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[发明专利]一种刻蚀副产物智能自清洁方法-CN201811026563.2有效
发明人：聂钰节;昂开渠;江旻;唐在峰 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-09-04 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀副产物智能自清洁方法，适用于对半导体干法刻蚀工艺过程，提供一工艺控制系统及一干法刻蚀设备，还包括以下步骤：步骤S1，工艺控制系统于干法刻蚀设备对应的干法刻蚀工艺开始之前，采集干法刻蚀设备执行之前的干法刻蚀工艺过程中的第一工艺参数；步骤S2，工艺控制系统根据第一工艺参数，获得对干法刻蚀设备进行自清洁的第二工艺参数；步骤S3，工艺控制系统根据第二工艺参数对干法刻蚀设备执行自清洁工艺；步骤S4，干法刻蚀设备执行对应的干法刻蚀工艺，待干法刻蚀工艺执行完毕后返回步骤
一种刻蚀副产物智能清洁方法

[实用新型]一种半干法脱硫脱硝复合装置惯性沉降室-CN201820456943.9有效
发明人：张殿坤 -专利权人：安徽金森源环保工程有限公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B01D53/96 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半干法脱硫脱硝复合装置惯性沉降室的应用技术领域，且公开了一种半干法脱硫脱硝复合装置惯性沉降室，包括半干法脱硫脱硝复合塔，半干法脱硫脱硝复合塔顶部的一侧设置有半干法脱硫脱硝循环粉尘沉降室入口，半干法脱硫脱硝循环粉尘沉降室入口远离半干法脱硫脱硝复合塔的一侧固定连接有沉淀仓，沉淀仓的一侧设置有烟气排放口，沉淀仓的底部固定连接有半干法脱硫脱硝循环粉尘沉降室，半干法脱硫脱硝循环粉尘沉降室的底部固定连接有半干法脱硫脱硝循环粉尘沉降管该一种半干法脱硫脱硝复合装置惯性沉降室，具有可循环进行多次反应、装置整体排放低、清洁环保、工作效率优秀和反应处理彻底的优点。
半干法脱硫脱硝循环粉尘惯性沉降室复合装置沉淀仓沉降室入口沉降室复合塔应用技术领域本实用新型烟气排放口多次反应工作效率清洁环保沉降管可循环塔顶部复合排放

[发明专利]一种双塔双循环半干法脱硫装置及工艺与应用-CN202110927567.3在审
发明人：张海达;冯新强;蒋和团;郑学军;郭涛;张亚坤;陶伟;崔德超;张玉青 -专利权人：济南国能环境工程有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本发明属于烟气脱硫技术领域，具体提供一种双塔双循环半干法脱硫装置及工艺与应用。双塔双循环半干法脱硫装置，包括一级半干法脱硫塔和二级半干法脱硫塔，二者通过连接烟道相连，所述一级本干法脱硫塔包括烟气入口，用于接通工艺烟气管道；所述一级半干法脱硫塔二级半干法脱硫塔烟气出口与旋转喷吹布袋除尘器相连，所述旋转喷吹布袋除尘器底部向一级半干法脱硫塔和二级半干法脱硫塔中输送脱硫灰。解决现有技术中CFB循环流化床半干法烟气脱硫工艺无法适应煤质含硫量较高的工况即原始二氧化硫浓度超过2000mg/Nm3的工况的问题。
一种双循环半干法脱硫装置工艺应用

[发明专利]一种带冷却水通道的辊压干法造粒设备-CN202211186520.7在审
发明人：周守国;周仁健;周守亮;周云 -专利权人：江苏福亿机械科技有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B01J2/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种带冷却水通道的辊压干法造粒设备，其技术方案要点是：包括辊压干法造粒机，所述辊压干法造粒机的顶面固定安装有处理箱，所述辊压干法造粒机的顶面开设有进料口，所述进料口的内部活动套接有进料斗；冷却组件，所述冷却组件设置在所述辊压干法造粒机的一侧，用于在所述辊压干法造粒机运行时对所述辊压干法造粒机的内部进行冷却，通过进料斗、辊压干法造粒机、把手、第二箱门、第一箱门、螺纹盖、进水管、存水箱、控制面板、水泵与循环水管之间的相互配合使用，使冷却水在循环流动时可以带走辊压干法造粒机内所产生的热量，避免辊压干法造粒机在长时间造粒后发烫需要停止造粒。
一种冷却水通道辊压干法造粒设备

