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[发明专利]金属废水的在线电沉积方法和装置-CN201310455624.8有效
发明人：王维平;邱海兵;付丹;张建 -专利权人：上海轻工业研究所有限公司
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： C02F1/463 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属废水的在线电沉积方法和装置。在线电沉积装置布置于生产线附近且主要包括缓冲槽、电沉积室以及循环泵。电沉积室具有电沉积室进口和电沉积室出口。循环泵具有循环泵进口和循环泵出口，循环泵进口连接缓冲槽出口，循环泵出口分为内循环分路和外循环分路，内循环分路连接电沉积室进口，经过电沉积室后，从电沉积室出口回到缓冲槽，外循环分路经一回流管道连接金属废水来源内循环分路上设有内循环调节阀，外循环分路设有外循环调节阀，以分别调节内循环分路和外循环分路的流量。
金属废水在线沉积方法装置

[发明专利]用于通过反应室中的循环沉积工艺在衬底上沉积铪镧氧化物膜的方法-CN202010092013.1在审
发明人： T.伊万诺娃;P.西波拉;M.E.吉文斯 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：公开一种用于在衬底上沉积铪镧氧化物膜的方法，其通过反应室中的循环沉积进行。所述方法可包括：利用循环沉积工艺的第一子循环在所述衬底上沉积氧化铪膜，和利用循环沉积工艺的第二子循环沉积氧化镧膜。
用于通过反应中的循环沉积工艺衬底氧化物方法

[发明专利]改良型等离子强化原子层沉积方法-CN201710293262.5在审
发明人：蔡俊雄;游国丰;范彧达 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：根据一例子，一种改良型等离子强化原子层沉积方法包括于基材上进行沉积制程的多个第一沉积循环，以及在进行多个第一沉积循环后，进行等离子强化层沉积循环。等离子强化层沉积循环包含等离子处理制程。多个第一层沉积循环的进行不包含等离子处理制程。
沉积循环等离子强化等离子处理制程原子层沉积改良型第一层基材制程沉积

[实用新型]一种水和土壤钚检测控温电沉积槽装置-CN202222051520.8有效
发明人：孙功明;李冠超;毕明亮 -专利权人：广东省核工业地质局辐射环境监测中心（广东省铀资源储量评审中心）
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水和土壤钚检测控温电沉积槽装置，涉及放射性核素钚检测技术领域，包括电沉积槽冷却循环水腔体，所述电沉积槽冷却循环水腔体中套装有电沉积槽阳极和电沉积槽阴极。该水和土壤钚检测控温电沉积槽装置，通过电沉积槽冷却循环水腔体和冷却循环进水口以及冷却循环出水口的配合使用，使得该水和土壤钚检测控温电沉积槽装置将电沉积槽冷却循环水腔体外部的冷却循环进水口和冷却循环出水口通过导管与低温冷却水循环泵连接，使得低温冷却水循环泵可以进行温度的可调控制，从而实现电沉积槽温度控制，控温精度得到了提升，并且在电沉积过程中不会发热，受操作环境影响较小，保证电沉积效率。
一种土壤检测控温电沉积装置

[实用新型]金属废水的在线电沉积装置-CN201320608169.6有效
发明人：王维平;邱海兵;付丹;张建 -专利权人：上海轻工业研究所有限公司
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： C02F1/463 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种金属废水的在线电沉积装置。该在线电沉积装置布置于生产线附近且主要包括缓冲槽、电沉积室以及循环泵。电沉积室具有电沉积室进口和电沉积室出口。循环泵具有循环泵进口和循环泵出口，循环泵进口连接缓冲槽出口，循环泵出口分为内循环分路和外循环分路，内循环分路连接电沉积室进口，经过电沉积室后，从电沉积室出口回到缓冲槽，外循环分路经一回流管道连接金属废水来源内循环分路上设有内循环调节阀，外循环分路设有外循环调节阀，以分别调节内循环分路和外循环分路的流量。
金属废水在线沉积装置

