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[发明专利]图案修正装置及图案修正方法-CN201110261129.4无效
发明人：小池孝志 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：一种图案修正装置，即便在基板表面带电的情形下，也能以简单的结构正确地修正缺陷部。该图案修正装置是对形成于绝缘基板(6)表面的导电性图案(7)的开放缺陷部(7a)进行修正的装置，包括：对缺陷部(7a)喷射加湿气体以局部提高缺陷部(7a)及其附近的湿度的加湿喷嘴(11)；以及在从加湿喷嘴
图案修正装置方法

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201210044683.1无效
发明人：菊池浩明 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种可在包含斥液剂的膜上形成对准标记的图案形成装置及图案形成方法。一种在基板上形成规定图案的图案形成装置，其包括：标记曝光部，对于基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；标记印刷部，在标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成对准标记；还包括：标记检测部，检测对准标记而获得对准标记的位置信息；调整部，基于对准标记的位置信息而改变膜上所形成的图案的位置或者改变基板的位置，从而调整形成图案的位置；图像形成部，在膜上形成图案。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN201110165129.4无效
发明人：岩岛正信;真田雅和;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-06-10 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成方法和图案形成装置，在从相对于基板表面移动的喷嘴涂敷含有图案形成材料的涂敷液而在基板上形成规定的图案的图案形成技术中，形成图案宽度和端部位置稳定的图案。在基板上涂敷涂敷液来形成线条状图案时，从比本来的起始端位置(X1)靠内侧的位置(X0)并且使喷嘴与基板的间隙量小于图案高度的值(G0)，来开始喷出涂敷液。然后，使喷嘴一边离开基板一边向基板外侧移动，在图案起始端位置(X1)使移动方向反向。在末端附近，一边降低涂敷液的喷出量一边使喷嘴接近基板，在图案末端位置(X3)，使喷嘴离开并且使移动方向反向。
图案形成方法装置

[发明专利]图案修正方法及图案修正装置-CN200710148861.4无效
发明人：小池孝志;清水茂夫 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2007-09-04 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种可用10μm左右的细线来修正断线缺陷部等、且缺陷部周围的污染小的图案修正方法。在所述图案修正方法中，在膜(3)的表面上照射激光来形成通孔(3a)，使通孔(3a)的膜(3)表面侧的开口部与缺陷部(2a)空开规定间隙(G)地对置，在包括通孔(3a)在内的规定范围内将膜(3)推压在基板
图案修正方法装置

[发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN200510113756.8无效
发明人：矢部学 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-10-14 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。
图案形成方法装置

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN200710096856.3无效
发明人：杉浦好典;西川潤;中岡良一;金田知佳;原田昭人 -专利权人：井上株式会社;巨腾国际控股有限公司;三有限公司
申请日： 2007-04-05 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：在涂膜上形成图案的情况下，含有磁性体的涂料涂覆到被涂饰物上，形成涂膜，沿着该涂膜的表面，配置有多个片状磁铁。相邻的片状磁铁，以片状磁铁的侧面互相接触的状态配置，以使其表面的磁极和背面的磁极各不相同。此时，光被涂膜中的磁性体反射，形成图案。
图案形成装置方法

[实用新型]舞台灯图案叠加双旋转图案盘-CN201820786185.7有效
发明人：冯圣勋;韦郁超 -专利权人：广州市珠江灯光科技有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： F21S10/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舞台灯图案叠加双旋转图案盘，包括旋转盘体、第一驱动轮、第二驱动轮、盘体轴套、旋转轴套、第一图案盘、第二图案盘，旋转、第一驱动轮、第二驱动轮分别具有第一通孔、第一轴孔、第二轴孔，盘体轴套依次穿过第一轴孔、第一通孔、第二轴孔，旋转盘体与盘体轴套固定连接，第一驱动轮、第二驱动轮分别与盘体轴套旋转连接；旋转盘体设有案盘孔，第一图案盘、第二图案盘分别安装在案盘孔上，第一图案盘、第二图案盘相抵近叠加穿过案盘孔，该舞台灯图案叠加双旋转图案盘可实现两个图案叠加的静态和动态效果，结构紧凑、安装调整简便，运转平稳，故障率低，易于维护。
图案盘驱动轮图案叠加盘体轴套舞台灯旋转盘体双旋转第二轴第一轴案盘通孔本实用新型穿过安装调整动态效果啮合连接旋转连接旋转轴套故障率盘孔叠加相抵运转维护

[发明专利]用于低剖面基板的图案间图案-CN201580019675.3在审
发明人： H·B·蔚;C-K·金;D·W·金;J·S·李;K-P·黄;Y·K·宋 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：公开了包括形成在第一图案化金属层中间的第二图案化金属层的集成电路(IC)基板。形成在第一图案化金属层上的介电层将这两个金属层分隔开。非导电层形成在介电层和第二图案化金属层上。
用于剖面图案

