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[发明专利]压电器件及其制作方法-CN202110839236.4在审
发明人：项少华;王冲;王大甲;蔡敏豪;杨应田 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L41/331 文献下载
摘要：本发明涉及一种压电器件的制作方法以及压电器件。其中，压电器件的制作方法包括：提供基底；于基底表面形成压电材料层；于压电材料层表面形成保护材料层；于保护材料层表面形成图形化掩膜层；基于图形化掩膜层，依次对保护材料层以及压电材料层进行刻蚀，以依次形成保护层以及压电初始层，并去除图形化掩膜层以及保护层；对压电初始层进行处理，以形成表面粗糙度小于压电初始层表面粗糙度的压电层。本申请可以有效提高压电器件的压电性能。
压电器件及其制作方法

[发明专利]固态装配型谐振器及其制备方法-CN202010191951.7有效
发明人：王伟;杨金铭;李平;蒋将;彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供了一种固态装配型谐振器及其制备方法，该固态装配型谐振器包括：压电结构，压电结构包括：上电极层、下电极层和压电层，下电极层对应于压电结构的下方设置，下电极层包括：凸部，凸部对应于下电极层的下表面、向下凸出设置；压电层设置于下电极层的上表面上；上电极层设置于压电层的上表面上。凸部对应于形成于下电极层的下表面上，使得与压电层接触的下电极层的上表面可以形成平坦化表面，因此，压电层生长在平整的表面，更易于获得生长纹理较好的高c轴取向的晶体结构，以改善了压电层的压电性能，提升了谐振器的性能
固态装配谐振器及其制备方法

[发明专利]一种聚合物功能器件的制造方法-CN201210471922.1有效
发明人：梅欣;张俊 -专利权人：溧阳市生产力促进中心
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： H01L41/277 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物功能器件的制造方法，包括准备压电聚合物，将该压电聚合物在160～190℃加热，使该压电聚合物受热分解；将该压电聚合物材料与粘结剂以及挥发性溶剂混合形成浆料；将该浆料涂覆于第一电极层表面，形成第一压电层；干燥该第一压电层；在第一压电层表面涂覆第一过渡层；在该第一过渡层表面涂覆离子交换增强层；在离子交换增强层表面涂覆第二过渡层；将上述浆料涂覆于第二过渡层表面，形成第二压电层；干燥该第二压电层；以及将第二电极层覆盖于该压电层表面并相互压合；本发明以新颖的压电聚合物材料形成压电层，其电致伸缩应变比现有技术中常用的压电聚合物的压电元件提高5～7％。
一种聚合物功能器件制造方法

[实用新型]压电振动模块与平面压电元件-CN202222259694.3有效
发明人：郑岳世;徐湘伦 -专利权人：乐声电子系统股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：一种压电振动模块，包含两导电层、两平面压电元件以及封装材。两导电层彼此面对且间隔设置；两平面压电元件彼此面对且设置于两导电层之间，其中两平面压电元件之间存在压电材料分离间隙；封装材设置于两导电层之间，包覆两平面压电元件，且填满压电材料分离间隙。一种平面压电元件包含压电材料层、两导电胶层以及表面处理层，两导电胶层分别设置于压电材料层的两表面，表面处理层覆盖压电材料层的周侧面、导电胶层的周壁及显露表面。此压电振动模块具有实现高频、宽频地发送声波的优点。
压电振动模块平面元件

[发明专利]表面声波式触控面板及其制造方法-CN201210126596.0无效
发明人：宋健民;甘明吉;林逸樵;张建国 -专利权人：铼钻科技股份有限公司
申请日： 2012-04-27 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： G06F3/043 文献下载
摘要：本发明是有关于一种表面声波式触控面板，包括：基板；压电材料层，其覆盖于该基板上方，其中，该压电材料层的材质包含一第一压电材料，该第一压电材料为氮化铝；电压供应电极，其设于该压电材料层表面，以提供电压予该压电材料层，使该压电材料层产生一表面声波；电压接收电极，其设于该压电材料层表面，以接受该压电材料层的该表面声波所产生的电压值；以及绝缘保护膜，其保护该压电材料层、该电压供应电极、以及该电压接收电极。本发明亦关于上述表面声波式触控面板的制法。
表面声波式触控面板及其制造方法