[发明专利]电沉积装置及其加工机-CN201110422185.1无效
发明人：洪荣洲;林大裕 -专利权人：财团法人金属工业研究发展中心
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C25D19/00 文献下载
摘要：本发明涉及有关于一种电沉积装置及加工机，该电沉积装置是包含一循环流道式电沉积槽、一电极及至少一流体驱动模块。该循环流道式电沉积槽内具有一内循环流道，该内循环流道填充一电沉积液，该流体驱动模块驱动该电沉积液内循环于该内循环流道，以进行电沉积加工。本发明的电沉积装置无需设置外部管路，以缩减该电沉积装置的体积及降低该电沉积液的使用量，同时易控制电沉积液的质量。本发明的加工机分别带动该电沉积装置及一工件于单一方向上移动，以简化定位该电沉积装置与该工件的复杂度，进而增加该电沉积装置与该工件的定位准确度。
沉积装置及其加工

[发明专利]形成氮化钒层的方法和包括氮化钒层的结构-CN202011428399.5在审
发明人： G.A.弗尼;谢琦;H.朱西拉;C.德泽拉;金智妍;E.J.希罗;P.马 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于将氮化钒层沉积到衬底的表面上的方法和系统以及使用所述方法形成的结构和装置。示范性方法包括使用循环沉积工艺，将氮化钒层沉积到所述衬底的表面上。所述循环沉积工艺可包括向反应室提供卤化钒前体，并且单独地向所述反应室提供氮反应物。所述循环沉积工艺可期望地是热循环沉积工艺。
形成氮化方法包括结构

[发明专利]氧化物和氮化物的原子层沉积-CN202010086030.4在审
发明人： H·朱西拉;朱驰宇;谢琦;金智妍;T·E·布隆伯格 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：使用沉积增强前体的气相沉积方法，例如原子层沉积(ALD)方法可用于形成多种氧化物和氮化物膜，包括金属氧化物、金属氮化物、金属氮氧化物、氧化硅和氮化硅膜。举例来说，所述方法可用于沉积过渡金属氮化物，例如TiN、过渡金属氧化物和氧化硅和氮化硅，例如SiO2和SiN。在一些实施例中，所述沉积增强前体包含第II族金属，在一些实施例中例如Mg、Sr、Ba或Ca。在一些实施例中，提供包含沉积循环的原子层沉积方法，所述沉积循环包含第一子循环和第二子循环，在所述第一子循环中衬底与沉积增强前体和氧或氮反应物接触，在所述第二子循环中所述衬底与金属或硅前体和氧或氮反应物接触在一些实施例中，所述方法有利地实现改进的薄膜形成，例如提高的沉积速率。由于沉积速率提高，可能需要更少沉积循环来获得所期望的膜。
氧化物氮化物原子沉积

[发明专利]在介电材料上选择性沉积阻挡层-CN02828198.5有效
发明人： H·钟;L·陈;V·W·顾;M·X·杨;G·姚 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2002-12-17 - 公布日： 2005-05-25 - 主分类号： H01L21/3205 文献下载
摘要：本发明公开一种选择性沉积阻挡层于介电材料上的方法，该材料包围衬底上的一个或多个金属互连。阻挡层是用循环沉积工艺选择性沉积于金属膜上，循环沉积工艺包括预定次数的沉积循环，然后是清洗步骤。每次沉积循环可替换地包括吸附含难熔金属的前体和在介电材料上的还原气体，该介电材料在工艺腔室中形成于衬底上。
材料选择性沉积阻挡

[发明专利]一种分流循环溢流切换方法及装置的隔板沉积层鱼缸-CN201711140819.8在审
发明人：黄起振 -专利权人：黄起振
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： A01K63/00 文献下载
摘要：本发明提供一种分流循环溢流切换方法及装置的隔板沉积层鱼缸，属于水处理领域。其中，一种分流循环溢流切换的隔板沉积层鱼缸采用本一种分流循环溢流切换方法的装置。该装置包括循环水鱼缸、分流循环、溢流切换几个步骤，能在鱼缸正常观赏下利用装置切换溢流改变缸内不同循环流向，较全面地扰动缸内水体将水中杂质带入过滤，提高水处理质量；该鱼缸将一种分流循环溢流切换方法的装置进水设于缸内孔状隔板沉积层，沉积层设有冲洗系统，使未能随循环流溢出的粒状或其他杂质通过孔状汇入沉积层，较好地保持隔板上微景观面层的洁净，利用沉积层冲洗系统，在沉积层冲洗排出污水后可以关停缸上部洁净水排出，大大节约整缸换水的浪费。
一种分流循环溢流切换方法装置隔板沉积鱼缸

