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- [实用新型]光罩传送台防尘装置-CN202320320779.X有效
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姚建顺;王思驾;谢华
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上海华力微电子有限公司
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2023-02-24
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2023-09-22
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G03F7/20
- 本实用新型提供了一种光罩传送台防尘装置,包括一防护罩,所述防护罩设置在所述光罩传送台上且至少将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内,所述防护罩背离机台的一面为门帘式结构,以便于所述光罩盒的取放。通过设置防护罩将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内,能够有效防止上端空气下降带来的颗粒物沉降,避免外界颗粒物进入光罩传送台的内部,在光罩传送时落在光罩表面,影响产品曝光精度。另外,通过将述防护罩背离机台的一面设计为门帘式结构,在保证防护效果的同时能够便于所述光罩盒的取放。
- 传送防尘装置
- [发明专利]一种混光扩散式光源-CN201610646955.3在审
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黄晋
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亚浦耳照明股份有限公司
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2016-08-09
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2016-10-26
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F21V3/02
- 本发明公开了一种混光扩散式光源,所述混光扩散式光源包括:混光扩散罩、驱动电源器和发光体;所述发光体包括光源载体和光源,所述光源设置于所述光源载体上;所述驱动电源器固定于所述发光体的上方;所述混光扩散罩罩设于所述发光体的上方,所述混光扩散罩具有与所述驱动电源器相匹配的空腔,用于保护所述驱动电源器;所述混光扩散罩上设置有多个与所述混光扩散罩同心并与所述混光扩散罩边缘平行的凹槽和/或凸起。本发明提供的混光扩散式光源工艺简单、易实现、成品合格率高、发光效果好。
- 一种扩散光源
- [实用新型]一种混光扩散式光源-CN201620856081.X有效
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2016-08-09
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2017-01-04
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F21V3/02
- 本实用新型公开了一种混光扩散式光源,所述混光扩散式光源包括:混光扩散罩、驱动电源器和发光体;所述发光体包括光源载体和光源,所述光源设置于所述光源载体上;所述驱动电源器固定于所述发光体的上方;所述混光扩散罩罩设于所述发光体的上方,所述混光扩散罩具有与所述驱动电源器相匹配的空腔,用于保护所述驱动电源器;所述混光扩散罩上设置有多个与所述混光扩散罩同心并与所述混光扩散罩边缘平行的凹槽和/或凸起。本实用新型提供的混光扩散式光源工艺简单、易实现、成品合格率高、发光效果好。
- 一种扩散光源
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