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- [发明专利]检查装置-CN202010030587.6在审
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能丸圭司;泽边大树
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株式会社迪思科
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2020-01-13
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2020-08-04
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G01N22/00
- 提供检查装置，其能够利用微波适当地对被加工物进行检查。该检查装置对被加工物照射微波，并且对微波的照射位置照射激光光线而接收在通过因光激发产生的载流子而提高了反射率的该照射位置发生了反射的微波，测量载流子寿命，从而检查被加工物的特性。检查装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；微波照射单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物照射微波；微波接收单元，其接收在被加工物上发生了反射的微波；以及激光光线照射单元，其对被照射了微波的照射位置照射激光光线
- 检查装置
- [发明专利]一种利用微波能对粮食进行加工处理的装置-CN200610000811.7无效
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董永贵;王东生
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清华大学
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2006-01-13
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2006-07-26
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F26B17/04
- 一种利用微波能对粮食进行加工处理的装置，由物料输送装置及安装于其上的微波加工隧道组成。微波加工隧道由多个微波加工单元构成，每个微波加工单元由加工腔体和安装在加工腔体顶部的微波发生器组成；整个加工隧道依次分为加热升温、保温除湿和降温除尘三个区域，在后两个区域的微波加工单元侧面安装有排气装置被加工的粮食由金属丝网制成的传送带运送通过加工隧道，传送带在加工隧道内与传送带拖板之间保持接触状态以防止传送带表面的粮食局部过热。该装置制造和维护成本低，可在对粮食进行连续干燥的同时，杀灭粮食中的微生物及害虫、虫卵，并可有效防止加工过程中的粮食过热及种子发芽率下降等现象，可广泛用于粮食及农作物种子的加工处理。
- 一种利用微波粮食进行加工处理装置
- [发明专利]溅射装置-CN201911094111.2有效
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李默林
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2019-11-11
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2022-07-22
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C23C14/34
- 本发明涉及一种溅射装置，包括：腔室；基座，设置于腔室内，用于承载待加工工件；溅射机构，设置于腔室上，溅射机构用于待加工工件的溅射工艺；顶针机构，设置于腔室内，顶针机构用于在待加工工件进行回流工艺时，将待加工工件从基座上顶起并承载待加工工件；以及微波加热机构，设置于腔室内，微波加热机构包括移动单元和微波发射器，微波发射器与移动单元连接，移动单元用于在待加工工件完成溅射工艺且由顶针机构承载时，将微波发射器移动至待加工工件的下方，而加热待加工工件本发明通过微波发射器产生微波，直接作用于待加工件内极性分子而加热待加工件，提高加热效率高，从而有效缩短回流工艺周期时间，提升生产效率。
- 溅射装置
- [发明专利]微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法-CN200810070675.8无效
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熊兆贤;郑建森;肖芬;杨国山;薛昊
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厦门大学
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2008-02-27
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2008-08-06
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C04B41/91
- 微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法，涉及一种微波介质陶瓷元器件。提供一种可微细调节，具有速度快、成本低、效率高、可连续监控等优点的微波陶瓷元器件制作的激光微调刻蚀方法。用网络分析仪测试出微波陶瓷的微波介电性能，打开激光仪，选择微调刻蚀的形状和大小，设置加工参数，如速度、电流、频率、加工方式、加工次数；将激光束对准待刻蚀的微波陶瓷，聚焦，微调刻蚀；用网络分析仪测试经过微调刻蚀的微波陶瓷的微波介电性能，观察并比较微调刻蚀前后的微波陶瓷的谐振频率fc、品质因子Q值等，根据预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数，判断是否需继续微调刻蚀，若需要，重复上述步骤，至达到预先设定的微波陶瓷的微波介电性能参数
- 微波陶瓷元器件制作激光微调刻蚀方法
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