[发明专利]一种户外游艇用革及其制备方法-CN201911362755.5有效
发明人：李炎;高金岗;张卫松 -专利权人：华伦皮塑(苏州)有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B29C41/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种户外游艇用革及其制备方法，户外游艇用革包括依次设置的基布层、湿法PU底层、干法PU面层和表面处理层，干法PU面层包括依次形成在湿法PU底层和表面处理层之间的第一干法PU面层、第二干法PU面层和第三干法PU面层，第一干法PU面层位于第二干法PU面层和表面处理层之间，第三干法PU面层位于湿法PU底层和第二干法PU面层之间，湿法PU底层为阻燃PU层，第一干法PU面层为防霉PU层。
一种户外游艇及其制备方法

[发明专利]一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法-CN202210679444.7在审
发明人：卢晶晶 -专利权人：广东越海集成技术有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法，所述再次利用方法包括依次进行的铜镍锡银金属层剥离、钛种子层剥离、PI绝缘层剥离和RDL金属层剥离；其中，所述PI绝缘层剥离包括依次进行的第一干法除胶、第二干法除胶、第三干法除胶和第四干法除胶；所述第一干法除胶的时间和所述第四干法除胶的时间均小于所述第二干法除胶时间或所述第三干法除胶时间。
一种封装存在缺陷再次利用方法

[发明专利]化学干法蚀刻方法和半导体器件的形成方法-CN201310261309.1有效
发明人：张程;包中诚 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种化学干法蚀刻方法和半导体器件的形成方法。所述化学干法蚀刻方法包括提供化学干法蚀刻机，所述化学干法蚀刻机包括石英玻璃管；对所述石英玻璃管进行脱羟处理；采用所述化学干法蚀刻机进行干法蚀刻。
化学蚀刻方法半导体器件形成

[发明专利]一种烧结烟气干法脱硫灰改性矿渣粉及其制备方法-CN201710542631.X在审
发明人：杨利香 -专利权人：上海市建筑科学研究院
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： C04B7/21 文献下载
摘要：本发明提供了一种烧结烟气干法脱硫灰改性矿渣粉及其制备方法，其中，按重量百分比计，其为由如下组成和含量构成的混合物烧结烟气干法脱硫灰1％～10.0％；矿渣粉90.0％～99.0％。制备方法如下a、烧结烟气干法脱硫灰、矿渣粉备料；b、采用混样机，以烧结烟气干法脱硫灰1％～10.0％，矿渣粉90.0％～99.0％的重量百分比混合烧结烟气干法脱硫灰与矿渣粉；c、参照GB/T18046进行烧结烟气干法脱硫灰改性矿渣粉活性指数试验，确定烧结烟气干法脱硫灰与矿渣粉的合适配比；d、参照JC/T603、JC/T313进行烧结烟气干法脱硫灰改性矿渣粉干缩率、浸水自由膨胀率试验，优化烧结烟气干法脱硫灰与矿渣粉配合比。
一种烧结烟气脱硫改性矿渣及其制备方法

[发明专利]利用钙法干法及半干法烟气脱硫灰进行烧结矿的方法-CN201210309654.3有效
发明人：张玉才;程乃良;金明;刘佩秋;韩凤光 -专利权人：上海梅山钢铁股份有限公司
申请日： 2012-08-28 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C22B1/14 文献下载
摘要：发明涉及一种利用钙法干法及半干法烟气脱硫灰进行烧结矿的方法。烧结干法及半干法烟气脱硫灰的利用目前是一个世界性的难题。目前钙法干法烟气脱硫灰主要用于回填，造成了环境的污染，同时增加了企业的成本。本发明将钙法干法及半干法烟气脱硫灰按照质量百分比0.5—11.8%的比例添加到烧结混合料中，然后按照常规方法加水、混合、造球、烧结，得到合格的成品烧结矿。有利于钙法干法及半干法脱硫灰的利用，有利于降低固废排放，降低对环境的污染。
利用钙法干法半干法烟气脱硫进行烧结方法

[发明专利]一种低品位膨润土的干法提纯工艺-CN201810231930.6有效
发明人：杨启帆;安卫东;于阳辉;张韬;程飞飞;岑对对 -专利权人：苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种低品位膨润土的干法提纯工艺。本发明的低品位膨润土的干法提纯工艺，所述干法提纯工艺包括以下步骤：1)将低品位膨润土破碎，获得破碎产物；2)将破碎产物进行粗磨磨矿，获得磨矿产物；3)将磨矿产物进行筛分，将筛上粗粒级产物直接排砂，筛分后得到筛下产物；4)将筛下产物进行打散，获得打散产物；5)将打散产物进行分级，获得干法提纯精矿产品。本发明的低品位膨润土的干法提纯工艺，采用原矿破碎‑粗磨‑筛分‑打散‑分级的干法提纯新工艺，可以有效提高干法提纯产品中蒙脱石的品位和回收率，明显提高了干法提纯效果，降低了干法提纯工艺的使用局限性。
一种品位膨润土提纯工艺

