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[实用新型]封框胶固化设备-CN201020155423.8有效
发明人：朱海波 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2010-04-06 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：该封框胶固化设备包括掩膜板载台和灯源，其中：所述灯源设置在所述掩膜板载台的下方，所述掩膜板载台的上表面用于承载掩膜板，所述灯源从所述掩膜板的下方照射所述掩膜板上方的液晶面板。采用本实用新型的技术方案，掩膜板载台在下方承载掩膜板，解决了现有技术对掩膜板吸附不牢固易脱落的问题，能够避免脱落损伤掩膜板载台，也能够避免掩膜板中部脱落造成的掩膜板和液晶面板之间位置偏移，从而能够提高掩膜板载台的工作可靠性
封框胶固化设备

[发明专利]一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架-CN201810099588.9有效
发明人：张斌;王新星;周婷婷;孙雪菲;王伟杰;朱海彬 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架，涉及掩膜蒸镀技术领域，能够解决现有的掩膜板在掩膜蒸镀工艺中，掩膜板上产生的褶皱使形成膜层的图案边缘出现偏差的问题。在精细金属掩膜板上设置有掩膜图案区域，精细金属掩膜板还包含沿掩膜图案区域的至少一侧边缘、且与该边缘相接的保护区域，保护区域的厚度小于掩膜图案区域的厚度。
一种精细金属掩膜板及其制备方法集成框架

[发明专利]掩膜板框架组件和掩膜板模组-CN201810612835.0有效
发明人：张健;黄俊杰;王震;李冬伟;赵蓉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种用于蒸镀的掩膜板框架组件，所述掩膜板框架组件包括框架和开口掩膜板，所述开口掩膜板包括掩膜板本体和设置在所述掩膜板本体边缘处的多个固定条，所述框架包括框架本体，其中，所述开口掩膜板与所述框架层叠设置，且所述掩膜板本体的一部分与所述框架本体重叠，所述固定条位于所述框架本体上。本发明还提供一种掩膜板模组。所述掩膜板模组中的图像化掩膜板结构稳定，不容易产生变形。
掩膜板框架组件模组

[发明专利]一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板-CN201710876522.1有效
发明人：李洁;卢冠宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板。掩膜板图形的制备方法包括：使用密封剂封堵掩膜板上的一部分蒸镀孔，使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形。采用密封剂将掩膜板上的一部分蒸镀孔进行封堵，以使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形，该方法未改变掩膜板的原有结构，且通过封堵蒸镀孔或将已封堵的蒸镀孔内的密封剂去除，即可改变已有的掩膜板图形，无需重新设计和加工掩膜板，与现有技术中在改变掩膜板图形时需要重新设计加工掩膜板的方式相比，本发明提供的掩膜板图形的制备方法可提高掩膜板图形的更换效率，进而提高了有机电致发光显示面板产品的研发和生产效率
一种掩膜板图形制备方法

[发明专利]新型蒸镀掩膜板张紧方法-CN201410161454.7有效
发明人：赵芳;魏锋;任海 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型蒸镀掩膜板张紧方法，第一步、设置掩膜板框架；第二步、在掩膜板框架的纵向上设置纵向骨架，并且张紧，然后焊接；第三步、在掩膜板框架的横向上设置横向骨架，并且张紧，然后焊接；第四步、将子掩膜板安装在铺设好横纵向骨架的掩膜板框架上，并且张紧，然后焊接；第五步、重复第四步，一直到形成一张完成的郑镀掩膜板。本发明具有以下优点：若其中一张子掩膜板上的像素出现问题，可以只将这张子掩膜板撕下来报废后，重新焊接一张新的子掩膜板，这样可以大大降低掩膜板的报废率；在掩膜板焊接之前，掩膜板框架上需要焊接细小的纵横交替的金属骨架，来支撑掩膜板，这样就避免出现因掩膜板下垂而造成的像素变形问题。
新型蒸镀掩膜板张紧方法