[发明专利]图案、带图案的基材及触摸面板-CN201580058602.5在审
发明人：大屋秀信;山内正好;新妻直人 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本发明的技术问题在于提供能够提高透过透明基材观察两面的图案时的低可视性的图案、带图案的基材及触摸面板，其通过下述图案以及使用它的带图案的基材及触摸面板来解决一种图案，具有功能性，在透明基材的两面具有一组以上含有导电性材料的两条一组的平行线
图案基材触摸面板

[发明专利]用于优化图案化装置图案的方法-CN201780065717.6在审
发明人： D-F·S·徐;李小阳 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G03F1/70 文献下载
摘要：一种用于优化图案化装置图案的方法，该方法包括：获得具有多个多边形的初始设计图案；使多边形中的至少一些多边形有效地彼此连接；将评估特征放置在多边形的边界之外；以及基于评估特征来创建跨越已连接的多边形的图案化装置图案
图案化装置评估特征图案彼此连接设计图案有效地优化创建

[发明专利]图案测量装置以及图案测量方法-CN201280034653.0有效
发明人：柴原琢磨;及川道雄;北条穣;菅原仁志;新藤博之 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明提供一种图案测量装置，以及图案测量方法，可削减OPC model calibration所需的计算时间、且使精度提高。图案测量装置具备：存储半导体的电路图案的掩模边缘数据以及拍摄了电路图案的图像数据的存储部；以图像数据作为输入而提取电路图案的SEM(Scanning Electron Microscope)轮廓线，基于掩模边缘数据和提取的
图案测量装置以及测量方法

[发明专利]图案形成方法及图案形成设备-CN201180044646.4有效
发明人：儿玉淳 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： B05D1/26 文献下载
摘要：提供一种图案形成方法和图案形成装置，该方法和装置能够在使用喷墨方法来形成精细图案时通过防止图案模糊来形成满意的精细图案。该图案形成方法包括改性处理过程和液滴配置过程。在改性处理过程中，将宽度小于图案形成点（26）的直径的光束（20）引导到目标处理区域上以由此对目标处理区域进行改性。目标处理区域对应于在基板（10）的图案形成表面（10A）上形成的图案（12），并且在宽度方向上，该目标处理区域包括在图案形成表面（10A）中的图案形成区域的两侧处的外边缘。在液滴配置过程中，使用喷墨方法将功能性液体的液滴喷射并配置到包括被改性的目标处理区域的图案形成区域中。
图案形成方法设备

[发明专利]图案的形成方法、图案和元件-CN201080016856.8有效
发明人：下田达也;松木安生;川尻陵;增田贵史;金田敏彦 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： H01L21/208 文献下载
摘要：本发明涉及图案的形成方法，该方法包括下述步骤：步骤一，在基板和图案状模的间隙配置选自氢化硅化合物和卤化硅化合物的至少一种硅烷化合物；步骤二，对配置的上述硅烷化合物实施选自热处理和紫外线照射处理的至少一种处理通过在惰性气氛或还原性气氛下进行上述步骤二，可以形成包含硅的图案；通过在含氧气氛下进行上述步骤二的至少一部分，可以形成包含硅氧化物的图案。
图案形成方法元件

[发明专利]图案形成装置和图案形成方法-CN200880000057.4无效
发明人：川村信雄;小野寺诚;平原祥子;五百井俊雄;石井浩一 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2008-01-29 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： B41M1/42 文献下载
摘要：一种图案形成装置，能把具有图案状的通孔(22)的掩模版(20)贴紧在前面板(10)的内面上，使通孔(22)与前面板(10)的凹部(15)的内侧对位。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成方法及图案形成装置-CN200580044990.8无效
发明人：汤本好英 -专利权人：来百克有限公司
申请日： 2005-12-27 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： B29D11/00 文献下载
摘要：本发明是印刷在基材上的画像通过图案观察时能产生立体视觉效果，波纹效果等特殊视觉效果的图案形成方法，以提供可应用在CCD摄像元件，液晶显示屏，等离子显示屏，有机EL显示装置等装置上的图案形成方法及图案形成装置为课题本发明是关于形成在基材表面的图案形成用区画线之间，使前记形成有图案形成区画线的基材的表面朝下的状态下涂抹与形成图案形成用区画线用的成型树脂相溶性小又或完全不相溶的图案成型用树脂组成物，因为在朝下的基材的表面维持着图案成型用树脂被保持的状态，因而使在图案形成用树脂区画线之间的图案成型用树脂组成物呈下凸形状，下面的凸状的图案成型用树脂组成物硬化而形成图案为特征的图案形成方法，还有图案成型装置。
图案形成方法装置