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[发明专利]一种微型变刚度悬臂梁结构、制备方法及传感器-CN202211538548.2在审
发明人：苗斌;李加东;徐瞻;顾智琦 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型变刚度悬臂梁结构、制备方法及传感器，本发明本发明微型变刚度悬臂梁的制备方法可实现变刚度悬臂梁结构的精确制备，可通过调节前后悬臂梁结构的尺寸来调节刚度，以调节完整悬臂梁结构的动态检测范围和灵敏度，可以有效解决现有技术中仅通过改变单级悬臂梁的尺寸无法实现光反射式传感器灵敏度与量程两项指标的双提升的问题。通过本发明中的微纳加工方式可实现变刚度微悬臂梁的微型化、按需可控制备，进一步拓宽了悬臂梁传感器的应用范围并为光反射式传感器微型化奠定坚实基础。本发明可通过改变现有变刚度悬臂梁结构，如在悬臂顶部制备针尖结构，进一步拓展应用范围。
一种微型刚度悬臂梁结构制备方法传感器

[实用新型]一种用于悬臂梁轴的支撑装置-CN202021012692.9有效
发明人：顾谷波 -专利权人：上海伟隆包装设备有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B65H16/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于悬臂梁轴的支撑装置，涉及包装设备支撑技术领域，其包括伸缩结构，所述伸缩结构伸缩方向的两端分别设置有第一抵接件和第二抵接件；使用时，所述伸缩结构伸展，所述第一抵接件和第二抵接件分别抵紧在悬臂梁轴的外壁与悬臂梁轴周侧的固定物体上，且所述第一抵接件与悬臂梁轴形成相对转动。本实用新型通过将伸缩结构中的第一抵接件与第二抵接件分别抵紧在悬臂梁轴的外壁与悬臂梁轴周侧的固定物体上，为悬臂梁轴提供了一个支撑力，改变了悬臂梁的悬臂状态，提高了悬臂梁转动时的稳定性。
一种用于悬臂梁支撑装置

[发明专利]一种新型地下厂房桥机吊车梁承载平台结构及其施工方法-CN202010364582.7在审
发明人：白现军;陈方明;黄河江;王小刚;申康路;侍克斌;李慧;李毅 -专利权人：中国葛洲坝集团第三工程有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： E04C3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型地下厂房桥机吊车梁承载平台结构及其施工方法，包括岩体和悬臂梁，所述悬臂梁分为嵌入段和悬臂段，所述岩体上开挖有嵌入槽，所述悬臂梁的嵌入段与嵌入槽嵌合，所述悬臂梁包括纵筋和箍筋，所述箍筋套设在纵筋的外侧，所述纵筋布设于悬臂梁的四周且从所述悬臂梁的嵌入段的端面伸出，所述嵌入槽的端部开凿有若干个第一嵌入孔道，所述纵筋与第一嵌入孔道嵌合，本发明在岩体上开凿出与悬臂梁的嵌入段嵌合的嵌入槽，通过将悬臂梁嵌入岩体内，实现桥机吊车梁承载结构的稳定性提高，解决现有技术中当岩壁质量差时，悬臂梁与岩体之间的摩擦力使得岩壁和斜台之间发生塑性破坏，进而导致岩锚梁的结构失稳问题。
一种新型地下厂房吊车承载平台结构及其施工方法

[实用新型]一种新型地下厂房桥机吊车梁承载平台结构-CN202020714870.6有效
发明人：白现军;陈方明;黄河江;王小刚;申康路;侍克斌;李慧;李毅 -专利权人：中国葛洲坝集团第三工程有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： E04C3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型地下厂房桥机吊车梁承载平台结构，包括岩体和悬臂梁，所述悬臂梁分为嵌入段和悬臂段，所述岩体上开挖有嵌入槽，所述悬臂梁的嵌入段与嵌入槽嵌合，所述悬臂梁包括纵筋和箍筋，所述箍筋套设在纵筋的外侧，所述纵筋布设于悬臂梁的四周且从所述悬臂梁的嵌入段的端面伸出，所述嵌入槽的端部开凿有若干个第一嵌入孔道，所述纵筋与第一嵌入孔道嵌合，本实用新型在岩体上开凿出与悬臂梁的嵌入段嵌合的嵌入槽，通过将悬臂梁嵌入岩体内，实现桥机吊车梁承载结构的稳定性提高，解决现有技术中当岩壁质量差时，悬臂梁与岩体之间的摩擦力使得岩壁和斜台之间发生塑性破坏，进而导致岩锚梁的结构失稳问题。
一种新型地下厂房吊车承载平台结构

