|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 8732471个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种晶圆贴膜机-CN202121247640.4有效
-
陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛
-
河南通用智能装备有限公司
-
2021-06-04
-
2021-11-23
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆贴膜机，涉及晶圆贴膜机技术领域，具体为一种晶圆贴膜机，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有固定柱，所述固定柱的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有移动块，所述移动块的一侧固定安装有直齿条该晶圆贴膜机,通过通过第二弹簧和夹紧板的设置，使该晶圆贴膜机具备了对不同直径的晶圆进行固定，并且可以对多种晶圆进行贴膜的效果，通过滑槽、移动块、直齿条、第一弹簧、推动架、齿轮盘、安装槽、第二弹簧和夹紧板的配合设置，在使用的过程中可以对不同直径的晶圆进行固定，从而可以对多种晶圆进行贴膜，从而起到了使用范围广的作用，并且达到了生产成本低的目的。
- 一种晶圆贴膜机
- [发明专利]一种新的晶圆贴膜工艺-CN202111132834.4有效
-
殷泽安
-
东莞市译码半导体有限公司
-
2021-09-27
-
2022-11-25
-
H01L21/683
- 本发明涉及晶圆贴膜技术领域，具体为一种新的晶圆贴膜工艺，包括工作台，所述工作台的内部下侧有承载板，所述承载板的端部设置有真空机，所述工作台的端部设置有贴膜组件，所述贴膜组件包括真空贴膜台、支撑柱、晶圆主体、定位架、定位轴、衔接杆、第一转接轴、转接杆、定位块、第二转接轴、真空罩和电动伸缩杆，通过电动伸缩杆的驱动端通过定位圆轴与转接杆滑动连接，能够使真空罩与真空贴膜台的连接运行简单方便，通过定位块能够使真空罩与真空贴膜台的压合连接稳定性高，通过真空罩与真空贴膜台对应适配设置，能够使晶圆主体的真空贴膜效果较好，通过利用真空吸附使晶圆主体同膜贴合效果好，能够使晶圆主体的贴膜效率和质量高。
- 一种晶圆贴膜工艺
|