[实用新型]一种户外游艇用革-CN201922386786.6有效
发明人：李炎;高金岗;张卫松 -专利权人：华伦皮塑(苏州)有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： D06N3/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种户外游艇用革，包括依次设置的基布层、湿法PU底层、干法PU面层和表面处理层，干法PU面层包括依次形成在湿法PU底层和表面处理层之间的第一干法PU面层、第二干法PU面层和第三干法PU面层，第一干法PU面层位于第二干法PU面层和表面处理层之间，第三干法PU面层位于湿法PU底层和第二干法PU面层之间，湿法PU底层为阻燃PU层，第一干法PU面层为防霉PU层。且PU底层为阻燃PU层，与表面处理层贴合的第一干法PU面层为防霉PU层，使得游艇用革，不仅满足环保要求，还具有PU革的柔软，手感好，且防霉抗菌、阻燃和防油污等性能。
一种户外游艇

[实用新型]一种干法制粒机的组合式气动控制箱-CN202220237431.X有效
发明人：方正;朱礼宾;张啸龙;傅荣 -专利权人：南京迦南比逊科技有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干法制粒机的组合式气动控制箱，包括箱体，所述箱体内部中间位置设有隔板，从而将箱体分成隔离器气控区域和干法机气控区域，所述隔离器气控区域设有隔离器气控件，所述干法机气控区域设有干法机气控件；所述箱体上在位于隔离器气控区域一侧设置隔离器气控面板，所述箱体上在位于干法机气控区域一侧设有干法机气控面板。本实用新型的有益效果如下：干法机和隔离器组合气动控制，方便实现联动操作，避免了两个设备分开操作带来的弊端；干法机和隔离器气动控制整合为一体，其控制件的箱体为一个箱体分为干法机气控件、隔离器控制件，由一个显示触摸屏操作；气控箱体配装在干法机机架内后面，能够与干法机形成一体。
一种法制组合式气动控制箱

[实用新型]一种干法制粒机-CN201921506648.0有效
发明人：王洪谦;汪宜俊;唐冬;王海洋;姚成志;曹倩;冯定军;叶连挺;王睿 -专利权人：宁波高新区美诺华医药创新研究院有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B01J2/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干法制粒机，包括干法制粒机壳体及设于干法制粒机壳体内的压轮结构，压轮结构包括上压轮和下压轮，干法制粒机壳体内设有用于检测上压轮和下压轮之间间距的间距检测装置，干法制粒机壳体内还设有用于检测壳体内温度的温度检测装置，温度检测装置上设有用于降低干法制粒机壳体内温度的降温装置，温度检测装置上还设有防止干法制粒机内温度过低的增温装置。
一种法制

[实用新型]一种干法制粒循环给料装置-CN202223195199.7有效
发明人：周佳;唐永杰;彭少瑞;兰柳琴 -专利权人：珠海润都制药股份有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B65G53/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种干法制粒循环给料装置，所述干法制粒循环给料装置包括提升机、第一料斗、第一螺杆送料装置、干法制粒机、第二螺杆送料装置、真空输送设备、筛分设备和第二料斗，本申请的干法制粒循环给料装置将不符合粒径要求的物料输送至干法制粒机与未干法制粒的物料混合，重新制粒，实现干法制粒循环给料操作，通过干法制粒循环给料装置，避免人工收集不符合粒径要求的物料操作，可降低人员劳动强度、避免粉尘扩散，能提高物料的利用率和生产效率。
一种法制循环装置

[发明专利]高炉煤气干法净化装置-CN201310026481.9无效
发明人：贾彩清;部龙江;熊树林 -专利权人：中冶赛迪工程技术股份有限公司
申请日： 2013-01-24 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： C10K1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高炉煤气干法净化装置，包括干法粗除尘装置、干法精除尘装置、干法除酸吸附塔、再生用载气加热装置和废酸收集装置，所述干法精除尘装置和干法除酸吸附塔连通，所述再生用载气加热装置和干法除酸吸附塔连通；本发明通过干法除酸吸附塔彻底脱除煤气中的氯、硫、氨等对管道和设备有腐蚀性的有害物质，从根本上解决了干法除尘后高炉煤气管道、设备的腐蚀、积盐等问题；本发明在干法除酸吸附塔的吸附剂吸附饱和后，通过高温载气将吸附剂中的酸性物质和灰尘等分离出来
高炉煤气净化装置