[发明专利]沉积硫源判别系统-CN201811198137.7有效
发明人：周克明;李农;蒲治锦;何家欢;王丽;万莹;唐大卿;谭杰 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司;四川科力特油气技术服务有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积硫源判别系统，属于油气田开发技术领域。所述系统包括：气源设备(101)、循环硫沉积装置(102)、硫源分析装置(103)和脱硫装置(104)。通过设计与气源设备(101)相连通的循环硫沉积装置(102)，以及与循环硫沉积装置(102)相连的硫源分析装置(103)，并将循环沉积装置(102)的主要组件置于恒温箱(9)中，使循环硫沉积过程更接近于真实地层条件下的硫沉积过程，进而使硫源分析装置(103)中对于含硫天然气中不同的硫源的分析所得到的结果数据更为准确，从而实现了实时准确判别沉积硫源的目的。
沉积判别系统

[发明专利]一种可快速降温的铝合金喷射沉积设备-CN201510349586.7无效
发明人：徐凯 -专利权人：张家港市舜辰机械有限公司
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种可快速降温的铝合金喷射沉积设备，包括雾化室，所述雾化室具有一沉积空间，该沉积空间内设置有可转动的沉积底盘，所述雾化室的上方安装有漏包，所述漏包与沉积空间内连通有喷嘴，所述喷嘴的出口面对沉积底盘，所述喷嘴具有输送雾化N2的第一开口，所述雾化室的底端还设有抽风口，所述沉积底盘的下方设有冷却水循环通道，所述冷却水循环通道与外部的循环泵连通。本发明通过冷却水循环系统，可以进一步实现沉积的冷却速度。
一种快速降温铝合金喷射沉积设备

[发明专利]半导体元件及其形成方法-CN202210806098.4在审
发明人：李毓珊;黄发威;郑聿劭 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种半导体元件及其形成方法，形成半导体元件的方法包括利用第一沉积循环在沉积腔室中的基材上方形成第一层以及利用第二沉积循环在沉积腔室中的基材上方形成第二层。第一沉积循环包括使第一工作气体流过基材上方并且使第二工作气体流过基材上方。第二沉积循环包括使第三工作气体流过基材上方并且使第四工作气体流过基材上方。
半导体元件及其形成方法

[实用新型]一种无油工艺气体循环系统-CN202222371110.1有效
发明人：李卫;陈继锋 -专利权人：廊坊沃尔德超硬刀具有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本申请涉及化学气相沉积制备技术领域，具体而言，涉及一种无油工艺气体循环系统，可以解决油封容易磨损，使外部的油气以及空气进入到腔室中，这些杂质气体就会严重影响产品质量，影响了循环使用的工艺气体的纯度，最终影响产品质量的问题所述循环系统包括：气相沉积装置，所述气相沉积装置包括沉积室及尾气室，用于进行化学气相沉积；尾气循环管道，所述尾气循环管道的一端连接于所述尾气室的排气口，另一端连接于所述沉积室的进气口，在所述尾气循环管道上安装有干式真空泵，且所述干式真空泵的密封方式采用磁流体密封，用于将化学气相沉积中剩余的尾气，进行循环利用。
一种工艺气体循环系统

[发明专利]氧化铬及氧化铝合成介电层及其制造方法-CN200410062628.0无效
发明人：吉德信;卢载盛;孙贤哲 -专利权人：海力士半导体有限公司
申请日： 2004-06-30 - 公布日： 2005-05-25 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：所述介电层通过采用原子层沉积技术沉积形成。制造氧化铪及氧化铝合成介电层的方法包含下列步骤：通过重复进行原子层沉积技术的第一循环沉积氧化铪单原子层；通过重复进行原子层沉积技术的第二循环沉积氧化铝单原子层；及通过重复进行包含混合第一与第二循环的第三循环，沉积氧化铪单原子层与氧化铝单原子层的介电层。
氧化铬氧化铝合成介电层及其制造方法

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