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[发明专利]蚀刻气体的控制系统-CN201010247286.5有效
发明人：高诚庸;金珉植;李炳日;文熙锡;李洸旼;金起铉;李元默 -专利权人：显示器生产服务株式会社
申请日： 2010-07-30 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种蚀刻气体的控制系统。所述的控制系统包括一个质量流动控制单元，一个流率控制单元和一个调节气体控制单元。所述的质量流动控制单元控制输入到内室中的蚀刻气体的质量流动。所述的流率控制单元将蚀刻气体输配给与质量流动控制单元相连、并安装在内室中的一个顶部气体注射器和一个侧部气体注射器。所述的调节气体控制单元向质量流动控制单元和流率控制单元输配并补充一种外加气体和调节气体，这些气体能调节内室中等离子体的离子密度和分布。
蚀刻气体控制系统

[发明专利]气体作动元件测试装置-CN200410069924.3无效
发明人：罗哲伦;谢治洪;李建勋;徐铭传 -专利权人：精碟科技股份有限公司
申请日： 2004-07-19 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以测试一待测的气体作动元件的测试装置，包含数个气体输出单元、至少一出气压力控制单元、一作动行程时间控制单元以及至少一作动次数控制单元，气体输出单元的一端连结于气体作动元件，以输出气体，出气压力控制单元控制输出至气体作动元件的压力，作动行程时间控制单元控制气体作动元件的作动时间，作动次数控制单元控制气体作动元件的作动次数。
气体元件测试装置

[发明专利]汽车气体侦测装置-CN202110703532.1在审
发明人：杨正 -专利权人：飞普拉斯有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： B60H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种汽车气体侦测装置，其包括控制单元、气体侦测单元、警示单元及电源连接单元。气体侦测单元电性连接于控制单元，气体侦测单元能够侦测车辆内部的气体浓度；警示单元电性连接于控制单元；电源连接单元电性连接于控制单元以及车辆的电源；由此，当车辆内部的气体浓度大于一预设阈值时，控制单元能够启动警示单元发出警示效果
汽车气体侦测装置

[发明专利]一种气体检测管自动检测仪-CN202211095027.4在审
发明人：韦雪山;赵丰;覃全佺;陈跃;薛惠方;文江;卢金鑫;王霄维;张海韵 -专利权人：广西电网有限责任公司来宾供电局
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明公开一种气体检测管自动检测仪，包括流量自动控制单元、气路控制单元、气体检测管、计算控制单元、影像单元以及面板；所述流量自动控制单元用于控制电气设备中的SF6气体通入气路；所述气路控制单元内设有支路通道；所述气路控制单元连接所述所述流量自动控制单元，用于控制SF6气体通气或切断；所述计算控制单元根据输入的流量、体积数据自动计算经过所述气体检测管的气体体积，当体积达到后，所述气路控制单元自动切断气路；所述影像单元用于对气体检测管进行扫描定位，定位到变色过渡区时进行拍照。本发明通过对流量的自动控制、气体体积的自动计算控制以及软件智能读值计算方法，实现在工作现场方便快捷地检测气体检测管。
一种气体检测自动检测

[实用新型]一种TRACK机台工作环境参数控制装置-CN202222939830.3有效
发明人：朱洪辉 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种TRACK机台工作环境参数控制装置，属于半导体制造领域，包括TRACK机台、温度控制单元、湿度控制单元、压力控制单元、气体发生单元、过滤单元以及用于检测TRACK机台内温度、湿度以及压力的工作环境监控器温度控制单元设置在TRACK机台的顶部和底部，气体发生单元、过滤单元、湿度控制单元依次连接设置在所述TRACK机台的侧面，气体发生单元的前端与TRACK机台底部的温度控制单元的后端连接，TRACK机台底部的温度控制单元的前端连接有气体入口，湿度控制单元的后端与TRACK机台顶部的温度控制单元连接，压力控制单元设置在温度控制单元上。本实用新型可以实现有效控制并稳定制程参数。
一种 track 机台工作环境参数控制装置

