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- [发明专利]成膜装置以及板-CN202110467079.9在审
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醍醐佳明;梅津拓人;石黑晓夫
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纽富来科技股份有限公司
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2021-04-28
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2021-11-09
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C23C16/455
- 本实施方式提供成膜装置以及板，能够在径向上控制向基板面内供给的工艺气体的浓度、流量。本实施方式的成膜装置具备：成膜室，能够收容基板；气体供给部，具有设置在成膜室的上部并向基板的成膜面上供给工艺气体的多个喷嘴、以及抑制工艺气体的温度上升的冷却部；加热器，将基板加热到1500℃以上；以及板，在成膜室内与形成有多个喷嘴的第1开口部的气体供给部的下表面对置，且与该下表面分离地配置，板包括：多个第2开口部，具有比第1开口部小的直径，且在该板面内大致均匀地配置；以及分隔部，在与气体供给部对置的对置面上突出，将板的面内分隔为多个区域。
- 装置以及
- [实用新型]成膜装置以及板-CN202120901736.1有效
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醍醐佳明;梅津拓人;石黑晓夫
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纽富来科技股份有限公司
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2021-04-28
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2022-01-25
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C23C16/455
- 本实施方式提供成膜装置以及板，能够在径向上控制向基板面内供给的工艺气体的浓度、流量。本实施方式的成膜装置具备：成膜室，能够收容基板；气体供给部，具有设置在成膜室的上部并向基板的成膜面上供给工艺气体的多个喷嘴、以及抑制工艺气体的温度上升的冷却部；加热器，将基板加热到1500℃以上；以及板，在成膜室内与形成有多个喷嘴的第1开口部的气体供给部的下表面对置，且与该下表面分离地配置，板包括：多个第2开口部，具有比第1开口部小的直径，且在该板面内均匀地配置；以及分隔部，在与气体供给部对置的对置面上突出，将板的面内分隔为多个区域。
- 装置以及
- [发明专利]喷淋板及成膜装置-CN202180040790.4在审
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小畑雄治
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东京毅力科创株式会社
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2021-06-02
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2023-01-31
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C23C16/455
- 提供一种喷淋板,其具有设于处理容器的上部的板状部件,多个第一孔部,其与上述喷淋板内的第一流路连通；喷淋板具有:多个第一腔室阀,其设于多个上述第一孔部；多个第二孔部,其与上述喷淋板内的第二流路连通；多个第二腔室阀,其设于多个上述第二孔部；多个第三孔部,其以与多个上述第一孔部以及多个上述第二孔部对应的方式设于上述板状部件；以及多个第三腔室阀,其设于多个上述第三孔部,多个上述第一腔室阀、多个上述第二腔室阀以及多个上述第三腔室阀为压电元件
- 喷淋装置
- [实用新型]成圈线缆转送台板-CN201921564895.6有效
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万燕;刘威武
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江苏雅智杰精密机械有限公司
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2019-09-19
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2020-06-26
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B65B35/22
- 本实用新型涉及成圈线缆转移技术领域，公开了成圈线缆转送台板，包括水平固定板、多个通过滚筒固定座安装在水平固定板上的滚筒；水平固定板设有供下成圈盘转动的圆弧孔，水平固定板远离圆弧孔的一端设有供缠膜机构工作的缠膜孔；水平板上靠近圆弧孔处设有多个用于安装滚筒的第一滚筒孔，缠膜孔附近设有偶数个用于安装滚筒的第二滚筒孔；还包括多个安装于第二滚筒孔附近的万向球和安装板。本实用新型通过略高与水平固定板的可绕轴线滚动的滚筒和万向球可灵活转动的滚珠，将成圈线缆与台板之间的滑动摩擦改为滚动摩擦，减小了成圈线缆与台板间的摩擦力，方便线缆的转送，成圈线缆的表面更美观无擦伤。
- 线缆转送
- [实用新型]成膜用立式载板-CN202320953079.4有效
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盛忍;林宏俊;苏文章
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理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
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2023-04-24
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2023-10-20
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C23C16/458
- 本实用新型提供一种成膜用立式载板。所述成膜用立式载板包括载板盘体，所述载板盘体上针对每片硅片设置一个承载区，每个承载区周边设置有多个限位件，每个限位件包括设置在所述载板盘体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、设置成依次穿过所述四叶形旋钮以及基座的销轴，所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件，固定件穿过载板盘体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板盘体上，所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片本实用新型能降低在载板中取放硅片时硅片的破损率，并能解决因载板变形导致的硅片卡住以及难以到位的问题。
- 成膜用立式
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