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- [发明专利]形成不同高度的多个鳍部的方法-CN201210379986.9在审
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邓浩
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2012-09-29
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2014-04-09
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H01L21/8234
- 一种形成不同高度的多个鳍部的方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底表面形成有绝缘层、和具有高度相同的第一初始鳍部和第二初始鳍部;形成第一保护层,所述第一保护层暴露出第二区域的绝缘层表面;以所述第一保护层为掩膜,刻蚀第二区域中部分厚度的绝缘层,使得第二初始鳍部比第一初始鳍部高出指定高度;随后,去除第一保护层,形成覆盖第一初始鳍部和第二初始鳍部的第二保护层;以第二保护层为掩膜,刻蚀所述绝缘层,并向暴露出的第一初始鳍部和第二初始鳍部内注入氧离子,然后退火,形成隔离层、第一鳍部以及第二鳍部,所述第二鳍部比第一鳍部高出所述指定高度。在同一晶圆上形成的鳍部的高度可以不同,以满足不同需要。
- 形成不同高度多个鳍部方法
- [发明专利]图像形成装置的开闭部开关机构-CN01135374.0有效
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石井洋
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株式会社理光
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2001-10-09
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2002-05-01
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G03G21/00
- 本发明涉及复印机、打印机等图像形成装置的开闭部开关机构。在与设在图像形成装置壳体上的门的动作连动接通或断开图像形成装置的所定电源的门开闭开关机构中,设有动作部件131,开关135及接通/断开部件134。通过开闭设在图像形成装置上的第1门106,动作部件朝第1方向动作,通过开闭设在图像形成装置上的第2门120,动作部件朝第2方向动作所述开关135用于接通或断开图像形成装置的所定电源;所述接通/断开部件134不对门设定开闭顺序,不损害门的开闭操作性,提供能以简单且低成本检测门开闭的图像形成装置的开闭部开关机构。
- 图像形成装置开闭开关机构
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