[实用新型]一种数字信号与电源叠加的两总线气体探测报警控制系统-CN201520481827.9有效
发明人：李刚 -专利权人：北京刚佳杰利科技有限公司
申请日： 2015-07-07 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G08B21/12 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种数字信号与电源叠加的两总线气体探测报警控制系统，包括多个气体探测单元、多个声光报警单元、气体报警控制单元、控制输出装置单元。其中气体探测单元与气体报警控制单元两总线相连，气体报警控制单元与多个气体探测单元之间的信号传输线与两条电源线共用，两总线可同时驱动多个气体探测单元和声光报警单元，气体探测单元与声光报警单元相连，控制输出设备单元与气体报警控制单元相连，气体报警控制单元可以与其它外接受控设备相连。
一种数字信号电源叠加总线气体探测报警控制系统

[实用新型]一种用于温室气体水汽校正测试的系统-CN202320198801.8有效
发明人：董一雷;梁苗;娄梦筠;李莹;李明 -专利权人：中国气象局气象探测中心
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于温室气体水汽校正测试的系统，包括：通过气路依次连接的进气控制单元、水汽控制单元和待测仪器，所述进气控制单元用于控制接通待测气体使得待测气体通过进气控制单元进入所述水汽控制单元；所述水汽控制单元用于将待测气体加湿至额定露点温度以及对加湿后的待测气体进行水汽处理得到不同水汽含量的待测气体；所述待测仪器用于采集经过水汽控制单元处理后的待测气体的浓度数据。该用于温室气体水汽校正测试的系统，可以调整进入温室气体分析仪器气体的湿度，从而测量在不同样品湿度下的设备的水汽校正偏差。
一种用于温室气体水汽校正测试系统

[发明专利]一种敏捷机器人-CN202111584508.7在审
发明人：李贤举 -专利权人：中国农业银行股份有限公司山东省分行
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种敏捷机器人，包括：躯干部、下肢部、头部、上肢部；躯干部内设置有处理单元、能源单元、气体控制单元、液体控制单元；下肢部与躯干部铰接，并通过气体管路与气体控制单元连接，以及通过液体管路与液体控制单元连接；头部与躯干部铰接，并通过气体管路与气体控制单元连接，以及通过液体管路与液体控制单元连接；上肢部通过肩转动部与躯干部铰接，肩转动部的表面缠绕有拉线，拉线上包裹有肌肉元件；肌肉元件与气体控制单元以及液体控制单元连接，以通过气体和/或液体控制肌肉元件的形变，进而通过肌肉元件带动所述拉线的形变，以实现通过拉线带动肩转动部进行转动。
一种敏捷机器人

[发明专利]具有模块化设计的气体控制单元和模块化气体控制阀-CN201480009295.7在审
发明人：恩诺·简·罗力克;汉斯·约阿希姆·克林克;罗兰·克贝尔 -专利权人： EBM-帕普斯特兰茨胡特有限公司
申请日： 2014-02-18 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： F23N5/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有模块化设计的气体控制单元、具体地说用于控制待进料至气体燃烧器的气体的量的气体控制单元，所述气体控制单元具有气动地控制的气体控制阀，所述气体控制阀总体上被配置为模块并且可与气体安全阀一起在这样的具有模块化设计的气体控制单元中使用
具有模块化设计气体控制单元

[发明专利]采煤机滚筒截割保护系统及方法-CN201911178721.0在审
发明人：闫鹏飞;魏红亮;郝尚清;李维伟;刘涛;刘泽平;崔根伟;高欣;曹兴;张宇;刘娟娟;李瑞锋;庞俊峰;武仕源;赵灵 -专利权人：太重煤机有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： E21C35/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种采煤机滚筒截割保护系统及方法，所述系统包括：遥控单元、防火花控制单元、采煤机控制单元、喷雾单元和惰性气体喷射单元；遥控单元和采煤机控制单元连接，采煤机控制单元用于控制采煤机的行走和截割作业；遥控单元和防火花控制单元连接，防火花控制单元和喷雾单元和惰性气体喷射单元连接，用于控制喷雾单元和惰性气体喷射单元工作；喷雾单元，用于向截割区域喷射雾化水；惰性气体喷射单元，用于向截割区域喷射惰性气体。本发明的采煤机滚筒截割保护系统及方法，通过雾化水和惰性气体进行双重保护，避免发生瓦斯燃烧或爆炸，安全性较高。
采煤滚筒保护系统方法