[发明专利]一种半导体器件及其制作方法和电子装置-CN201410505263.8在审
发明人：倪梁;汪新学 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件及其制作方法和电子装置，所述制作方法包括：提供半导体衬底，刻蚀所述半导体衬底以形成凹槽；在所述凹槽中形成牺牲层；在所述半导体衬底和牺牲层的表面上形成悬臂梁结构层，刻蚀所述悬臂梁结构层，暴露所述牺牲层，以形成悬臂梁结构和开口；去除所述牺牲层，以释放所述悬臂梁结构。根据本发明的制作方法，形成的悬臂梁结构形貌优良，在悬臂梁结构下方无硅衬底材料的残留，有利于之后有机聚合物的填充，另外，即使预定形成的悬臂梁结构的尺寸很大，采用本发明的制作方法也能很好的实现悬臂梁的悬浮。
一种半导体器件及其制作方法电子装置

[发明专利]MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法-CN202010523998.9在审
发明人：刘志广;孙锐锋 -专利权人：深圳市道格特科技有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及探针卡技术领域，特别涉及MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法，多层陶瓷板的底面设置有MEMS探针，MEMS探针电连接于测试电路板，测试电路板电连接于测试机，MEMS探针接触存储芯片的管脚PAD位，MEMS探针包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，第二悬臂梁和第一悬臂梁之间形成镂空层。与现有技术相比，本发明的MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法通过第一悬臂梁和第二悬臂梁的双层承重结构可以更好满足测试过程中的机械强度，并且镂空层利于提高韧性，可以有效延长MEMS探针的使用寿命，节约成本
mems 工艺制备悬臂梁探针方法

[发明专利]一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法-CN202110998554.5在审
发明人：王路;赵立波;韩香广;费振轩;王骞;陈瑶;罗国希;卢德江;李支康;李敏;杨萍;王永录;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法，能量收集器包括外壳、质量球和若干压电悬臂梁，若干压电悬臂梁的固支端与外壳侧壁连接，若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，若干压电悬臂梁的自由端向外壳的中心延伸，质量球设置于外壳内并位于若干压电悬臂梁的上方，所述质量能够在所述若干压电悬臂梁形成的支撑面上自由滚动。本发明若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，因此能够在不同方位下实现能量收集；采用的质量球和压电悬臂梁的结构，使得本发明在超低频条件下实现能量的收集，适用于可穿戴设备自供电。
一种低频多方压电振动能量收集方法

[发明专利]双晶摩擦纳米悬臂梁装置及其应用-CN202210558766.6在审
发明人：孙瑜晴;杜志叶;陈谋源;黄欣怡;何静萱 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本申请公开了双晶摩擦纳米悬臂梁装置及其应用。双晶摩擦纳米悬臂梁装置，包括：一悬臂梁，以压电发电单元为主体，所述悬臂梁具有自由端；以及，一摩擦纳米发电单元，被固定配置在所述自由端上。由于，利用电极与硅胶在悬臂梁振动时接触分离产生的摩擦能，并将其转换为电能，压电悬臂梁的是利用振动时压电片发生形变而产生电能，由于在双晶悬臂梁装置的自由端处受集中力，质量块的作用在于将集中力转变为自身的加速度进而自身发生位移加大悬臂梁振动
双晶摩擦纳米悬臂梁装置及其应用

[发明专利]自协调式微动疲劳试验横向微动加载装置-CN201510243706.5有效
发明人：谢林君;沈明学;刘小波;王吉波;任欣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：一种自协调式微动疲劳试验横向微动加载装置，包括固定底座，所述横向微动加载装置还包括两根悬臂梁，两根悬臂梁并排布置，两根悬臂梁的中部为用于放置待试验管材的试验工位，悬臂梁的一端固定轴承，所述轴承位于一根悬臂梁相对于另一根悬臂梁的外侧，所述轴承可转动地安装在转轴上，所述转轴位于固定底座上，所述两根悬臂梁的自由端安装用于调节两根悬臂梁之间距离并微动加载的加载机构。
协调式微疲劳试验横向微动加载装置

[发明专利]桥面高程调整方法-CN201810872635.9有效
发明人：孙九春;薛武强;任加甜;唐俊华;曹虹;奚国栋 -专利权人：腾达建设集团股份有限公司
申请日： 2018-08-02 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： E01D21/00 文献下载
摘要：所述高度调整方法用于调整T形悬臂梁桥悬臂梁合龙端的桥面高程，所述悬臂梁远离合龙端的一端设置有端部支撑，包括在所述悬臂梁远离合龙端的一端与所述端部支撑之间设置升降装置，利用所述升降装置对所述悬臂梁远离合龙端的一端进行上升或下降操作，以使所述悬臂梁的合龙端相应的下降或上升。本发明通过在T形悬臂梁桥悬臂梁远离合拢端的一段与端部支撑之间设置升降装置，可以不受周围建筑物的限制，方便施工。
桥面高程调整方法