[发明专利]一种压电结构及其制备方法-CN202111051173.2在审
发明人：田一;聂京凯;崔建业;耿进锋;史昌明;龚文;何强 -专利权人：全球能源互联网研究院有限公司;国网河南省电力公司电力科学研究院;国网浙江省电力有限公司金华供电公司;国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院;浙江清华长三角研究院
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供一种压电结构及其制备方法，压电结构包括：压电膜层；位于压电膜层一侧表面的种子层；位于种子层背离压电膜层的一侧表面的纳米线阵列层，纳米线阵列层的材料为半导体压电材料。当在外界作用下发生形变时，压电膜层和纳米线阵列层产生压电效应，压电膜层相对设置的两个表面和纳米线阵列层相对设置的两个表面均产生相反的电荷，使位于两者之间的种子层受到电场作用，在上述电场的作用下，种子层实现了压电膜层和纳米线阵列层的串联，压电结构所产生的电能为压电膜层和纳米线阵列层所产生的电能的加和，有效提高了压电材料的压电转换效率。
一种压电结构及其制备方法

[发明专利]一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法-CN202310526673.X在审
发明人：胡志军;梁紫旭 -专利权人：苏州大学
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法，涉及压电传感器技术领域。本发明提供的柔性压电传感器包括：柔性压电薄膜层；涂敷在柔性压电薄膜层上下表面的电极层；设置在涂敷有电极层的柔性压电薄膜层表面的柔性聚合物薄膜层。其制备方法包括：制备表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜；将柔性聚合物薄膜贴敷于表面具有电极层的柔性压电薄膜表面，得到柔性压电传感器。本发明提供的柔性压电传感器使用表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜层，以在柔性压电薄膜层表面产生非均匀压力，使得柔性压电薄膜层在压力作用下不仅能够产生压电效应，还能够产生挠曲电效应，从而能够更精确地检测到微弱的压力信号，提高柔性压电传感器的灵敏度。
一种柔性压电传感器及其制备方法脉搏检测

[发明专利]一种薄膜发电机及其制作方法-CN202011492763.4在审
发明人：王英辉;王盛凯 -专利权人：昆山微电子技术研究院
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H02N1/04 文献下载
摘要：本申请公开了薄膜发电机及其制作方法，该方法包括在基底的第一表面形成预处理压电层；在预处理压电层与基底相背的表面形成第一电极层，并在摩擦层的第一表面形成第二电极层；将带有预处理压电层和第一电极层的基底置于高压电场环境中进行极化，以使预处理压电层形成压电层；利用粘合剂将摩擦层的第二表面的边缘区域与基底的第二表面的边缘区域进行粘接，以在摩擦层和基底除去边缘区域的区域间形成空腔，得到薄膜发电机；基底的第一表面与基底的第二表面相背，摩擦层的第一表面与摩擦层第二表面相背。本申请中基底的两侧分布有压电层和摩擦层，可同时产生摩擦电流和压电电流，增加输出电流，并且采用高压极化的方式形成压电层，提升压电层结晶度。
一种薄膜发电机及其制作方法

[实用新型]一种压电薄膜结构-CN202222612825.1有效
发明人：尤晖;刘亚平;吴严严;卓能聪;石城宇;吴耀光;蒙丹;黄为良;张丽文;阮瑞成 -专利权人：广西大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及压电薄膜技术领域，具体公开了一种压电薄膜结构，包括PVDF压电薄膜，所述PVDF压电薄膜上表面镀有PEDOT：PSS薄膜，所述PEDOT：PSS薄膜的上表面设置有正电极层，所述正电极层上表面设置上保护层，所述上保护层上表面设有弹性缓冲层，所述PVDF压电薄膜下表面设置有负电极层，所述负电极层下表面设有下保护层。本实用新型的压电薄膜结构中，通过PVDF压电薄膜和PEDOT：PSS薄膜复合能够增强压电薄膜的压电效应，提高检测灵敏度；通过保护层有效保护电极和压电薄膜，降低外部环境对压电薄膜结构的干扰；设置弹性缓冲层用于缓冲车辆对压电薄膜结构造成的冲击
一种压电薄膜结构

[发明专利]一种具有离子交换增强层的压电元件的制造方法-CN201210472729.X无效
发明人：梅欣;张俊 -专利权人：溧阳市生产力促进中心
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L41/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：准备上述压电聚合物，将该压电聚合物在160～190℃加热，使该压电聚合物受热分解；将该压电聚合物材料与粘结剂以及挥发性溶剂混合形成浆料；将该浆料涂覆于第一电极层表面，形成第一压电层；干燥该第一压电层；在该第一压电层表面涂覆离子交换增强层；将上述浆料涂覆于离子交换增强层表面，形成第二压电层；干燥该第二压电层；以及将第二电极层覆盖于该压电层表面并相互压合；本发明以新颖的压电聚合物材料形成压电层，其电致伸缩应变比现有技术中常用的压电聚合物的压电元件提高4～6％。
一种具有离子交换增强压电元件制造方法