[发明专利]一种纳米气泡形成系统及形成方法-CN202111272856.0在审
发明人：马士禹 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B01F23/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米气泡形成系统，包含气泡快速分级单元、气体置换单元、液体注入单元、气体输入单元、气体分散单元、气泡微细化单元、温度控制单元、压力控制单元和系统控制单元；气体置换单元、液体注入单元、气体输入单元、气泡微细化单元分别通过管道与气泡快速分级单元连通；气体输入单元通过管道与气体分散单元连通；气体分散单元与气泡微细化单元连通；温度控制单元调控纳米气泡形成系统的温度；压力控制单元通过改变第一腔体的容积调控纳米气泡形成系统的内部液体的压力；系统控制单元调控纳米气泡形成系统的运作。
一种纳米气泡形成系统方法

[发明专利]一种氢气浓度检测方法、装置及系统-CN202310476347.2在审
发明人：曹敬伟 -专利权人：北京惠朗时代科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：方法由氢气浓度检测装置执行，包括金属钯传感器单元、加热单元、流速检测单元和控制单元，其中，金属钯传感器单元、加热单元、流速检测单元与控制单元通信连接，氢气浓度检测装置设置在气体流通管道内，方法包括：通过流速检测单元获取气体流通管道内的当前气体流速值，并将当前气体流速值发送给控制单元；通过控制单元，根据当前气体流速值，控制加热单元对金属钯传感器单元进行加热；通过控制单元获取金属钯传感器单元的电阻变化值；通过控制单元根据电阻变化值确定气体流通管道内的氢气浓度值
一种氢气浓度检测方法装置系统

[实用新型]工具机用的油气润滑装置-CN202120731643.9有效
发明人：李智伟;洪秉贤 -专利权人：釸达精密股份有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： F16N7/32 文献下载
摘要：本实用新型关于一种工具机用的油气润滑装置，包括一基板、一气体控制单元、一油路控制单元及一混合单元。该基板组接于一工具机。该气体控制单元，设于该基板并供连通一气体源，包括一降温脱水装置，该降温脱水装置将气体进行降温及干燥。该油路控制单元设于该基板，包括一油槽。该混合单元设于该基板，包括一混合槽及连通于该混合槽的至少一混合出口，该混合槽另连通该油路控制单元及该气体控制单元。本实用新型通过将该气体控制单元、该油路控制单元及该混合单元直接装设于该基板，可有效地进行整合且可缩小该工具机用的油气润滑装置的体积，以避免占用空间。
工具机油气润滑装置

[发明专利]用于分离气体的方法和装置-CN201380015113.2在审
发明人： P·J·埃尔曼 -专利权人：阿特拉斯·科普柯空气动力股份有限公司
申请日： 2013-03-05 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： B01D53/22 文献下载
摘要：一种用于分离气体的装置，包括以下部件：用于气体的源和流调节构件；用于产生渗透气体和滞留气体的隔膜单元(6)，所述渗透气体和所述滞留气体中的一者为产品气体；用于确定产品气体纯度的确定构件；用于装置的第一控制单元(13)；滞留控制系统(19)和产品气体压力测量件，其中，所述源具有根据气体的目标数值用于流调节构件的第二控制单元(16)，并且第一控制单元(13)连接至第二控制单元以及连接至滞留控制系统(19)，从而第一控制单元(13)可确定目标数值并且可控制滞留控制系统(19)。
用于分离气体方法装置

[发明专利]气体系统-CN201110409679.6无效
发明人：叶芷飞;梁秉文 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明实施例提了一种气体系统，包括：设置有第一气体控制单元的第一气体管路，所述第一气体控制单元用于控制所述第一气体管路上的气体流量或气体压力；设置有第二气体控制单元的第二气体管路，所述第二气体控制单元用于控制所述第二气体管路上的气体压力；气体压力平衡控制单元，跨接于所述第一气体管路和第二气体管路之间，用于产生压力控制信号，该压力控制信号作为第二气体控制单元的输入信号，使得所述第二气体管路与所述第一气体管路的气体压力保持平衡，从而使得第一气体管路和第二气体管路的气体压力基本不会波动，使得反应腔室的源气体的浓度以及质量的稳定，提高了外延工艺的稳定性和重复性，改善了形成的外延材料层的质量。
气体系统

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