材料
气动输电线路通信线路清理实现装置

[发明专利]用于测量气体中油蒸汽或其它烃类含量的测量装置及测量方法-CN201910599099.4在审
发明人：托马斯费舍尔;李隆庆 -专利权人：希尔思仪表（深圳）有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于测量气体中油蒸汽或其它烃类含量的测量装置及测量方法，所述测量装置包括：PID传感器；与所述PID传感器并联连接的第一气体线路和第二气体线路，所述第一气体线路和第二气体线路均在一端连接到采样气入口，且各自在另一端可操作地连接到所述PID传感器的气体入口；其中，所述第一气体线路和第二气体线路上沿着气体流动方向分别设置有用于选择性地切换的第一阀和第二阀；其中，所述第二气体线路上沿着气体流动方向在所述第二阀的下游设置有零点校准过滤器，所述零点校准过滤器用于过滤除去气体中的油蒸汽或其它烃类。
气体线路测量测量装置烃类气体流动方向过滤器零点校准蒸汽采样气入口并联连接可操作地气体入口误差纠正一端连接灵活的油蒸汽校准过滤便利

[实用新型]用于测量气体中油蒸汽或其它烃类含量的测量装置-CN201921034373.5有效
发明人：托马斯·费舍尔;李隆庆 -专利权人：希尔思仪表（深圳）有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种用于测量气体中油蒸汽或其它烃类含量的测量装置，所述测量装置包括：PID传感器；与所述PID传感器并联连接的第一气体线路和第二气体线路，所述第一气体线路和第二气体线路均在一端连接到采样气入口，且各自在另一端可操作地连接到所述PID传感器的气体入口；其中，所述第一气体线路和第二气体线路上沿着气体流动方向分别设置有用于选择性地切换的第一阀和第二阀；其中，所述第二气体线路上沿着气体流动方向在所述第二阀的下游设置有零点校准过滤器，所述零点校准过滤器用于过滤除去气体中的油蒸汽或其它烃类。
用于测量气体中油蒸汽其它含量装置

[发明专利]测量液态金属中气体含量的装置和方法以及所应用的探头-CN201610150739.X在审
发明人：雅克·普勒塞尔斯;约瑟夫·马蒂·梅斯 -专利权人：贺利氏电子耐特国际股份公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G01N33/20 文献下载
摘要：一种测量液态金属中气体含量的装置包括浸入液态金属的探头，探头包括：气体供应线路，其在探头一端开通；气体收集部分，其收集气体并且设置有隔膜；气体移除线路，其与气体收集部分流体连通；气体回路，其具有第一端和第二端，第一端与气体供应线路流体连通，第二端与气体移除线路流体连通；至少一个气体检测器，其与气体回路流体连通；气体移动装置，其与气体回路流体连通且使气体移动；测枪，气体回路的至少一部分延伸穿过测枪；以及快速连接接头，其具有能联接的两个部分，测枪包含快速连接接头的一部分，探头包含快速连接接头的其余部分，快速连接接头在联接状态下提供气体供应线路和气体移除线路与气体回路中的第一端和第二端的气密连接。
测量液态金属气体含量装置方法以及应用探头

[发明专利]清洁液体喷嘴、清洁设备和使用其制造半导体装置的方法-CN201910381619.4在审
发明人：金昊永;金彩姈;金兑洪;金荣俊;尹普彦;韩率;金俊吾 -专利权人：三星电子株式会社;首尔大学校产学协力团
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：清洁设备包括气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴连接到气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴将清洁液体施加到基板上。位于喷嘴的主体的顶部处的气体注入口连接到气体供应线路。第一清洁液体注入口设置在喷嘴主体的侧壁上并连接到清洁液体供应线路。流体排出口设置在喷嘴主体的底部，并排出气体和清洁液体。喷嘴主体的内部通道将气体注入口和第一清洁液体注入口中的每一个连接到流体排出口。
清洁液体气体供应线路流体排出口供应线路喷嘴主体喷嘴气体注入口注入口内部通道清洁设备侧壁基板施加

[发明专利]燃料电池发电系统以及燃料电池发电系统的控制方法-CN202180072238.3在审
发明人：岩田光由;町田考洋;久留长生 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01M8/04 文献下载
摘要：燃料电池发电系统具备：第一燃料电池；以及第二燃料电池，经由废燃料气体线路与第一燃料电池的下游侧连接，能够使用来自第一燃料电池的废燃料气体产生电力。在废燃料气体线路上，设置能够回收废燃料气体中包含的水分的水分回收器。废燃料气体线路中的水分回收器的上游侧以及下游侧通过旁通线路连通，在废燃料气体线路或者旁通线路的至少一方设置至少一个流量调整阀。
燃料电池发电系统以及控制方法

[实用新型]气喷式输电线路清理实现装置-CN201220725718.3有效
发明人：华晓勤 -专利权人：苏州金纳信息技术有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： H02G1/02 文献下载
摘要：本专利涉及一种气喷式输电线路清理实现装置，特别涉及一种利用高压压缩空气清理输电线路、通信线路实现装置。气体压缩机(101)，储气罐(102)，气体输送管(103)，气体喷嘴(104)，气体控制阀(105)；气体压缩机(101)将空气压缩入储气罐(102)，移动气体输送管(103)和气体喷嘴(104)，使气体喷嘴(104)对准输电线路的连接杆上的绝缘子，打开气体控制阀(105)，利用高压气体吹散绝缘子上的积灰和结晶，从而消除输电线路的闪烁，避免因输电线路闪烁而跳闸；气体输送管(103)采用绝缘性能好、强度高、韧性好的塑料或复合材料
气喷式输电线路清理实现装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条