[发明专利]金属掩膜板的设计方法、金属掩膜板的制备方法-CN201710452420.7有效
发明人：吴建鹏;丁渭渭;杨忠英;罗昶 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于显示技术领域，具体涉及一种金属掩膜板的设计方法、金属掩膜板的制备方法。该金属掩膜板的设计方法包括步骤：根据所述金属掩膜板在使用时的拉伸力、以及所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变属性，分别计算所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变量；根据所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变量，以与形变量相同、但形变趋势相反的方式补偿所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变。该方法通过计算金属掩膜板的张网收缩率，从而获得金属掩膜板制作时需要的补偿量，进而在金属掩膜板设计时进行补偿，在金属掩膜板的设计初期就考虑金属掩膜板的形变量，设计包含了补偿量的金属掩膜板，降低金属掩膜板的工艺成本
金属掩膜板设计方法制备

[发明专利]掩膜板组件、紫外处理用掩膜板及其制备方法-CN202111273654.8在审
发明人：王洋清;杨雪鑫;陈芸;童俊海;庄珍珍;黄骏;周晖;岳彬;张千 -专利权人：福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种掩膜板组件、紫外处理用掩膜板及其制备方法。掩膜板组件包括：第一掩膜板、第二掩膜板和第三掩膜板；每个掩膜板包括图案区和位于图案区周围的周边遮光区，周边遮光区用于与显示面板的边框区对应；图案区包括用于与显示面板的有效显示区对应的第一图案区、以及与位于有效显示区周围的虚设像素区对应的第二图案区；第一掩膜板的第一透光区、第二掩膜板的第二透光区和第三掩膜板的第三透光区，分布在所属掩膜板的第一图案区和第二图案区中。本申请实施例的掩膜板组件能够用于在显示面板的有效显示区和虚设像素区制备色阻，也能够用于制备紫外处理用掩膜板，扩大了掩膜板组件的应用场景。
掩膜板组件紫外处理用掩膜板及其制备方法

[实用新型]一种掩膜板、显示面板及显示装置-CN202222380811.1有效
发明人：屈晓娟;李冬冬 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种掩膜板、显示面板及显示装置。掩膜板包括，金属掩膜板蒸镀区。金属掩膜板对位区，金属掩膜板对位区包括对位部。金属框架，金属掩膜板蒸镀区和金属掩膜板对位区均设置于金属框架上。其中，掩膜板能够贴合于显示基板，金属掩膜板对位区与显示基板之间的距离大于金属掩膜板蒸镀区与显示基板之间的距离。本实用新型实施例通过分别设置金属掩膜板对位区与基板间的距离以及金属掩膜板蒸镀区与基板间的距离，提高了金属掩膜板蒸镀区与基板之间的贴合平坦度。降低基板与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，以提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。
一种掩膜板显示面板显示装置

[实用新型]掩膜装置及掩膜板冷却系统-CN201520385806.7有效
发明人：王亚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-06-04 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜装置，所述掩膜装置和冷却装置连接，其中，所述掩膜装置包括掩膜板，所述掩膜板的表面开设有第一槽，所述第一槽延伸至所述掩膜板的边缘，且所述第一槽中铺设有导热层，所述导热层的厚度和所述第一槽的深度相等上述掩膜装置能加快对掩膜板的降温，减少掩膜板的温度的变化，进而减少掩膜板在蒸镀过程中引起的变形。
装置掩膜板冷却系统

[发明专利]UV掩膜板及其制作方法与框胶固化系统-CN201710113386.0有效
发明人：刘亚伟;倪奎 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种UV掩膜板及其制作方法与框胶固化系统。本发明的UV掩膜板，包括掩膜框、固定于所述掩膜框上的支撑板、及安装于支撑板上的数个掩膜单元；其中，每一掩膜单元对应一个平面显示面板，所述掩膜框、及支撑板的材料均为不锈钢，与现有技术相比，提高了UV掩膜板的结构强度，每一块掩膜单元的厚度可以减小，且更能耐受撞击，不会产生裂纹，降低了UV掩膜板更换过程中的破损风险；若其中一块掩膜单元破裂，只需要更换这一块掩膜单元，而不用整块更换UV掩膜板，使用成本更低。
uv 掩膜板及其制作方法固化系统

