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- [实用新型]宽度减小的移动平台-CN202020198984.X有效
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罗涛
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苏州玖物互通智能科技有限公司
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2020-02-22
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2020-12-08
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B60G13/04
- 本实用新型公开了一种宽度减小的移动平台。本实用新型宽度减小的移动平台，包括：车架和位于所述车架四个角的四个驱动组件；位于所述车架一端的两个驱动组件组成一对，位于所述车架另一端的两个驱动组件组成另一对。本实用新型的有益效果：防水防尘效果较好，车身宽度较小。所述驱动电机通过驱动轮结构驱动所述车轮，而且组成一对的两个驱动组件中的驱动轮支架互相垂直而且驱动电机互相平行，也就是说通过驱动轮结构的上述布局，使得两个驱动电机相互错开，这样的移动平台的宽度只需要大于一个驱动电机的宽度即可，便于通过宽度较小的区域。
- 宽度减小移动平台
- [实用新型]宽度减小的输送装置-CN201921465571.7有效
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董晓清;邱其伟
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无锡市江松科技有限公司
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2019-09-03
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2020-04-14
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H01L21/677
- 本实用新型公开了宽度减小的输送装置，涉及硅片入篮输送的技术领域。宽度减小的输送装置，包括安装架、输送带和动力装置，输送带安装在安装架上并与动力装置连接，安装架置于动力装置的上方，安装架安装在动力装置的中间位置，动力装置的两端与输送带的距离相等。通过安装架放置在动力装置的上方且安装在动力装置的中间位置，使得安装架在上完皮带后动力装置的两端也仅仅突出输送带两侧两厘米之内，从而使得输送带与动力装置的宽度接近，花篮在进行下降动作是，花篮的侧面就不会与动力装置干涉，从而能够使得花篮能够下降更多的距离，进而大大减小了硅片入篮装置高度和宽度。
- 宽度减小输送装置
- [发明专利]减小硅局部氧化层的鸟嘴宽度的方法-CN202110401023.3在审
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田俊;黄永彬;黄峰
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上海积塔半导体有限公司
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2021-04-14
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2021-07-16
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H01L21/762
- 本发明提供一种减小硅局部氧化层的鸟嘴宽度的方法，包括步骤：提供衬底，于所述衬底上形成刻蚀阻挡层；于所述刻蚀阻挡层中形成开口以得到一预处理结构，所述开口显露出所述衬底；对所述预处理结构进行热氧化处理以于所述开口显露出的所述衬底表面形成具有初始厚度的硅局部氧化层所述硅局部氧化层向所述刻蚀阻挡层的底部延伸形成鸟嘴，所述初始厚度大于所述硅局部氧化层的目标厚度；去除所述刻蚀阻挡层；对所述硅局部氧化层进行湿法刻蚀，以将所述硅局部氧化层的厚度调整到所述目标厚度，在此过程中，鸟嘴宽度缩小本发明通过改善的工艺设计，可以有效减少鸟嘴宽度，有助于提高器件性能且有助于器件尺寸的进一步缩小。
- 减小局部氧化鸟嘴宽度方法
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