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[发明专利]处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法-CN201810095001.7有效
发明人：谷泽成规;新庄淳一;山本哲也 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法。处理液供给装置向多个处理部供给处理液。处理液供给装置包括：处理液供给源，供给进行了加热或者冷却的处理液；多个循环配管，多个所述循环配管分别与多个所述处理部对应地设置，分别使所述处理液供给源所供给的处理液循环；供给配管，与各所述循环配管分支连接，向对应的所述处理部供给处理液；流量调整阀，安装于各所述循环配管，调整该循环配管内的处理液的流量；以及，温度检测单元，安装于各所述循环配管，检测在该循环配管内流动的处理液的温度。
处理供给装置以及方法

[发明专利]处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法-CN201780080296.4有效
发明人：太田乔 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：处理液供给装置对处理基板的处理单元供给处理液。处理液供给装置包含：贮存槽，贮存处理液；循环流路，使所述贮存槽内的处理液循环；供给流路，自所述循环流路对所述处理单元供给处理液；返回流路，使已供给至所述处理单元的处理液返回至所述循环流路；以及温度调节单元，对在所述循环流路循环的处理液的温度进行调节。
处理供给装置以及方法

[发明专利]空气清洁装置和运转方法-CN202211189428.6在审
发明人：相泽拓;永岛诚记;形川功;仓持克史;高口未来 -专利权人：株式会社久保田
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： A61L9/14 文献下载
摘要：药剂供给系统(56)具有向循环槽(54)供给杀菌剂溶液的制备用供给部(564)和补充用供给部(566)，控制装置(700)反复实施以通常运转模式和制备运转模式为一循环的间歇运转，在通常运转模式下，使储存于循环槽(54)的杀菌剂溶液在循环系统(55)、喷雾装置(54)、净化用通气路径(52)、循环槽(54)之间循环，且从补充用供给部(566)以补充用小流量向循环槽(54)供给杀菌剂溶液而维持杀菌剂溶液的设定浓度，在制备运转模式下，将循环槽(54)的旧的杀菌剂溶液从排出系统(567)向系统外排出，从制备用供给部(564)以制备用大流量供给杀菌剂溶液，且从稀释用水供给系统(563)供给稀释用水而在循环槽(54)内分批制备设定浓度的新的杀菌剂溶液
空气清洁装置运转方法

[发明专利]空气清洁装置和运转方法-CN201680002271.8在审
发明人：相泽拓;永岛诚记;形川功;仓持克史;高口未来 -专利权人：株式会社久保田
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： A61L9/14 文献下载
摘要：药剂供给系统(56)具有向循环槽(54)供给杀菌剂溶液的制备用供给部(564)和补充用供给部(566)，控制装置(700)反复实施以通常运转模式和制备运转模式为一循环的间歇运转，在通常运转模式下，使储存于循环槽(54)的杀菌剂溶液在循环系统(55)、喷雾装置(54)、净化用通气路径(52)、循环槽(54)之间循环，且从补充用供给部(566)以补充用小流量向循环槽(54)供给杀菌剂溶液而维持杀菌剂溶液的设定浓度，在制备运转模式下，将循环槽(54)的旧的杀菌剂溶液从排出系统(567)向系统外排出，从制备用供给部(564)以制备用大流量供给杀菌剂溶液，且从稀释用水供给系统(563)供给稀释用水而在循环槽(54)内分批制备设定浓度的新的杀菌剂溶液
空气清洁装置运转方法

[发明专利]液体处理装置和液体处理方法-CN201511001407.7有效
发明人：吉原孝介;一野克宪;古庄智伸;佐佐卓志;土屋胜裕;寺下裕一;竹口博史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
液体处理装置方法

[发明专利]液体处理装置和液体处理方法-CN201380011195.3有效
发明人：吉原孝介;一野克宪;古庄智伸;佐佐卓志;土屋胜裕;寺下裕一;竹口博史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
液体处理装置方法

[实用新型]一种循环水DCS控制系统-CN202121774573.1有效
发明人：潘增华;潘军行 -专利权人：浙江华硕科技股份有限公司
申请日： 2021-07-31 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种循环水DCS控制系统，包括纯水储水箱、纯水加热箱以及循环水加热箱；纯水储水箱上设置有纯水供给管道一、纯水供给管道二，纯水供给管道一上设置有纯水电磁阀一，纯水供给管道二上设置有纯水电磁阀二；纯水加热箱上设置有热水供给管道一、热水供给管道二，热水供给管道一上设置有热水电磁阀一，热水供给管道二上设置有热水电磁阀二；循环水加热箱上设置有循环水供给管道以及循环水回水管道，循环水供给管道以及循环水回水管道上均设置有循环水电磁阀循环水加热箱中的循环水用以持续加热反应釜，使得反应釜中的原料可充分混合溶解，提升产能。通过各个电磁阀用以控制，具有自动化程度高，人力成本低的优势。
一种循环 dcs 控制系统

[发明专利]水循环供给系统-CN202111064948.X在审
发明人：陈凯 -专利权人：重庆中明港桥环保有限责任公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： E03B11/10 文献下载
摘要：本发明公开了水循环供给系统，包括综合水供应设备，其特征在于，综合水供应设备的输出端各自与软水装置、综合水箱和冷却水冷却塔输入端相连；软水装置输出端与软水水箱输入端相连，软水水箱输出端连接有软水输出部分结构且使得软水输出部分结构的输出端用于与外部软水用水设备相连；综合水箱输出端连接有综合水输出部分结构且用于与外部综合水用水设备相连；冷却水冷却塔输出端与湿法换热器冷却水箱输入端相连，湿法换热器冷却水箱输出端连接有冷却水输出部分结构且用于与湿法循环冷却器相连。本发明具有布局更加合理，能够更好的满足供水需求，能够更好的将水循环利用以节约资源的优点。
水循环供给系统