[发明专利]一种掩膜板及其制作方法-CN201310754624.8有效
发明人：谢志生;苏君海;柯贤军;何基强;李建华 -专利权人：信利半导体有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及其制作方法，所述掩膜板应用在有机发光二极管显示装置的真空蒸镀工艺中，包括：掩膜框；固定在掩膜框上的掩膜，掩膜上包括多个掩膜图案块，掩膜图案块包括贯穿所述掩膜的通孔；其中，掩膜上朝向所述掩膜框的表面还包括位于所述掩膜图案块外其他区域的支撑条由于在掩膜图案块外的区域设置了支撑条，支撑条的厚度大于所述掩膜图案块所在区域的厚度，能够在一定程度上为掩膜图案块提供支撑力，从而增强掩膜板的机械强度，避免掩膜板在应力的作用下发生弯曲。同时，本发明还提供一种采用多次刻蚀制作上述掩膜板的方法，能够保证有机材料的蒸镀质量。
一种掩膜板及其制作方法

[发明专利]掩膜板以及掩膜板的组装方法-CN201610438013.6在审
发明人：林治明;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种掩膜板以及掩膜板的组装方法。该掩膜板包括覆盖条、支撑条以及至少一个掩膜片，掩膜片包括一个掩膜区域，整个掩膜区域分布有掩膜图案，覆盖条以及支撑条交叉以将掩膜区域划分为多个掩膜单元。该掩膜片没有设置实部和部分刻蚀部。由此，在掩膜片拉伸的时候，掩膜片不会产生不同程度的褶皱，从而可提高沉积或蒸镀图案的精度，另一方面也可提高掩膜板的良率。
掩膜板以及组装方法

[实用新型]一种掩膜板清洁装置-CN201220542121.5有效
发明人：王灿;王伟杰;何璇;焦士搏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及掩膜板清洁技术领域，公开了一种掩膜板清洁装置，包括：粒子检测室，内部具有粒子检测装置；对掩膜板进行清洁的清洁单元；夹持并移动所述掩膜板的机械手装置。上述掩膜板清洁装置，机械手装置将掩膜板放入粒子检测室内进行检测，通过粒子检测室内的粒子检测装置对掩膜板表面进行检测，处理当掩膜板表面没有粒子污物时，该掩膜板可以直接使用，无需清洁；当掩膜板表面存在粒子污物时，机械手装置将该掩膜板放入清洁单元中进行清洁，将粒子污物去除，无需返回生产厂商进行清洁，缩短掩膜板的清洁周期，提高生产的连续性，提高产率。
一种掩膜板清洁装置

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN201711054173.1有效
发明人：戚海平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板，属于显示技术领域。所述掩膜板包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体上设置有镂空区域，所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起，n≥3。本发明解决了在焊接掩膜板与掩膜框架的过程中，掩膜板会在由焊接产生的应力的作用下发生形变，进而导致掩模板中的镂空区域也会发生形变的问题。本发明用于制造掩膜组件。
掩膜板组件

[发明专利]一种减小Mask形变的掩膜板制作方法、支撑掩膜板及掩膜板-CN202210714861.0在审
发明人：黄世雄;谢涛峰;胡明;郑庆靓;李胤粹;李哲;周俊吉;王鑫 -专利权人：绵阳京东方光电科技有限公司;成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小Mask形变的掩膜板制作方法、支撑掩膜板及掩膜板，具体包括以下步骤：S1、获得张网拉伸后实验支撑掩膜板的至少部分掩膜开口的偏移量；S2、计算所述掩膜开口的位置精度；S3、根据所述掩膜开口的位置精度、偏移量获得对应于掩膜开口的补偿量；S4、根据所述掩膜开口的补偿量，将支撑掩膜板上预设的掩膜开口位置进行补偿处理得到补偿后的掩膜开口位置，并根据补偿后的掩膜开口位置在支撑掩膜板上形成掩膜开口。本发明通过减小四周拉力后，在满足平坦度要求的同时使得框架翘曲量减小，同时减小一体化支撑掩膜板整体垂直度变化的可能性。
一种减小 mask 形变掩膜板制作方法支撑