[发明专利]双层超声波换能器-CN202080037735.5有效
发明人：莱昂纳多·巴尔达萨雷;陈美霖 -专利权人：应美盛公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：该膜包括：具有第一表面和第二表面的第一压电层；具有第一表面和第二表面的第二压电层，其中第一压电层的第二表面面对第二压电层的第一表面；被联接到第一压电层的第一表面的第一电极；被联接到第二压电层的第二表面的第二电极；以及在第一压电层和第二压电层之间的第三电极。
双层超声波换能器

[发明专利]一种包括压电聚合物的压电元件-CN201210472730.2有效
发明人：梅欣;张俊 -专利权人：溧阳市生产力促进中心
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L41/193 文献下载
摘要：本发明公开了一种包括聚合物的压电元件，其包括：第一电极层、压电层和第二电极层，其中，第一电极层设置于该压电层第一表面；第二电极层设置于该压电层第二表面，第一电极层与第二电极层具有不同的功函数，压电层由压电聚合物形成该压电元件以新颖的压电聚合物材料形成压电层，该压电元件的电致伸缩应变比以聚偏氟乙烯作为压电聚合物的压电元件提高2～5％。
一种包括压电聚合物元件

[发明专利]超声传感器制备方法、超声传感器以及电子设备-CN202010724160.6在审
发明人：陆斌;沈健;王红超;王文轩 -专利权人：深圳市汇顶科技股份有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L41/29 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种超声传感器制备方法、超声传感器以及电子设备，所述方法包括：在衬底层上形成整面电极，所述整面电极的第一表面平整；在所述整面电极的第一表面形成压电层，所述整面电极的第一表面在所述整面电极远离所述衬底层的一侧；在所述压电层的第一表面形成电极阵列，所述压电层的第一表面在所述压电层远离所述整面电极的一侧；在所述电极阵列的第一表面和所述压电层的第一表面形成电路层，所述电极阵列的第一表面在所述电极阵列远离所述压电层的一侧本申请实施例提供的方法，使得在制备压电层之前表面平整，制备得到的压电层厚度均匀，进一步能够提高超声传感器的性能。
超声传感器制备方法以及电子设备

[发明专利]一种单晶压电薄膜及其制备方法-CN202210641726.8在审
发明人：欧欣;陈阳;黄凯 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L41/39 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶压电薄膜及其制备方法，包括对单晶压电衬底的加工表面进行第一退火处理，以在加工表面形成钝化层；单晶压电衬底为铌酸锂；从加工表面对单晶压电衬底进行离子注入处理，使得单晶压电衬底内形成压电薄膜层与损伤层，得到包括压电薄膜层的单晶压电衬底；采用清洗剂进行清洗处理，得到清洗后的单晶压电衬底；将清洗后的单晶压电衬底沿加工表面与支撑衬底键合，得到键合结构；对键合结构进行剥离处理，使键合结构沿损伤层分离，得到单晶压电薄膜本申请通过在单晶压电衬底表面形成钝化层，能够有效避免压电薄膜层在制备过程中被腐蚀，降低制备工艺的复杂度，提升产品厚度的准确性与均匀性，提升产品良率。
一种压电薄膜及其制备方法

[实用新型]一种带测厚反馈焦距可调的超声波美容探头-CN201920177064.7有效
发明人：刘东旭;周学农;贾鑫 -专利权人：平拓(上海)新材料科技有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： A61N7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带测厚反馈焦距可调的超声波美容探头超声美容聚焦探头包括凹型压电晶片，测厚探头通过螺纹固定在铜套管内，测厚探头的底端连接一个带有通孔的4MHz凹型压电晶片，凹型压电晶片的上表面通过磁控溅射镀有压电晶片上电极层，凹型压电晶片的下表面通过磁控溅射镀有压电晶片下电极层，凹型压电晶片通过环氧胶水固定在铜套管中，压电复合晶片的上表面通过磁控溅射镀有压电复合晶片上电极层，压电复合晶片的下表面通过磁控溅射镀有压电复合晶片下电极层，压电复合晶片下电极层的底端通过环氧粘接有匹配层材料，压电复合晶片上电极层的顶端通过环氧粘接有背衬材料，压电复合晶片上电极层和压电复合晶片下电极层表面焊接信号线，探头外壳内充满耦合水，声窗膜固定在探头外壳的底端
压电复合晶片压电晶片凹型磁控溅射下电极层电极层底端测厚探头探头外壳上表面铜套管下表面环氧粘接美容本实用新型匹配层材料背衬材料表面焊接环氧胶水焦距可调聚焦探头螺纹固定探头超声超声波声窗膜信号线耦合水测厚通孔反馈

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