[实用新型]机油供给循环装置-CN201220151872.4有效
发明人：龚婉蓉 -专利权人：龚婉蓉
申请日： 2012-04-11 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： F16N13/16 文献下载
摘要：本实用新型为一种机油供给循环装置，其包含一缸体、一支撑座及一活塞杆，该缸体的两端分别结合第一与第二端盖，第一端盖上设有第一气孔，第二端盖上设有可连接至一储油筒的进油孔及可连接至一转动设备的排油孔，支撑座设在该缸体的两端之间且支撑座上设有第二气孔，该活塞杆的两端分别安装第一活塞与第二活塞，自该第一气孔与该第二气孔轮流送入气体至该缸体内以交替地对该第一活塞施压，使得该储油筒内的机油可自动补充至该转动设备内，且该转动设备内的机油会回流至该储油筒内循环
机油供给循环装置

[外观设计]氢气供给循环装置-CN201930555966.5有效
发明人：夏萍;陆路明 -专利权人：鸾鸟电气（上海）有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：氢气供给循环装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于燃料电池中氢气供给的循环和净化。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
氢气供给循环装置

[外观设计]循环装置（泵油供给）-CN202130294658.9有效
发明人：侯明君 -专利权人：福建省大立通用机电制造有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： 15-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：循环装置（泵油供给）。2.本外观设计产品的用途：用于发动机泵油供给循环用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
循环装置供给

[发明专利]液体喷射单元及液体喷射装置-CN201310523255.1有效
发明人：堂前美德 -专利权人：精工电子打印科技有限公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：使循环路(J)和向该循环路(J)供给液体的供给路(K)的构成简单化，且使从供给路(K)向循环路(J)供给的液体的允许的压力水头的范围扩大。液体喷射单元(1)具备液体循环的循环路(J)；液体喷射头(H)，流入口(2)与流出口(3)之间的流路构成循环路(J)的一部分，从与该流路连通的喷口(N)喷出液体；液体泵(P)，使循环路(J)的液体循环；供给路(K)，向循环路(J)供给液体；以及压力传感器(S)，根据循环路(J)的液体的压力来生成压力信息，液体泵(P)基于压力信息而使送液量变化并将喷口(N)的液体维持于规定压力，并且从供给路(K)向循环路
液体喷射单元装置

[发明专利]带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法-CN201610082967.8在审
发明人：清水史彰;森田英夫;佐藤克俊 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2016-02-06 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： F28F27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却液供给装置，即使在热载荷工作时冷却液供给停止的情况下也能对其继续冷却。经由旁通管(42、43)连接连结冷却液供给装置(1)与热载荷(100)的冷却液循环路(54)和连结冷却液供给装置(1)与散热液供给装置(110)的散热液循环路(55)，当从冷却液供给装置(1)向热载荷(100)供给冷却液时，用过热防止阀(45、47)关闭旁通管(42、43)，切断冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，当冷却液未从冷却液供给装置(1)供给至热载荷(100)时，用过热防止阀(45、47)打开旁通管(42、43)而相互连接冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，由此将来自散热液供给装置(110)的散热液供给向热载荷(100)。
安全机构冷却液供给装置以及载荷冷却方法

[发明专利]带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法-CN202211636521.7在审
发明人：清水史彰;森田英夫;佐藤克俊 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2016-02-06 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： F28F27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却液供给装置，即使在热载荷工作时冷却液供给停止的情况下也能对其继续冷却。经由旁通管(42、43)连接连结冷却液供给装置(1)与热载荷(100)的冷却液循环路(54)和连结冷却液供给装置(1)与散热液供给装置(110)的散热液循环路(55)，当从冷却液供给装置(1)向热载荷(100)供给冷却液时，用过热防止阀(45、47)关闭旁通管(42、43)，切断冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，当冷却液未从冷却液供给装置(1)供给至热载荷(100)时，用过热防止阀(45、47)打开旁通管(42、43)而相互连接冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，由此将来自散热液供给装置(110)的散热液供给向热载荷(100)。
安全机构冷却液供给装置以及载荷冷却方法

[发明专利]液滴喷出装置及其运转方法-CN200710091049.2有效
发明人：前川勉;藤井秀俊;飞田悟;町田治 -专利权人：理光打印系统有限公司
申请日： 2007-04-06 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：其具备：具有罐(6、7)的盒部(3)，使涂覆液成为液滴喷出到被附着体上的头部(4)，将罐(6)的涂覆液供给头部(4)，并使通过了头部(4)的涂覆液返回罐(7)的涂覆液供给循环部(2)，经涂覆液供给循环部(2)将清洗液供给头部(2)的清洗液供给部(29)，从涂覆液供给循环部(2)的一部分排出废液的废液排出部(33)，以及在用从清洗液供给部(2)供给的清洗液清洗涂覆液供给循环部(2)及头部(4)时，以加压气体对清洗液供给部内进行加压，在通过涂覆液供给循环部(2)使涂覆液循环时，对罐(6、7)内进行减压的压力切换部，并且盒部(3)连接成对涂覆液供给循环部(2)可以更换。
喷出装置及其运转方法

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