[发明专利]一种MEMS悬臂梁的形变分析方法-CN201910526730.8有效
发明人：韩磊;秦瑞洁 -专利权人：东南大学
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01M7/08 文献下载
摘要：一种MEMS悬臂梁的形变分析方法，其特征在于，包括以下步骤：建立基于MEMS悬臂梁结构受到加速度冲击载荷作用后的冲击形变模型；所述MEMS受到加速度载荷冲击后，基于冲击形变模型，获取MEMS悬臂梁内部应力，建立内部应力模型；获取MEMS悬臂梁由于内部应力作用而产生的应变，建立应变模型；获取MEMS悬臂梁由于应变而产生的形变，建立形变模型。本发明首次建立了基于加速度冲击载荷作用下的形变模型，给出了MEMS悬臂梁结构弹性和塑形双形变分析模型，实现了对MEMS悬臂梁在受到加速度冲击载荷后的形变进行预测和计算，填补国内外对MEMS悬臂梁结构受到加速度冲击载荷作用后发生形变的研究空白
一种 mems 悬臂梁形变分析方法

[实用新型]自协调式微动疲劳试验横向微动加载装置-CN201520307610.6有效
发明人：谢林君;沈明学;刘小波;王吉波;任欣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：一种自协调式微动疲劳试验横向微动加载装置，包括固定底座，所述横向微动加载装置还包括两根悬臂梁，两根悬臂梁并排布置，两根悬臂梁的中部为用于放置待试验管材的试验工位，悬臂梁的一端固定轴承，所述轴承位于一根悬臂梁相对于另一根悬臂梁的外侧，所述轴承可转动地安装在转轴上，所述转轴位于固定底座上，所述两根悬臂梁的自由端安装用于调节两根悬臂梁之间距离并微动加载的加载机构。
协调式微疲劳试验横向微动加载装置

[发明专利]用于非接触静电探测器的传感器-CN02821018.2无效
发明人： J·基里斯;N·内那迪克;T·B·琼斯 -专利权人：特瑞克股份有限公司
申请日： 2002-08-22 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： G01R5/28 文献下载
摘要：一种用于测量静电的传感器，具有细长的振动悬臂梁(100)，支承在该悬臂梁一端的机械节点(N₃)，传感电极(114)连接到悬臂梁(100)的另一端，适于配置为朝向被测量的电荷、电场或电势，且悬臂梁(100)上的驱动变换器(106)振动悬臂梁(100)以改变电极(114)和被测量的电荷、电场或电势间的电容耦合。该驱动变换器(106)位于悬臂梁(100)上的一个位置并在一振动频率工作，这样虚机械节点沿着悬臂梁(100)出现以防止机械节点的振动，从而机械节点的刚强度不影响工作频率且悬臂梁(100)自由端的位移使得能够测量各种空间分辨率特性
用于接触静电探测器传感器

[发明专利]基于悬臂梁的宽频带压电能量收集器-CN201910941429.3在审
发明人：王德波;薛至诚;何素荣 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬臂梁的宽频带压电能量收集器，包括固定端、悬臂梁及质量块，悬臂梁上表面设有上压电层，下表面设有下压电层；所述悬臂梁设有N组，N≥3，每组包含n根悬臂梁，n≥3，不同组别的悬臂梁长度不等当该能量收集器受到振动激励时，在对应方向上的压电层表面便会产生极化电荷，同时多组悬臂梁实现了可以对多个谐振频率的振动能量进行有效地吸收转换，并且可以有效的提高输出。
悬臂梁压电层压电能量收集能量收集器压电层表面长度不等极化电荷谐振频率振动激励振动能量固定端宽频带上表面下表面有效地质量块输出转换吸收

[发明专利]一种基于悬臂梁的高精度流速探测装置-CN202011220467.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：金华伏安光电科技有限公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G01P5/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于悬臂梁的高精度流速探测装置，包括管壁、悬臂梁、振源、压电材料块、弹性部，管壁围成管道，悬臂梁的一端固定在管壁的外侧，悬臂梁的内部设有空腔，弹性部设置在空腔内，振源与管壁、悬臂梁固定连接，压电材料块设置在悬臂梁上靠近固定端的部位，压电材料块与外部电路连接。应用时，通过探测悬臂梁共振频率的变化，实现待测流速的测量。本发明具有流速探测灵敏度高的优点，在流速探测领域具有良好的应用前景。
一种基于悬臂梁高精度流速探测装置